Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
10.01.2019	10.01.2019 Substrate treatment method and substrate treatment system WO2019009123 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2019	10.01.2019 Placing table structure and treatment device WO2019009118 Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2019	10.01.2019 Substrate treatment system, substrate cleaning method, and storage medium WO2019009054 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2019	03.01.2019 Etching method and etching device WO2019003663 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Buried Power Rails WO2018237106 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Substrate processing system, substrate processing method and computer storage medium WO2018235619 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Testing system WO2018235411 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Probe device and needle trace transcription method WO2018235718 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2018	26.12.2018 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements EP2840592 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2014 Erteilt am 26.12.2018 Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB · München Zusammenfassung A semiconductor device manufacturing method includes exciting a processing gas containing a HBr gas and a Cl<2>gas within a processing chamber that accommodates a target object including a substrate, regions made of silicon, which are protruded from the substrate and arranged to form a gap, a metal layer formed to cover the regions, a polycrystalline silicon layer formed on the metal layer, and an organic mask formed on the polycrystalline silicon layer. The Cl<2>gas is supplied at a flow rate of about 5% or more to about 10% or less with respect to a flow rate of the HBr gas in the processing gas. Alle Patent-Informationen
20.12.2018	20.12.2018 Method for reducing reactive ion etch lag in low k dielectric etching WO2018231732 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2018	20.12.2018 Process for patterning a magnetic tunnel junction WO2018231695 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2018	20.12.2018 Substrate processing method WO2018230377 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2018	19.12.2018 Vorrichtung und Verfahren zur Plasmaverarbeitung EP2479784 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2005 Erteilt am 19.12.2018 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2018	19.12.2018 Vorrichtung und Verfahren zur Plasmaverarbeitung EP2479782 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2005 Erteilt am 19.12.2018 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 Method of plasma etching of silicon-containing organic film using sulfur-based chemistry WO2018226501 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 Inspection apparatus, inspection system, and aligning method WO2018225384 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 Processing condition setting method, storage medium, and substrate processing system WO2018225615 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2018	12.12.2018 Vorrichtung und Verfahren zur Plasmaverarbeitung EP2479783 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2005 Erteilt am 12.12.2018 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Gettering layer forming device, gettering layer forming method, and computer storage medium WO2018221290 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Etching method WO2018220973 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2018	29.11.2018 Substrate processing method, storage medium, and substrate processing system WO2018216566 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2018	29.11.2018 Substrate treatment device and substrate treatment method WO2018216476 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 Plasma processing device, processing system, and method for etching porous film WO2018212040 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 Device inspection method WO2018211774 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 Substrate transportation method WO2018211967 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 Inspection system and temperature measuring method for inspection system WO2018211775 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 In-situ selective deposition and etching for advanced patterning applications WO2018213295 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2018	15.11.2018 Vertical multi-batch magnetic annealing systems for reduced footprint manufacturing environments WO2018208603 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2018	15.11.2018 Vacuum processing device WO2018207616 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2018	15.11.2018 Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium WO2018207672 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2018	15.11.2018 Microwave output device and plasma processing device WO2018207705 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2018	08.11.2018 Method for producing optical member WO2018203477 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2018	08.11.2018 Method for producing organic el display WO2018203478 Optik & Fototechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2018	08.11.2018 Manufacturing methods to reduce surface particle impurities after a plasma process WO2018204500 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2018	01.11.2018 Washing method, washing device, storage medium, and washing composition WO2018198466 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.02.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2018	01.11.2018 Method for fabricating nfet and pfet nanowire devices WO2018201066 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2018	01.11.2018 Wafer inspection device WO2018198819 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2018	01.11.2018 Coating treatment device, coating treatment method, and optical film formation device WO2018198863 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.10.2018	25.10.2018 Insulating film forming method, insulating film forming device, and substrate processing system WO2018193753 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2018	18.10.2018 Method for anisotropic dry etching of titanium-containing films WO2018191338 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen