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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
25.08.2016
Carrier transport device and carrier transport method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.08.2016
Method for roughness improvement and selectivity enhancement during arc layer etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2016
Polishing device, coating film formation device, coating film formation method, recording medium, pattern formation method, and pattern formation device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.08.2016
Method and system for high precision etching of substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.08.2016
Wet etching method, substrate liquid treatment device, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2016
Method for forming perpendicular magnetization type magnetic tunnel junction element and apparatus for producing perpendicular magnetization type magnetic tunnel junction element
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2016
Ätzverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2016
Wärmebehandlungssystem
Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
21.07.2016
Joining device, joining system, and joining method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2016
Joining system and joining method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2016
Joint apparatus, joint system, and joint method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2016
Joint apparatus, joint system, and joint method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.07.2016
Joint apparatus, joint system, and joint method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2016
Vorrichtungsprüfverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Doping method, doping device, and semiconductor element manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Patterning a substrate using grafting polymer material
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Substrate liquid processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Method of forming a mask for substrate patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.06.2016
Pattern forming method, gas cluster ion beam irradiation system and pattern forming apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.06.2016
Microstructure formation method, method for manufacturing semiconductor device, and cmos formation method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.06.2016
Etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
09.06.2016
Method for forming cu wiring and method for producing semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.06.2016
Ziel zur Röntgenstrahlerzeugung und Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2016
Substrate treatment method and substrate treatment apparatus
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2016
Substrate processing method, substrate processing device, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2016
Processing condition management system and production system
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
26.05.2016
Recipe id management server, recipe id management system, and terminal device
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
19.05.2016
Stage and substrate processing device
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2016
Method of patterning incorporating overlay error protection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2016
Substrate Placing Table
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2016
Liquid treatment method for substrates, liquid treatment device for substrates, and computer-readable storage medium for storing liquid treatment program for substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2016
Board processing method, computer storage medium, and board processing system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2016
Deposition device and deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2016
Liquid treatment method for substrates, liquid treatment device for substrates, and computer-readable storage medium for storing liquid treatment program for substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2016
Prober
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2016
Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Substrats zur Herstellung einer Verbundhalbleiterfolie sowie System und Verfahren zur Herstellung einer Verbundhalbleiterfolie
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2016
Self-aligned patterning using directed self-assembly of block copolymers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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