Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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18.04.2024
Purging toxic and corrosive material from substrate processing chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.10.2023
Anhängig
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18.04.2024
Baffle for providing uniform process gas flow on substrate and around pedestal
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.10.2023
Anhängig
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18.04.2024
Oxymethylene copolymers for transient surface protection during chemical vapor deposition
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.10.2023
Anhängig
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18.04.2024
Deposition of metal-containing films
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.10.2023
Anhängig
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18.04.2024
Inhibited oxide deposition for refilling shallow trench isolation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.09.2023
Anhängig
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18.04.2024
Electrodeposition system with ion-exchange membrane irrigation
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 27.09.2023
Anhängig
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18.04.2024
Cleaning A Chemical Vapor Deposition Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 01.10.2023
Anhängig
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17.04.2024
Mehrteilige Plasmabegrenzungsringstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.04.2024
Annular pumping for chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2023
Anhängig
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11.04.2024
Adjustable Pedestal
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2023
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11.04.2024
Showerhead Gas Inlet Mixer
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 27.09.2023
Anhängig
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11.04.2024
Showerhead for diffusion bonded, multi-zone gas dispersion
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2023
Anhängig
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11.04.2024
Improving Chemistry Utilization By Increasing Pressure During Substrate Processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 03.10.2023
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11.04.2024
Dry chamber clean using thermal and plasma processes
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.10.2023
Anhängig
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04.04.2024
Automated control of process chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2023
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04.04.2024
Optimization of fabrication processes
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Layered Metal Oxide-Silicon Oxide Films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Generation of synthetic semiconductor images
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 25.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Post etch plasma treatment for reducing sidewall contaminants and roughness
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Pedestal with axially symmetric edge purge plenum
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Electronic component cooling using cooling manifolds for pressurized air
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.09.2023
Anhängig
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28.03.2024
Bellows seal for low thru-force actuation of temperature probe across vacuum interface
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.09.2023
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28.03.2024
Pyrochlore component for plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2023
Anhängig
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28.03.2024
Gas distribution port insert and apparatus including the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.09.2023
Anhängig
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28.03.2024
Plasma-Exposed Parts Comprising an Etch-Resistant Material
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.08.2023
Anhängig
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28.03.2024
Method for etching features in a stack
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.09.2023
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21.03.2024
Method for etching features using hf gas
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.09.2023
Anhängig
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21.03.2024
Spring-loaded seal cover band for protecting a substrate support
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.09.2023
Anhängig
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21.03.2024
Showerhead Faceplates
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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21.03.2024
Backside layer for a semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2023
Anhängig
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20.03.2024
Blattartiger Endeffektor mit Winkelkonformitätsmechanismus
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.03.2024
Multi-sensor determination of a state of semiconductor equipment
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Gas cooling cover for an exhaust line of a substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Shaped silicon outer upper electrode for plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 31.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Doped Silicon Or Boron Layer Formation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.09.2023
Anhängig
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07.03.2024
Atomic layer deposition with in-situ sputtering
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.08.2023
Anhängig
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29.02.2024
High aspect ratio etch with a liner
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.08.2023
Anhängig
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29.02.2024
High aspect ratio etch with a re-deposited helmet mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.08.2023
Anhängig
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29.02.2024
A plasma processing system with a gas recycling system
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2023
Anhängig
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29.02.2024
High aspect ratio etch with a non-uniform metal or metalloid containing mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.08.2023
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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