Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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13.06.2024
Selective metal passivation of carbon and nitrogen containing layers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2023
Anhängig
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13.06.2024
Threaded Nozzle Inserts
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2023
Anhängig
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12.06.2024
Transformatorgekoppelte Plasmaquelle für die Abscheidung von Dünnen Dielektrischen Filmen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.06.2024
Vapor supply for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 07.09.2023
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06.06.2024
Metal Doped Carbon Non-Conformal Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.11.2023
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06.06.2024
Extreme low volume showerheads with dual distribution spokes and high-density holes
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.11.2023
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06.06.2024
Spectral sensing of process chamber conditions
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.11.2023
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06.06.2024
Pedestal with spiral vanes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.11.2023
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30.05.2024
Systems and methods for controlling tilts across a surface of a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.11.2023
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29.05.2024
Duschkopftemperaturbasierte Abscheidungszeitkompensation für Dickentrendierung in einem Pecvd-Abscheidungssystem
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.05.2024
Systems and methods for driving passivation to increase an etch rate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.11.2023
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23.05.2024
Nonconformal films deposited within a recess using atomic layer deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 07.11.2023
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23.05.2024
Inhibited atomic layer deposition for patterning applications
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 08.11.2023
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23.05.2024
Measurement of substrate temperature using optical transmission
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.11.2023
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16.05.2024
Chemical vapor deposition of silicon nitride using a remote plasma
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 27.10.2023
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16.05.2024
A robust icefill method to provide void free trench fill for logic and memory applications
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2023
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16.05.2024
Pulse ald sequence for low fluorine wn deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 08.11.2023
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15.05.2024
Plasmaverstärkte Atomlagenabscheidung von Siliciumhaltigen Filmen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.05.2024
Dual nitrogen flow capability for low fluorine tungsten deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 26.10.2023
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10.05.2024
Reducing Particle Buildup in Processing Chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 09.10.2023
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10.05.2024
Component with a dual layer hermetic atomic layer deposition coatings for a semiconductor processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.10.2023
Anhängig
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10.05.2024
Refractory components for a semiconductor processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.10.2023
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10.05.2024
Systems and methods for increasing a heat transfer contact area associated with an edge ring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.10.2023
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10.05.2024
Segregated reactant delivery using showerhead and shroud
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2023
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10.05.2024
Electrostatic chuck e-seal with offset sealing surface
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.10.2023
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08.05.2024
Bildanalyse von Plasmabedingungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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02.05.2024
Heat Flow Control in A Processing Tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.10.2023
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02.05.2024
Avoiding Recirculation Zones in A Vacuum Line Of A Deposition Tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 01.10.2023
Anhängig
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02.05.2024
Fluorine Reduction Is Silicon-Containing Films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.10.2023
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02.05.2024
Controllable Carbon Pecvd Film Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 23.10.2023
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02.05.2024
3d dynamic random access memory (dram) and methods for fabricating 3d-dram
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2023
Anhängig
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02.05.2024
Showerhead with three plenums
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 19.10.2023
Anhängig
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02.05.2024
Selective Molybdenum Fill
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.10.2023
Anhängig
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02.05.2024
Cupped baffle plates for showerheads of substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.10.2023
Anhängig
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02.05.2024
Systems and methods for fast control of impedance associated with an output of a plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.10.2023
Anhängig
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02.05.2024
Protection Of Sensitive Surfaces in Semiconductor Processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.10.2023
Anhängig
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02.05.2024
Systems and methods for controlling a pulse width of a square pulse waveform
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.10.2023
Anhängig
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01.05.2024
Vorrichtung zum Halten eines Scheibenförmigen Artikels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.05.2024
Inline-Maschinensichtsystem zur Teileverfolgung eines Substratverarbeitungssystems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.04.2024
Compressible seals with reduced compression requirements
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 18.10.2023
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31