Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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22.02.2024
Selective sige etching using thermal f2 with additive
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.08.2023
Anhängig
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22.02.2024
Multichannel heated gas delivery system
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.08.2023
Anhängig
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22.02.2024
Bond Protection For an Electrostatic Chuck in A Plasma Processing Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.08.2023
Anhängig
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22.02.2024
Dual-Channel Monoblock Gas Manifold
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.08.2023
Anhängig
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21.02.2024
Elektromagnetische Guss-Systeme und -Verfahren mit Öfen und Formen zur Herstellung von Siliziumrohren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 02.10.2018
Erteilt am 21.02.2024
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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08.02.2024
System and method to maintain constant clamping pressure during chamber rebooting and power failure instances
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.07.2023
Anhängig
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08.02.2024
Conductive backside layer for bow mitigation
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.07.2023
Anhängig
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08.02.2024
Reducing Thermal Bow Shift
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.07.2023
Anhängig
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07.02.2024
Kontrolle der Metallkontamination von Metallhaltigem Photoresist
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.01.2024
Plasma Monitoring And Plasma Density Measurement in Plasma Processing Systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2023
Anhängig
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25.01.2024
Precise feedback control of bias voltage tailored waveform for plasma etch processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.07.2023
Anhängig
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25.01.2024
Wedge seal for efem frame and panel seams
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.07.2023
Anhängig
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25.01.2024
High aspect ratio carbon etch with simulated bosch process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Metal-oxide varistor (mov) based surge protection circuit for plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2023
Anhängig
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18.01.2024
High-efficiency led substrate heater for deposition applications
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.06.2023
Anhängig
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18.01.2024
Fast frequency tracking control for radiofrequency power amplifiers with rapidly changing plasma loads
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Edge ring voltage and phase measurement and control for substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Led substrate heater for deposition applications
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.06.2023
Anhängig
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18.01.2024
Plasma Detection in Semiconductor Fabrication Apparatuses
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.06.2023
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18.01.2024
Isolation Valve
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2023
Anhängig
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18.01.2024
Apparatus and method for modulating spatial distribution of plasma and ion energy using frequency-dependent transmission line
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2023
Anhängig
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11.01.2024
End Effector
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.06.2023
Anhängig
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11.01.2024
Mobile sensor devices for semiconductor fabrication equipment
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2023
Anhängig
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11.01.2024
Multi-plenum gas manifolds for substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.06.2023
Anhängig
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11.01.2024
Improved pedestals for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2023
Anhängig
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04.01.2024
Moveable edge rings for plasma processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.09.2022
Anhängig
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04.01.2024
Robot arm with vacuum-compatible seals and internal cooling flow paths
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2023
Anhängig
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04.01.2024
Integrated High Aspect Ratio Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.06.2023
Anhängig
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04.01.2024
Deposition and etch of silicon-containing layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2023
Anhängig
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04.01.2024
Systems and methods for wafer temperature measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.06.2023
Anhängig
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04.01.2024
Parasitic Plasma Suppressor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.06.2023
Anhängig
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04.01.2024
Systems and methods for calibrating rf generators in a simultaneous manner
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.06.2023
Anhängig
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03.01.2024
Elektrostatisches Spannfutter zur Verwendung in der Halbleiterverarbeitung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektrische Energietechnik
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03.01.2024
Dynamische Mantelsteuerung mit Randringhebung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2019
Erteilt am 03.01.2024
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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03.01.2024
Dynamische Mantelsteuerung mit Randringhebung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.12.2023
High aspect ratio etch with a metal or metalloid containing mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.06.2023
Anhängig
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27.12.2023
Vorrichtung zur Verarbeitung eines Waferförmigen Artikels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.12.2023
Integrierte Trockenverfahren zur Strukturierung von Fotolackmustern mittels Strahlung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.12.2023
Tin precursors for deposition of euv dry resist
Organische Chemie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.06.2023
Anhängig
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21.12.2023
Modulation of station voltages during plasma operations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.06.2023
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31