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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
21.04.2016
Method for etching multilayer film
WO2016060058
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2016
Self-aligned patterning using directed self-assembly of block copolymers
WO2016060864
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.04.2016
Temperature control mechanism for object to be processed, and method for selectively etching nitride film from multilayer film
WO2016056391
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
14.04.2016
Gas supply mechanism and semiconductor production device
WO2016056390
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
14.04.2016
Etching method
WO2016056401
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2016
Positional precision inspection method, positional precision inspection device, and position inspection unit
WO2016052012
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2016
Ätzverfahren
EP2838112
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2016
Substrate processing method, computer storage medium and substrate processing system
WO2016047493
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
31.03.2016
Container accommodation device
WO2016047542
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
31.03.2016
Metal hard mask and method for producing same
WO2016047245
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2016
Filmabscheidungsvorrichtung und Filmabscheidungsverfahren
EP2099062
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2016
Semiconductor device manufacturing method, coating formation method, and coating formation device
WO2016042898
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2016
Substrate transportation method and processing system
WO2016043083
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2016
Shower head and deposition system
WO2016043033
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2016
Exhaust treatment device, substrate treatment system, and method for treating exhaust
WO2016043053
Verfahrens- & Trenntechnik
17.03.2016
Heat treatment method and heat treatment apparatus
WO2016039199
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.03.2016
Composite wiring and production method therefor
WO2016035623
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2016
Method for etching object to be processed
WO2016031520
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2016
Gas supply system, plasma processing device and method for operating plasma processing device
WO2016027685
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2016
Substrate processing device
WO2016027734
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2016
Critical Dimension Control in Photo-Sensitized Chemically-Amplified Resist
WO2016025210
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2016
Substrate processing method
WO2016025462
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.02.2016
Plasma stability determination method and plasma processing device
WO2016021355
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.02.2016
Methods for dry hard mask removal on a microelectronic substrate
WO2016022702
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2016
Substrate processing method, computer storage medium and substrate processing system
WO2016017415
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2016
Device inspection method, probe card, interposer, and inspection apparatus
WO2016017292
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2016
Sondenvorrichtung
EP2980838
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.02.2016
Substrattestvorrichtung und Substrattemperatureinstellverfahren
EP2980837
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2016
Method for forming organic monomolecular film and surface treatment method
WO2016013270
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
28.01.2016
Identification system
WO2016014835
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2016
Method for processing object to be processed
WO2016013418
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2016
Substrate processing system and substrate processing apparatus
WO2016013440
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2016
Temperature Sensor
WO2016009459
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.01.2016
Substrate cleaning method, substate processing method, substrate processing system, and semiconductor device manufacturing method
WO2016009717
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2016
Plasma processing device
WO2016009781
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2016
Gas supply device and valve device
WO2016009608
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2016
Negative tone developer compatible photoresist composition and methods of use
WO2016007303
Optik & Fototechnik
14.01.2016
Gas phase oxide removal and passivation of germainium-containing semiconductors and compound semiconductors
WO2016007733
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2016
Wartungssystem, Substratverarbeitungsvorrichtung, Kombination von einer ferngesteuerten Betriebseinheit und einem Sensor, und Kommunikationsverfahren
EP2006741
Optik & Fototechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
07.01.2016
Semiconductor device and method for manufacturing same
WO2016002916
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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