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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.255 gesamt
Patent
02.10.2025
Selective In-Situ Carbon-Based Mask Protection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Die to wafer bonding method and apparatus with thermal contactless die shape control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Joining device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Controlling Etch Edge Effects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Plasma processing apparatus and processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Conveyance device and exhaust method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Method for semiconductor processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Selective etching of silicon adjacent to silicon-germanium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Transfer device and gas supply method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Bonding Energy Measurement
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.10.2025
Conveyance device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Conveyance device and discharge method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate transport system
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Die to wafer bonding method and apparatus with thermal contact die shape control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Load port and conveyance device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate treatment method and substrate treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Etching apparatus and etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Eccentricity based wafer shape control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Multipatterning with crosslinkable overcoat
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Conveyance device and circulation method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Plasma processing device, bias power supply system, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
25.09.2025
Substrate treatment method and substrate treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Substrate processing method, substrate processing device, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Substrate processing method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
25.09.2025
Conveyance system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Temperature control method for inspection system, and inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
25.09.2025
Substrate processing system and magnetically levitated vacuum transfer unit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Separation device and holding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Method for filling metal and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Inspection system and temperature control method for inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Plasma treatment device, bias power source, and plasma treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
25.09.2025
Plasma processing apparatus and electrostatic chuck
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
System and method for adjusting etch selectivity of etchant solution
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Ceramic heater assembly with internal and external heating functionality useful in the fabrication of microelectronic devices
Metallurgie & Oberflächentechnik
25.09.2025
Plasma etch-deposition processes and systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Method for patterning for chemical mechanical polishing (cmp) iso-dense bias compensation using z-height
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
System and method of pulse scoring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Autocatalytic acid amplification for photoselective acid diffusion
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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