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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.255 gesamt
Patent
20.11.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Plasma processing device and substrate supporter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
20.11.2025
Maintenance device, substrate processing system, and maintenance method
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
20.11.2025
Bonding device and bonding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Inspection system and inspection method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Processor for executing prefetch to absent area of program memory, program recording medium, and method
Software & Datenverarbeitung
19.11.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2025
Inspektionssystem und Temperatursteuerungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2025
Plasmabehandlungsvorrichtung und Plasmabehandlungsverfahren
Elektronik & Schaltungstechnik
13.11.2025
Verarbeitungssystem und Verarbeitungsverfahren
Anorganische Chemie & Werkstoffe
13.11.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Substrate treatment device and substrate treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Etching method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Joining system and joining method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Processing system and processing method
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
13.11.2025
Underlayer film forming method, substrate processing apparatus, and substrate processing system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Conveyance support device and conveyance support system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Mixed-species buffer film for structural integrity of metallization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Exhaust ring and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Substrate processing method, substrate processing device, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Substrate processing apparatus, gas supply mechanism, and gas supply method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Plasma processing device and upper assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
30.10.2025
Broom camera and rotational stage for metrology measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Vacuum treatment device and pressure control method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Bonding device and bonding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Maintenance system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2025
Methods for wet atomic layer etching of molybdenum in aqueous solution
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2025
Reforming method and reforming system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2025
Fluid supply device, substrate processing device, and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungsvorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
16.10.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Substrate processing system, substrate processing method, and computer storage medium
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Substrate processing apparatus, substrate processing apparatus control method, and control program
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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