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Beijing NAURA Microelectronics Equipment Patente

🇨🇳 China

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

488
Patente
2013–2025
Anmeldejahre
13
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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488 gesamt
Patent
27.12.2018
Lower electrode mechanism and reaction chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2018
Gas inlet mechanism, and pre-clean chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2018
Adjustable capacitor, impedance-matching apparatus and semiconductor-processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2018
Bias modulation method, bias modulation system and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2018
Impedance matching method, impedance matching apparatus and plasma generation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2018
Deposition ring and chuck assembly
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2018
Carrying device and semiconductor processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2018
Reaction chamber and method for detecting state of processed workpiece in reaction chamber
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2018
Plasma reaction device for processing workpieces
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.11.2018
Process chamber and semiconductor processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.11.2018
Bearing base and pre-cleaning device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2018
Magnetron driving mechanism, magnetron assembly, and reaction chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2018
Wafer suction device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2018
Magnetron sputtering cavity for through-silicon-via filling and semiconductor processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2018
Surface Wave Plasma Processing Equipment
Elektronik & Schaltungstechnik
13.09.2018
Magnetic field generation mechanism of reaction chamber and reaction chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2018
Annealing process method, processing chamber, and annealing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2018
Processing chamber and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2018
Wafer transporting apparatus, processing chamber, mechanical arm, semiconductor apparatus, and wafer transporting method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2018
Microwave transmission apparatus and semiconductor processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2018
Filter circuit, heating circuit, and semiconductor processing device
Elektrische Energietechnik
03.05.2018
Magnetic thin film laminate structure deposition method, magnetic thin film laminate structure and micro-inductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.05.2018
Magnetron, magnetron sputtering chamber and magnetron sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.05.2018
Magnetic thin film deposition chamber and thin film deposition device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2018
Method for removing silicon dioxide from wafer and manufacturing process for integrated circuit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2018
Gas phase etching apparatus and gas phase etching equipment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Scheduling method and device for production line apparatus
Software & Datenverarbeitung
05.04.2018
Degassing method, degassing chamber and semiconductor processing equipment
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Degassing chamber and semiconductor processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2018
Magnetron element and magnetron sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2018
Plasma source and semiconductor processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
21.12.2017
Method for forming thin film and method for forming aluminium nitride thin film
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.12.2017
Deposition device and physical vapour deposition chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.12.2017
Film forming method of semiconductor device and aluminium nitride film forming method of semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2017
Reaction chamber and semiconductor processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2017
Impedance matching system, impedance matching method and semiconductor processing equipment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2017
Surface wave plasmon apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
22.06.2017
Device real-time status-based material scheduling method and system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2017
Electrostatic chuck mechanism and semiconductor processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.06.2017
Semiconductor processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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