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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
05.04.2012
Method and system for modifying photoresist using electromagnetic radiation and ion implantion
WO2012044536
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2012
Method and system for modifying patterned photoresist using multi-step ion implantion
WO2012044677
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2012
Ion Beam Tuning
WO2012040014
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2012
In-situ heating and co-annealing for laser annealed junction formation
WO2012040464
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2012
Controlling Laser Annealed Junction Depth By Implant Modification
WO2012040472
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2012
Mechanism and method for alignment of a workpiece to a mask
WO2012036911
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2012
Technique for manufacturing bit patterned media
WO2012033988
Akustik, Musik & Datenspeicherung
15.03.2012
Uniformity control using ion beam blockers
WO2012033698
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2012
High Conductivity Electrostatic Chuck
WO2012033922
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
01.03.2012
Sputter target feed system
WO2012027123
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2012
Mechanism and method for aligning a workpiece to a shadow mask
WO2012024173
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2012
Verfahren zur Substratverarbeitung
EP2417622
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2012
Verfahren zur Substratverarbeitung
EP2417624
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.01.2012
System and method for controlling plasma deposition uniformity
WO2012012523
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.01.2012
Platen Cleaning
WO2012012699
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2012
Method for manufacturing a high efficiency solar cell by directional doping
WO2012006354
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2012
Deceleration Lens
WO2012003154
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2012
Plasma uniformity system and method
WO2012003445
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2012
Control apparatus for plasma immersion ion implantation of a dielectric substrate
WO2012003339
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2012
Glitch Control During Implantation
WO2012003327
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2011
Thermal control of a proximity mask and wafer during ion implantation
WO2011163488
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.12.2011
Technique for limiting transmission of fault current
WO2011159893
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.12.2011
Fault Current Limiter
WO2011160116
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.12.2011
Techniques for plasma processing a substrate
WO2011156813
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.12.2011
Ion Source
WO2011155917
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2011
Method for damage-free junction formation
WO2011153074
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2011
Molecular Ion Generation
WO2011149607
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2011
High Surface Resistivity Electrostatic Chuck
WO2011149918
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
10.11.2011
Small form factor plasma source for high density wide ribbon ion beam generation
WO2011139587
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.11.2011
Isolation By Implantation in Led Array Manufacturing
WO2011140015
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.11.2011
Bond Pad Isolation And Current Confinement in an Led Using Ion Implantation
WO2011137030
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2011
Method for patterning a substrate using ion assisted selective deposition
WO2011133836
Optik & Fototechnik
20.10.2011
Pulsed Plasma To Affect Conformal Processing
WO2011130014
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2011
Apparatus for controlling the temperature of an rf ion source window
WO2011126919
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2011
Continuously Optimized Solar Cell Metallization Design Through Feed-Forward Process
WO2011126772
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2011
Verfahren zur Wartung eines Substratverarbeitungssystems
EP2374147
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2011
Vertical Structure Led Current Spreading By Implanted Regions
WO2011123650
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2011
Implant Alignment Through A Mask
WO2011119819
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2011
Process chamber liner with apertures for particle containment
WO2011115834
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2011
Method and system for modifying substrate patterned features using ion implantation
WO2011116039
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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