Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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15.08.2024
Pedestals and showerheads including channels with decreasing flow velocities
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 31.01.2024
Anhängig
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15.08.2024
Biaxial optical sensor system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2024
Anhängig
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15.08.2024
Control of flatband voltage in deposition of halogenated dielectric oxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2024
Anhängig
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08.08.2024
Reducing Tensile Film Cracking
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2024
Anhängig
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07.08.2024
Hochenergie-Atomlagenätzung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2018
Erteilt am 07.08.2024
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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02.08.2024
Systems and methods for controlling fast actuators in an impedance matching unit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.01.2024
Anhängig
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02.08.2024
Systems and methods for achieving plasma stability with a drive circuit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.01.2024
Anhängig
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02.08.2024
Showerhead for supplying metastable activated radicals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.01.2024
Anhängig
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31.07.2024
Entfernte Plasmaabscheidung mit Elektrostatischer Klemmung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.07.2024
System for fumigating a load lock of a substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2024
Anhängig
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25.07.2024
Baffle for providing uniform process gas flow on substrate and around pedestal
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.01.2024
Anhängig
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25.07.2024
Semiconductor processing tool with rf-transmissive dome structure and dynamic cooling system&method for manufacturing rf-transmissive dome structure
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.01.2024
Anhängig
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11.07.2024
Reactor design optimization with dc bias pulsing to pedestal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.01.2024
Anhängig
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04.07.2024
Depositing Films With Concentration Gradients in A Mold Stack
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2023
Anhängig
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04.07.2024
Automated Recipe Health Optimization
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.12.2023
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27.06.2024
Forming Halogen-Doped Dielectric Films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2023
Anhängig
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27.06.2024
Treating an Electrostatic Chuck Pedestal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2023
Anhängig
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27.06.2024
Lower plasma exclusion zone ring for controlling plasma deposition or etching near a substrate notch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2023
Anhängig
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27.06.2024
Bottom-up gap fill using a liner
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2023
Anhängig
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27.06.2024
Inductively coupled plasma source with parallel helical rf coils
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Systems and methods for reducing hf reflected power during a cycle of a square wave signal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Low K Dielectric Gapfill
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Reference wafer for high fidelity in-situ temperature metrology calibration
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Method and apparatus to bias an electrostatic chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Electrostatic chuck with halogen modulated silicone dike
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2023
Anhängig
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20.06.2024
Forming Intermetal Nitride Phase in Metal Nitride Layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Controlling Gas Flows in Processing Tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2023
Anhängig
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20.06.2024
Showerhead for substrate processing tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.11.2023
Anhängig
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20.06.2024
Divergence measurement system for ion beam substrate processing systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Ald tungsten fill with boosted thermal inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 30.11.2023
Anhängig
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20.06.2024
Compound orifice inlet nozzle for tuning flow from gas distribution showerheads
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2023
Anhängig
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20.06.2024
Determining Process Chamber Component Temperatures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Feature fill using inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Pedestal and showerhead with resistive and radiative heating
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Systems and methods for controlling an lf rf pulse generator to increase selectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2023
Anhängig
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20.06.2024
Systems and methods for using a square-shaped pulse signal to increase a rate of processing a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2023
Anhängig
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13.06.2024
Semiconductor processing chamber with metal or metalloid fluoride process exposed coating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Etch with sulfur based oxygen free passivant
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Processing tool with hyperspectral camera for metrology-based analysis
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2023
Anhängig
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13.06.2024
Electromechanical modeling of components for power box design
Software & Datenverarbeitung
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2023
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31