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ACM Research (Shanghai) Patente

🇨🇳 China

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

260
Patente
2007–2025
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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260 gesamt
Patent
05.02.2026
Liquid discharging apparatus and substrate processing device
WO2026026279
Optik & Fototechnik
05.02.2026
Pipe Mount/dismount Fixture
WO2026026278
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
29.01.2026
Process tube and furnace tube apparatus
WO2026021031
29.01.2026
Substrate heat treatment apparatus, heat treatment method and coating and developing device
WO2026021027
22.01.2026
Bump electroplating method
WO2026016674
Metallurgie & Oberflächentechnik
15.01.2026
Substrate processing apparatus and substrate processing method
WO2026012015
02.01.2026
Substrate positioning device and substrate positioning method
WO2026001518
02.01.2026
Sealing structure and sealing method for high-temperature furnace tube
WO2026001516
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
02.01.2026
Substrate treatment method
WO2026001515
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2026
Electroplating device and electroplating method
WO2026001367
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.01.2026
Component separation device, and liquid recovery apparatus and method
WO2026001364
Verfahrens- & Trenntechnik
02.01.2026
Substrate edge etching apparatus
WO2026001365
02.01.2026
Chemical vapor deposition method
WO2026001353
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.01.2026
Heating device and substrate processing apparatus
WO2026001349
02.01.2026
Electroplating apparatus
WO2026001357
Metallurgie & Oberflächentechnik
31.12.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Substraten
EP3515611
Verfahrens- & Trenntechnik
26.12.2025
Wafer processing apparatus
WO2025261004
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Chuck for square substrate
WO2025260967
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Fire detection method and detection system for electroplating device
WO2025260997
Sport, Freizeit & Sicherheitstechnik
26.12.2025
Edge cleaning device and edge cleaning method
WO2025261022
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Thin film deposition device and thin film deposition method
WO2025261005
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.12.2025
Chuck for square substrate
WO2025261001
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2025
Radio-frequency-power regulation apparatus and method
WO2025256331
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
18.12.2025
Rotating shaft and substrate holding device
WO2025256308
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Packaging structure cleaning method and apparatus
WO2025246756
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Pre-wetting method and device for wafer
WO2025246759
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Cleaning method and cleaning device for packaged structure
WO2025246758
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Cleaning device and method for package structure
WO2025246790
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Gas intake system and furnace pipe apparatus
WO2025246757
Metallurgie & Oberflächentechnik
20.11.2025
Substrate processing apparatus and method
WO2025236941
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Substrate processing device, and method
WO2025236942
Optik & Fototechnik
20.11.2025
Seed layer pretreatment device and method, and substrate treatment apparatus
WO2025236943
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Annealing device and annealing method
WO2025228073
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Chuck of wafer holding device and wafer holding device
WO2025228075
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.11.2025
Clamping force threshold measurement apparatus for wafer chuck
WO2025228072
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.10.2025
Pipe fixing fixture and furnace tube apparatus
WO2025223183
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Substrate cleaning device and cleaning method, and coating and developing apparatus
WO2025223182
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
16.10.2025
Atomic layer deposition method, and furnace tube device and vacuumizing method therefor
WO2025214048
Metallurgie & Oberflächentechnik
09.10.2025
Substrate holding device and wet processing apparatus
WO2025209098
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2025
Substratbehandlungsvorrichtung
EP4629283
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
175
Metallurgie & Oberflächentechnik
80
Verfahrens- & Trenntechnik
38
Optik & Fototechnik
11
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
7
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
7
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
5
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
2
Sport, Freizeit & Sicherheitstechnik
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