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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
05.01.2017
Vacuum Compatible Led Substrate Heater
WO2017003866
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2017
Workpiece Processing Technique
WO2017003864
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2017
Thermal shield for electrostatic chuck
WO2017003646
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2016
Finfet spacer etch with no fin recess and no gate-spacer pull-down
WO2016209579
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2016
Techniques to engineer nanoscale patterned features using ions
WO2016209580
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.12.2016
In-situ plasma cleaning of process chamber components
WO2016200668
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2016
A source housing assembly for controlling ion beam extraction stability and ion beam current
WO2016186913
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2016
Substrate handling and heating system
WO2016182726
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2016
Apparatus for heating and processing a substrate
WO2016182724
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2016
Apparatus and method for multilayer deposition
WO2016183137
Metallurgie & Oberflächentechnik
27.10.2016
Apparatus and method for controlling implant process
WO2016172061
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2016
Method for fabricating three dimensional device
WO2016172034
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2016
Thermally Insulating Electrical Contact Probe
WO2016172036
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2016
Semiconductor manufacturing device with embedded fluid conduits
WO2016172030
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2016
Hybrid Thermal Electrostatic Clamp
WO2016168008
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2016
Fehlerstrombegrenzer mit Verschachtelten Wicklungen
EP3080886
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2016
Device and method for substrate heating during transport
WO2016164163
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2016
Multi-aperture extraction system for angled ion beam
WO2016160339
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2016
Apparatus and method for endpoint detection
WO2016160288
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2016
Apparatus for improving temperature uniformity of a workpiece
WO2016148907
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.09.2016
Intergriertes Supraleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung
EP3069381
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2016
Apparatus and method to control an ion beam current
WO2016126518
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2016
Multiple exposure treatment for processing a patterning feature
WO2016118299
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2016
Festkörper-Fehlerstrombegrenzer
EP3036809
Elektrische Energietechnik
29.06.2016
Fehlerstrombegrenzer mit Schneller Schaltung
EP3036810
Elektrische Energietechnik
23.06.2016
Dynamic heating method and system for wafer processing
WO2016099772
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Apparatus and method to control an ion beam
WO2016099874
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Apparatus for improving temperature uniformity of a workpiece
WO2016099817
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.06.2016
System and method of opening a load lock door valve at a desired pressure after venting
WO2016089600
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.06.2016
Angled ion beam processing of heterogeneous structure
WO2016089727
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2016
Control of workpiece temperature via backside gas flow
WO2016081176
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2016
Plasma cathode charged particle lithography system
WO2016068932
Elektronik & Schaltungstechnik
21.04.2016
System for measuring material thicknesses at high temperatures
WO2016061430
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2016
Apparatus and method for controlling thickness of a crystalline sheet grown on a melt
WO2016060808
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.04.2016
Workpiece processing method and apparatus
WO2016060952
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2016
Verfahren zur Substratverarbeitung
EP2417623
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2016
Active substrate alignment system and method
WO2016043987
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2016
Control of ion angular distribution of ion beams with hidden deflection electrode
WO2016040006
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2016
Bias electrodes for tandem accelerator
WO2016032822
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2016
Method for selectively depositing a layer on a three dimensional structure
WO2016007487
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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