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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
29.01.2015
Multi-part mask for implanting workpieces
WO2015013606
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2015
Mechanical alignment of substrates to a mask
WO2015013607
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2015
Method of improving ion beam quality in an implant system
WO2015009975
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2015
Method of doping a polycrystalline transistor channel for vertical nand devices
WO2015006392
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Apparatus and techniques for controlling ion angular spread
WO2014209525
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Textured Silicon Liners in Substrate Processing Systems
WO2014210141
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2014
Process flow for replacement metal gate transistors
WO2014204810
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2014
Replacement Metal Gate Transistor
WO2014204812
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2014
Verfahren zur Erzielung von Anhaltender Anisotroper Kristallzüchtung auf der Oberfläche einer Schmelze
EP2814783
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
18.12.2014
Annular cooling fluid passage for magnets
WO2014201363
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2014
Reduction of deposition by separation ion beam and neutral flow
WO2014197391
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2014
System and method for quick-swap of multiple substrates
WO2014189788
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2014
Substrate processing based on resistivity measurements
WO2014189790
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2014
Apparatus and techniques for controlling ion implantation uniformity
WO2014179674
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2014
Force sensing system for substrate lifting apparatus
WO2014179077
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2014
Extended Lifetime Ion Source
WO2014179677
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2014
Apparatus and techniques for controlling ion implantation uniformity
WO2014179672
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2014
Self-Cleaning Radio Frequency Plasma Source
WO2014179078
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2014
Low Emissivity Electrostatic Chuck
WO2014176093
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
An Ion Source
WO2014164111
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Floating High Vacuum Seal Cartridge
WO2014164433
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Method of improving ion beam quality in an implant system
WO2014164441
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Wafer handling apparatus
WO2014164776
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Composite End Effectors
WO2014164966
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Rotary Flex Union
WO2014164791
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Method of implementing low dose implant in a plasma system
WO2014159530
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Techniques To Mitigate Straggle Damage To Sensitive Structures
WO2014159408
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
System and method for plasma control using boundary electrode
WO2014159523
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Ion Source
WO2014159402
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2014
Techniques for clamping and declamping a substrate
WO2014133840
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2014
Integrierte Lochmaske / Träger für Ionenimplantation
EP2622634
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2014
Method and system for plasma-assisted ion beam processing
WO2014130510
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Improved ion implant for defect control
WO2014093536
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Mask alignment system for semiconductor processing
WO2014093501
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Magnetic masks for an ion implant apparatus
WO2014093562
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Transfer chamber and method of using transfer chamber
WO2014093527
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Temperature Monitor For Devices in an Ion Implant Apparatus
WO2014093529
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Method of reducing contact resistance
WO2014093532
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2014
Reducing Glitching in an Ion Implanter
WO2014074414
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2014
Apparatus for treating ion beam
WO2014066375
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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