Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
08.04.2020	08.04.2020 Substratverarbeitungsverfahren EP2854160 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2013 Erteilt am 08.04.2020 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2020	25.03.2020 Verfahren zum Ätzen eines Porösen Films EP3627538 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.05.2018 Anhängig Vertretung Jacob, Reuben Ellis · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.03.2020	18.03.2020 Verarbeitungsanzeigevorrichtung, Verarbeitungsanzeigeverfahren, Computerprogramm und Verarbeitungsvorrichtung EP2733558 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2012 Erteilt am 18.03.2020 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2020	11.03.2020 Ätzverfahren EP3621102 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.04.2016 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.01.2020	22.01.2020 Verfahren zur Steuerung der Haftung von Mikropartikeln an ein zu Verarbeitendes Basismaterial und Verarbeitungsvorrichtung EP2843690 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.11.2012 Erteilt am 22.01.2020 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.12.2019	25.12.2019 Plasmaätzvorrichtung und Plasmaätzverfahren EP3200220 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.10.2007 Erteilt am 25.12.2019 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2019	09.10.2019 Plasmaverarbeitungsverfahren und Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP2879167 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2013 Erteilt am 09.10.2019 Vertretung Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2019	09.10.2019 Plasmaverarbeitungsverfahren EP2879166 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.08.2013 Erteilt am 09.10.2019 Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.10.2019	02.10.2019 Ätzverfahren EP2618366 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2013 Erteilt am 02.10.2019 Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung An etching method of etching a periodic pattern formed by self-assembling a first polymer and a second polymer of a block copolymer that is capable of being self-assembled includes introducing a gas into a processing chamber; setting a frequency of a high frequency power supply such that a great amount of ion energy is distributed within a range smaller than ion energy for generating an etching yield of the first polymer and equal to or larger than ion energy for generating an etching yield of the second polymer, and supplying the high frequency power into the processing chamber from the high frequency power supply; generating plasma from the gas introduced in the processing chamber by applying the high frequency power; and etching the periodic pattern on a processing target object mounted on a susceptor 16 by using the generated plasma. Alle Patent-Informationen
11.09.2019	11.09.2019 Verfahren zur Herstellung eines Musters EP2975633 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.04.2014 Erteilt am 11.09.2019 Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.09.2019	11.09.2019 Belichtungsdosishomogenisierung durch Rotation, Translation und Variable Verarbeitungsbedingungen EP3278353 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.03.2016 Erteilt am 11.09.2019 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2019	04.09.2019 Optische Verarbeitungsvorrichtung, Beschichtungs-/entwicklungsvorrichtung, Optisches Verarbeitungsverfahren und nicht Transitorisches Computerlesbares Speichermedium EP3346337 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2017 Erteilt am 04.09.2019 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.08.2019	28.08.2019 Zellkulturbehälter EP3109312 Pharma & Biotechnologie	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2015 Erteilt am 28.08.2019 Vertretung Diehl & Partner · München Diehl & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.08.2019	21.08.2019 Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP2390897 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.05.2011 Erteilt am 21.08.2019 Vertretung Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2019	14.08.2019 Zellkulturvorrichtung und Verfahren zum Ersetzen eines Kulturmediums EP3260527 Pharma & Biotechnologie	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.02.2016 Erteilt am 14.08.2019 Vertretung Diehl & Partner · München Diehl & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2019	14.08.2019 Verfahren zur Bestimmung einer Asymmetrischen Eigenschaft einer Struktur EP2625487 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.10.2011 Erteilt am 14.08.2019 Vertretung Manley, Nicholas Michael · Liverpool FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.08.2019	07.08.2019 Prozessvorrichtung EP2458618 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.11.2011 Erteilt am 07.08.2019 Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.07.2019	17.07.2019 Verfahren zur Plasmaverarbeitung und Vorrichtung zur Plasmaverarbeitung EP3206223 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2015 Erteilt am 17.07.2019 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2019	13.06.2019 Method for controlling transistor delay of nanowire or nanosheet transistor devices WO2019112954 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.12.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2019	13.06.2019 Semiconductor apparatus having stacked gates and method of manufacture thereof WO2019112953 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.12.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2019	13.06.2019 Plating treatment method, plating treatment device, and storage medium WO2019111721 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2019	13.06.2019 Optical device, measurement device, joining system, and measurement method WO2019111736 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2019	13.06.2019 Substrate processing device, substrate processing method, and storage medium having program for performing substrate processing method recorded therein WO2019112042 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2019	13.06.2019 Method for incorporating multiple channel materials in a complementary field effective transistor (cfet) device WO2019112952 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.12.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2019	13.06.2019 High aspect ratio via etch using atomic layer deposition protection layer WO2019113482 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.06.2019	12.06.2019 Verfahren und Anlage zur Kultivierung von Pluripotenten Stammzellen EP3070159 Pharma & Biotechnologie	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2014 Erteilt am 12.06.2019 Vertretung Wynne-Jones IP Limited · Gloucester Wynne-Jones, Laine and James LLP · Cheltenham Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Back-side friction reduction of a substrate WO2019108377 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Substrate liquid processing device WO2019107331 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Substrate-liquid treatment device, substrate-liquid treatment method, and recording medium WO2019107330 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Prober WO2019107079 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Treatment device WO2019106979 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.10.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Substrate processing device WO2019107191 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Method for adjusting needle tip position of probe needle, and inspection device WO2019107173 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2019	06.06.2019 Substrate liquid treatment device, substrate liquid treatment method, and recording medium WO2019107258 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2019	31.05.2019 Apparatus for producing semiconductor device, method for producing semiconductor device, and computer storage medium WO2019102866 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2019	31.05.2019 Apparatus for producing semiconductor device, method for producing semiconductor device, and computer storage medium WO2019102867 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2019	31.05.2019 Substrate transfer device, substrate processing system, substrate processing method, and computer storage medium WO2019102868 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2019	23.05.2019 Plasma processing system with synchronized signal modulation WO2019099102 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.09.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2019	16.05.2019 Substrate treatment apparatus WO2019093244 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.11.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.05.2019	09.05.2019 Film formation device, and film formation method WO2019087715 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen