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Advanced Technology Materials Patente

🇺🇸 USA

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

458
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
21
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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458 gesamt
Patent
02.07.2008
Entfernung von Partikelverunreinigung auf Gemustertem Silicium/siliciumdioxid unter Verwendung von Dickflüssigen/chemischen Formulierungen
EP1937794
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
18.06.2008
Systeme und Verfahren zur Bestimmung des Endpunkts von Kammer-Reinigungsprozessen
EP1932170
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2008
Oxidierende Wässrige Reiniger zur Entfernung von Nachätzresten
EP1932174
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2008
Metal aminotroponiminates, bis-oxazolinates and guanidinates
WO2008069821
Organische Chemie
11.06.2008
Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung mit Hohem Durchsatz zur Metallfilm-Planarisierung
EP1929512
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2008
Materialeinschliessungssystem
EP1928746
Verpackungs- & Fördertechnik Verfahrens- & Trenntechnik
14.05.2008
Verpackung von elektronischen Bauteilen
EP1331839
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
02.05.2008
Removal of high-dose ion-implanted photoresist using self-assembled monolayers in solvent systems
WO2008052103
Metallurgie & Oberflächentechnik
27.03.2008
Uric acid additive for cleaning formulations
WO2008036823
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
19.03.2008
Zusammensetzung zum Integrierten Chemisch-Mechanischen Polieren und Verfahren zur Einzelplattenbehandlung
EP1899111
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
19.03.2008
Fluidlagerungs- und -Abgabesysteme und Diese Umfassende Fluidzufuhrverfahren
EP1899041
Verfahrens- & Trenntechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
19.03.2008
Vorrichtung und Verfahren zur Integrierten Gasmischung
EP1899040
Verpackungs- & Fördertechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
05.03.2008
Zusammensetzungen und Verfahren zur Selektiven Entfernung von Metall oder Metallegierung nach der Metallsilizidbildung
EP1894230
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2008
Dichte Fluidzusammensetzungen zum Entfernen von Gehärtetem Fotolack, Rückständen nach dem Ätzen Und/oder Antireflexionsbodenüberzugsschichten
EP1893355
Verfahrens- & Trenntechnik
30.01.2008
Vorrichtung und Verfahren zur Entfernung oder für Abscheidungsprozesse mit Überkritischem Fluid
EP1882055
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
23.01.2008
Formulierungen zur Reinigung von Ionenimplantierten Photoresistschichten aus Mikroelektronischen Vorrichtungen
EP1879704
Verfahrens- & Trenntechnik
16.01.2008
Entfernen von Hochionendotiertem Photolack mit Selbstorganisierten Monoschichten in Lösungsmittelsystemen
EP1877530
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
16.01.2008
Materiallagerungs- und -Abgabeverpackungen und -Verfahren
EP1877310
Verpackungs- & Fördertechnik
27.12.2007
Electrochemical sampling head or array of same
WO2007149810
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.12.2007
Electrochemical sensing and data analysis system, apparatus and method for metal plating
WO2007149813
Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
26.12.2007
Durchsatzverbesserung für Einzel-Wafer-Reaktor
EP1339625
Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
21.12.2007
Cobalt precursors useful for forming cobalt-containing films on substrates
WO2007147020
Organische Chemie
21.12.2007
Liquid Dispensing Systems Encompassing Gas Removal
WO2007146892
Verpackungs- & Fördertechnik
19.12.2007
System zur Zufuhr von Reagenzien von Feststoffquellen davon
EP1866074
Medizintechnik & Gesundheit Sport, Freizeit & Sicherheitstechnik
13.12.2007
Copper (i) amidinates and guanidinates for forming copper thin films
WO2007142700
Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik
13.12.2007
Barrier fluoropolymer film-based liners and packaging comprising same
WO2007143579
Kunststoff- & Polymertechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
12.12.2007
Vorrichtung und Prozess zur Leckprüfung und Qualifikation von Fluidabgabebehältern
EP1864102
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.12.2007
Storage and transport container for materials susceptible to physical state change under variable ambient temperature conditions
WO2007140406
Verfahrens- & Trenntechnik
05.12.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des Plasmazustandes in einer Plasma-Ätzbearbeitungsanlage
EP1861868
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2007
Chemical reagent delivery system utilizing ionic liquid storage medium
WO2007134183
Medizintechnik & Gesundheit
07.11.2007
Zusammensetzungen zur Verarbeitung von Halbleitersubstraten
EP1851296
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2007
Formulations for removing copper-containing post-etch residue from microelectronic devices
WO2007120259
Verfahrens- & Trenntechnik
17.10.2007
Zusammensetzung zur Entfernung von Fotolackresten nach dem Ätzen und Antireflexions-Unterbeschichtungen
EP1844367
Optik & Fototechnik
03.10.2007
Aufbewahrung und Abgabe von PENTABORAN(9)
EP1838894
Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
08.08.2007
Flüssigkeitsabgabesystem
EP1814798
Verpackungs- & Fördertechnik
01.08.2007
Fluidspeicher- und -Abgabesystem mit Dynamischer Fluidüberwachung des Fluidspeicher- und Abgabebehälters
EP1812965
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
26.07.2007
Apparatus and method for use of indium chloride to deliver indium vapor to ion source
WO2007085008
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.07.2007
1,3-Dicarbonylverbindungen Enthaltende Halbleiterstrippzusammensetzung
EP1349969
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
18.07.2007
Neue Verfahren zur Reinigung von Komponenten zur Ionenimplantierung
EP1807224
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2007
Material storage and dispensing containers and systems comprising same
WO2007061967
Verpackungs- & Fördertechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
157
Verfahrens- & Trenntechnik
94
Metallurgie & Oberflächentechnik
92
Verpackungs- & Fördertechnik
64
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
63
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
37
Organische Chemie
31
Anorganische Chemie & Werkstoffe
26
Optik & Fototechnik
25
Maschinenelemente & Fluidtechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
14

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