Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
6.255 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
27.02.2025
Etch Selectivity Modulation By Fluorocarbon Treatment
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.06.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Purge method and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Pulse generation circuit, board processing device, and energy regeneration method
Elektrische Energietechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Chuck cleaning device, substrate processing device, and substrate processing method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Substrate inspecting device, substrate inspecting method, and storage medium
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Substratverarbeitungsvorrichtung und Förderverfahren
|
|||
|
Zusammenfassung
A substrate processing apparatus that performs processing on a substrate which is accommodated in a cassette and is to be transferred, includes: at least one transfer block configured to transfer the substrate in an interior of the at least one transfer block; a substrate processing module configured to perform the processing on the substrate; and a cassette transfer mechanism configured to transfer the cassette between a delivery position set on an outer surface of the substrate processing apparatus and a loading/unloading position at which the cassette is loaded into and unloaded from an interior of the substrate processing apparatus. The cassette transfer mechanism includes a stage on which the cassette is placed, and a moving mechanism configured to move the cassette placed on the stage. |
|||
|
27.02.2025
Substratverarbeitungsvorrichtung und Förderverfahren
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.02.2025
Hybrid x-ray and optical metrology and navigation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.06.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.02.2025
Processing device and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 01.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.02.2025
Substrate treatment method and substrate treatment device
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.02.2025
Substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.08.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Fully self-aligned via with graphene cap
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.06.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Substrate treatment system, substrate treatment method, program, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Substrate processing apparatus and cleaning method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Etching method and plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Film forming method and film forming system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.02.2025
Release layer for ir laser lift-off process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 11.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.02.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer Testvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Grinding device and grinding method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 01.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Atomic layer deposition of passivation layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.05.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Selective atomic layer etch of si-based materials
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.04.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Method for lateral etch with bottom passivation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.04.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Etching method and plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Etching method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Substrate processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Bonding device, bonding system, and bonding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Bonding device, bonding system, and bonding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.02.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.01.2025
Processing liquid supply device and processing liquid adjustment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.01.2025
Apparatus and method for plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.04.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.01.2025
Systems and methods for depositing metal
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.04.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.01.2025
Information processing method, computer program, and information processing device
Software & Datenverarbeitung
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.07.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil