Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
09.05.2019	09.05.2019 Treatment liquid feeding system, treatment liquid feeding device, and carrier storage device WO2019088189 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2019	02.05.2019 Film formation device and film formation method WO2019082937 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.10.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2019	02.05.2019 Method for forming mask pattern, storage medium, and apparatus for processing substrate WO2019082851 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2019	02.05.2019 Method for etching WO2019082716 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.10.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.04.2019	18.04.2019 Film formation method WO2019073797 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.04.2019	18.04.2019 Plasma processing method WO2019073798 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.04.2019	11.04.2019 Ruthenium metal feature fill for interconnects WO2019070545 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.04.2019	11.04.2019 Ultra-Localized And Plasma Uniformity Control in A Fabrication Process WO2019070524 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.04.2019	04.04.2019 Testing system and testing method WO2019064876 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.04.2019	04.04.2019 Sampling device WO2019065418 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.04.2019	04.04.2019 Methods and systems for coating a substrate with a fluid WO2019067538 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.03.2019	28.03.2019 Methods for sensitizing photoresist using flood exposures WO2019060570 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.03.2019	21.03.2019 Voltage applying device and method for forming output voltage waveform WO2019054059 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.03.2019	21.03.2019 Methods of surface restoration for nitride etching WO2019055402 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2019	20.03.2019 Elektrostatische Aufspannvorrichtung EP2511950 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2010 Erteilt am 20.03.2019 Vertretung Weitzel, Wolfgang · Heidenheim Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2019	14.03.2019 Method of installing semiconductor manufacturing device, storage media, and semiconductor manufacturing device installation system WO2019049747 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2019	14.03.2019 Method for forming insulating film, apparatus for processing substrate, and system for processing substrate WO2019049735 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2019	07.03.2019 Substrate processing system, and substrate processing method WO2019044506 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.03.2019	07.03.2019 Substrate treatment apparatus and substrate treatment method WO2019044548 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2019	28.02.2019 Inner wall and substrate treatment device WO2019039337 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2019	28.02.2019 Substrate processing device and substrate transfer method WO2019039316 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2019	28.02.2019 Substrate processing method, computer storage medium and substrate processing system WO2019039432 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2019	21.02.2019 Method and device for incorporating single diffusion break into nanochannel structures of fet devices WO2019035945 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2019	21.02.2019 Method for position-specific determination of undifferentiated state of pluripotent stem cells cultured in a cell culture container, method for subculturing pluripotent stem cells, and device used in said methods WO2019035462 Pharma & Biotechnologie	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2019	21.02.2019 Apparatus and method for real-time sensing of properties in industrial manufacturing equipment WO2019036587 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.02.2019	20.02.2019 Internes Element für Plasmabehandlungsbehälter und Herstellungsverfahren EP1156130 Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2000 Erteilt am 20.02.2019 Vertretung Nash, David Allan · Bristol Bond, Bentley George · Bristol Haseltine Lake Kempner LLP · München Haseltine Lake LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2019	14.02.2019 Substrate treatment method WO2019031374 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2019	14.02.2019 Selective film deposition using halogen deactivation WO2019033003 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2019	14.02.2019 Method for manufacturing gallium nitride microcrystalline aggregate, and device for manufacturing gallium nitride microcrystalline aggregate WO2019031501 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2019	14.02.2019 Method for determining undifferentiated state of pluripotent stem cell, method for subculturing pluripotent stem cell, and device for use in said methods WO2019031545 Pharma & Biotechnologie Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2019	07.02.2019 Test device, test method and memory medium WO2019026607 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.02.2019	06.02.2019 Substratprüfungsvorrichtung EP3438679 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2017 Anhängig Vertretung Diehl & Partner · München Diehl & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2019	31.01.2019 Application device, application method, and computer storage medium WO2019021859 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.01.2019	31.01.2019 System and method for backside deposition of a substrate WO2019023636 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2019	24.01.2019 Inspection system WO2019017050 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2019	17.01.2019 Substrate transfer device and substrate transfer method WO2019012978 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2019	17.01.2019 Substrate processing system, substrate processing method, and computer storage medium WO2019013042 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2019	17.01.2019 Grinding device, grinding method and computer storage medium WO2019013037 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2019	17.01.2019 Conveyance device, substrate processing system, conveyance method, and substrate processing method WO2019013022 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2019	17.01.2019 Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy (oes) in Plasma Processing WO2019014343 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen