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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
07.01.2016
Film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.01.2016
Semiconductor device and method for manufacturing same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.01.2016
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2015
Method for processing object to be processed having graphene film
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2015
Heating device, heating method, temperature adjustment mechanism, and semiconductor manufacturing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2015
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2015
Substrate processing system and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.12.2015
Plasma processing apparatus, method for operating plasma processing apparatus, and power supply device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.12.2015
Placing table and plasma treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Film-forming device, film-forming method, and memory medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Method for etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2015
Integrated Induction Coil&microwave Antenna As an All-Planar Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
02.12.2015
Verfahren zur Subkultivierung Pluripotenter Stammzellen
Pharma & Biotechnologie
26.11.2015
Substrate treatment device, substrate treatment method, and substrate treatment program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2015
Substrate treatment device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2015
Heater Power Feeding Mechanism
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
26.11.2015
Wafer position detection apparatus, wafer position detection method, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2015
X-ray generation target, examination system, control device, control method, and control program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2015
Method and apparatus for increased recirculation and filtration in a photoresist dispense system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2015
Heater power feeding mechanism and stage temperature control method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2015
System and method for modeling and/or analyzing manufacturing processes
Software & Datenverarbeitung
19.11.2015
Method and system to improve drying of flexible nano-structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2015
Upper electrode structure for plasma processing device, plasma processing device, and operation method for plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
18.11.2015
Vorrichtung zur Steuerung einer Chemischen Dampfablagerung
Metallurgie & Oberflächentechnik
12.11.2015
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.11.2015
Substrate-processing device, substrate-processing method, and computer-readable recording medium on which substrate-processing program has been recorded
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2015
Substrate processing method, readable computer storage medium, and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2015
Dust collection tool, substrate processing device and particle collection method
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2015
Method for manufacturing cell aggregates of pluripotent stem cells and cell aggregate manufacturing system
Pharma & Biotechnologie
15.10.2015
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
15.10.2015
Method for patterning contact openings on a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.10.2015
Method for correcting wafer bow from overlay
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.10.2015
Plasma processing method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
08.10.2015
Substrate processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2015
Method for cleaning a process chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2015
Heat treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.09.2015
Verfahren zum Behandeln eines Substrats
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2015
Low-Dielectric-Constant Film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2015
Plasma treatment device and plasma treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik

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