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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
18.04.2024
Purging toxic and corrosive material from substrate processing chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2024
Baffle for providing uniform process gas flow on substrate and around pedestal
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2024
Oxymethylene copolymers for transient surface protection during chemical vapor deposition
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2024
Deposition of metal-containing films
Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik
18.04.2024
Inhibited oxide deposition for refilling shallow trench isolation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2024
Electrodeposition system with ion-exchange membrane irrigation
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.04.2024
Cleaning A Chemical Vapor Deposition Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.04.2024
Mehrteilige Plasmabegrenzungsringstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2024
Annular pumping for chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2024
Adjustable Pedestal
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2024
Showerhead Gas Inlet Mixer
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.04.2024
Showerhead for diffusion bonded, multi-zone gas dispersion
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2024
Improving Chemistry Utilization By Increasing Pressure During Substrate Processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.04.2024
Dry chamber clean using thermal and plasma processes
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2024
Automated control of process chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2024
Optimization of fabrication processes
Steuerungs- & Regelungstechnik
04.04.2024
Layered Metal Oxide-Silicon Oxide Films
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2024
Generation of synthetic semiconductor images
Software & Datenverarbeitung
04.04.2024
Post etch plasma treatment for reducing sidewall contaminants and roughness
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2024
Pedestal with axially symmetric edge purge plenum
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2024
Electronic component cooling using cooling manifolds for pressurized air
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.03.2024
Bellows seal for low thru-force actuation of temperature probe across vacuum interface
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2024
Pyrochlore component for plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2024
Gas distribution port insert and apparatus including the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2024
Plasma-Exposed Parts Comprising an Etch-Resistant Material
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2024
Method for etching features in a stack
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2024
Method for etching features using hf gas
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2024
Spring-loaded seal cover band for protecting a substrate support
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2024
Showerhead Faceplates
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
21.03.2024
Backside layer for a semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2024
Blattartiger Endeffektor mit Winkelkonformitätsmechanismus
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2024
Multi-sensor determination of a state of semiconductor equipment
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2024
Gas cooling cover for an exhaust line of a substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2024
Shaped silicon outer upper electrode for plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2024
Doped Silicon Or Boron Layer Formation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2024
Atomic layer deposition with in-situ sputtering
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.02.2024
High aspect ratio etch with a liner
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.02.2024
High aspect ratio etch with a re-deposited helmet mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.02.2024
A plasma processing system with a gas recycling system
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.02.2024
High aspect ratio etch with a non-uniform metal or metalloid containing mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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