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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.255 gesamt
Patent
16.10.2025
Plasma treatment device
WO2025216054
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
16.10.2025
Substrate processing system, substrate processing method, and computer storage medium
WO2025216062
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Substrate processing apparatus, substrate processing apparatus control method, and control program
WO2025216106
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Substrate processing method and substrate processing device
WO2025216100
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Information processing method, information processing device, and computer program
WO2025216108
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2025
Method for forming transition metal dichalcogenide film
WO2025211292
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2025
Substrate processing apparatus, substrate processing method, and program
WO2025211241
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2025
Abnormality detection assistance device, abnormality detection assistance method, and abnormality detection assistance program
WO2025211250
Steuerungs- & Regelungstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
09.10.2025
Method for manufacturing semiconductor device
WO2025211246
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2025
Method and apparatus for manufacturing semiconductor device
WO2025211229
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2025
Plasma treatment system and frequency optimization method
WO2025211080
Elektronik & Schaltungstechnik
09.10.2025
Plasma processing device, power supply system, and control method
WO2025211081
Elektronik & Schaltungstechnik
08.10.2025
Substrattransportverfahren und Substratbehandlungssystem
EP4629284
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate conveyance method, substrate conveyance device, and computer storage medium
WO2025205434
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Method for protecting graphene layer during metal etching
WO2025207194
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Etching method and plasma processing system
WO2025204138
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Plasma treatment device, power supply system, and plasma treatment method
WO2025204638
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
02.10.2025
Methods for wet atomic layer etching of tungsten
WO2025207199
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate processing method and substrate processing device
WO2025205253
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Plasma processing apparatus and plasma processing method
WO2025204284
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Etching bi-metal oxides with alkaline earth metals
WO2025207213
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Gap Filling By Atomic Layer Deposition (ald)
WO2025207214
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.10.2025
Metallization and planarization
WO2025207215
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Hard mask protection of metal interconnects
WO2025207216
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Method and wafer processing system for wet etching a semiconductor wafer
WO2025207217
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Method for removing metal-containing materials in small pitch structures
WO2025207218
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Information processing device, information processing method, and computer program
WO2025205051
Software & Datenverarbeitung
02.10.2025
Method for patterning mask layer using metal-containing resist
WO2025207222
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Photoresist patterning using planar trim layer
WO2025207232
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
High-performance adaptable sampling system
WO2025207231
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
X-ray methods and systems for semiconductor substrate alignment
WO2025207230
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Apparatus and method for detecting and monitoring objects in a fluid bath and adjusting the fluid bath based on the measured object properties
WO2025207234
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
02.10.2025
Computer program, information processing method, and information processing device
WO2025205115
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Concealment method, industrial equipment system, and computer program
WO2025205125
Software & Datenverarbeitung
02.10.2025
Substrate processing device, computer program, and information processing method
WO2025205121
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Using laser based system for mean of shaping of unsingulated&singulated dies by substrate lattice manipulation
WO2025207245
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Member and method for producing member
WO2025204895
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Film forming method and film forming apparatus
WO2025204358
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Plasma processing device, power supply system, and control method
WO2025204583
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
02.10.2025
Method for semiconductor processing
WO2025207177
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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290
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145
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141
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82
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69
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56

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