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Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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377 gesamt
Patent
23.12.2021
Tuning apparatus for minimum divergence ion beam
WO2021257689
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2021
Stepped indirectly heated cathode with improved shielding
WO2021257712
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.08.2021
Apparatus and method for metal contamination control in an ion implantation system using charge stripping mechanism
WO2021159045
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2021
Method of enhancing the energy and beam current on rf based implanter
WO2021034607
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2021
Toxic Outgas Control Post Process
WO2021011303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2020
System and method for extending a lifetime of an ion source for molecular carbon implants
WO2020247378
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2020
Improved charge stripping for ion implantation systems
WO2020243323
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.11.2020
High Power Wafer Cooling
WO2020223499
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2020
Multiple Arc Chamber Source
WO2020214759
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2020
Liquid Metal Ion Source
WO2020197938
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2020
A method of mixing upstream and downstream current measurements for inference of the beam current at the bend of an optical element for real time dose control
WO2020168328
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2020
Reduction of condensed gases on chamber walls via purge gas dilution and evacuation for semiconductor processing equipment
WO2020142159
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2020
Reduction of condensed gases on chamber walls via heated chamber housing for semiconductor processing equipment
WO2020142155
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2020
A system and method of arc detection using dynamic threshold
WO2020131239
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2020
Wafer soak temperature readback and control via thermocouple embedded end effector for semiconductor processing equipment
WO2020131253
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2020
Tetrode extraction apparatus for ion source
WO2020131254
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Scan and corrector magnet designs for high throughput scanned beam ion implanter
WO2020123063
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Ion source with tailored extraction aperture
WO2020123061
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2020
System and method for aligning light-transmitting birefringent workpieces
WO2020046731
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2020
Scanning magnet design with enhanced efficiency
WO2020041408
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.11.2019
Hydrogen Bleed Gas For an Ion Source Housing
WO2019217953
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2019
In-situ wafer temperature measurement and control
WO2019191750
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.08.2019
Outgassing impact on process chamber reduction via chamber pump and purge
WO2019152448
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2019
Hydrogen Generator For an Ion Implanter
WO2019144093
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2019
Method To Provide Consistent Electrostatic Clamping Through Real Time Control Of Electrostatic Charge Deposition in an Electrostatic Chuck
WO2019113078
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2019
Shallow angle, multi-wavelength, multi-receiver, adjustable sensitivity aligner sensor for semiconductor manufacturing equipment
WO2019084260
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2019
System and method for in-situ beamline film stabilization or removal in the aef region
WO2019074899
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2019
Wafer temperature control with consideration to beam power input
WO2019055967
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2019
Rf resonator for ion beam acceleration
WO2019055467
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2019
Ion implant system having beam angle control in drift and deceleration modes
WO2019005483
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2018
Hydrogen Co-Gas When Using Aluminum Iodide As an Ion Source Material
WO2018226574
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2018
Radiant Heating Presoak
WO2018136577
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2018
Active workpiece heating or cooling for an ion implantation system
WO2018132408
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2018
Two-axis variable width mass resolving aperture with fast acting shutter motion
WO2018102143
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2018
Phosphine co-gas for carbon implants
WO2018098002
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2018
Phosphorous trifluoride co-gas for carbon implants
WO2018098004
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
In-Situ Cleaning Using Hydrogen Peroxide As Co-Gas To Primary Dopant Or Purge Gas For Minimizing Carbon Deposits in an Ion Source
WO2018064157
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Multiple Diameter In-Vacuum Wafer Handling
WO2018063851
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Integrated Emissivity Sensor Alignment Characterization
WO2018063848
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Adjustable Circumference Electrostatic Clamp
WO2018064302
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Axcelis Technologies?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Axcelis Technologies vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
354
Metallurgie & Oberflächentechnik
22
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18
Optik & Fototechnik
13
Elektronik & Schaltungstechnik
12
Elektrische Energietechnik
8
Anorganische Chemie & Werkstoffe
6
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
3
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Maschinenelemente & Fluidtechnik
2
Kunststoff- & Polymertechnik
1
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
1

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