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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
07.01.2016
Apparatus for dynamic temperature control of an ion source
WO2016003618
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Method of improving ion beam quality in a non-mass-analyzed ion implantation system
WO2015187639
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.11.2015
Apparatus and method for dynamic control of ion beam energy and angle
WO2015172130
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.11.2015
Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle mit Substrat
EP2858126
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2015
Technique for temperature measurement and calibration of semiconductor workpieces using infrared
WO2015148122
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2015
End Effector Pads
WO2015148079
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2015
Advanced Back Contact Solar Cells
WO2015142554
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2015
Thermistor based measurement system
WO2015142552
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.08.2015
Platen Support Structure
WO2015126819
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2015
Heated platen with improved temperature uniformity
WO2015123233
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2015
Plasma Resistant Electrostatic Clamp
WO2015123059
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2015
Method and apparatus for three dimensional ion implantation
WO2015123074
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2015
Complementary Traveling Masks
WO2015123200
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2015
Diffusion Resistant Electrostatic Clamp
WO2015116930
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2015
Method and mechanism for erosion detection of defining apertures
WO2015116373
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.08.2015
Verfahren zur Herstellung einer Folie und Ihre Entfernung von der Oberfläche einer Schmelze mittels Elastizität und Auftrieb
EP2567001
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.07.2015
Techniques for ion implantation of narrow semiconductor structures
WO2015112367
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2015
Cold stripper for high energy ion implanter with tandem accelerator
WO2015100016
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2015
In Situ Control Of Ion Angular Distribution in A Processing Apparatus
WO2015099988
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2015
Vacuum assembly for an ion implanter system
WO2015094621
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2015
Dielectric coating of the edge of a solar cell
WO2015088767
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2015
Triple Mode Electrostatic Collimator
WO2015080894
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2015
Method for implant productivity enhancement
WO2015080843
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.06.2015
Technik zur Begrenzung von Fehlerstromübertragung
EP2446489
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2015
Verwendung von Verketteten Implantaten in Solarzellen
EP2248154
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2015
Pinched plasma bridge flood gun for substrate charge neutralization
WO2015061578
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2015
Dual stage scanner for ion beam control
WO2015061104
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2015
Dual Mode Ion Implanter
WO2015061101
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2015
Apparatus To Control an Ion Beam
WO2015061105
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2015
Wide Metal-Free Plasma Flood Gun
WO2015057829
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.04.2015
Gestufte Maskierung zur Strukturierten Dotierung
EP2491578
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2015
Method of cleaning an extraction electrode assembly using pulsed biasing
WO2015054494
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2015
Techniques for processing substrates using directional reactive ion etching
WO2015048126
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2015
Sic Coating in an Ion Implanter
WO2015048122
Metallurgie & Oberflächentechnik
19.03.2015
Gas coupled probe for substrate temperature measurement
WO2015038459
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Dynamic electrode plasma system
WO2015035116
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.03.2015
Barrier layers for electrostatic chucks
WO2015031041
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
05.03.2015
High temperature superconductor tape with alloy metal coating
WO2015031040
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2015
System and method of providing isolated power to gate driving circuits in solid state fault current limiters
WO2015026570
Elektrische Energietechnik
05.02.2015
Improved Lifetime Ion Source
WO2015017635
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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