MKS Instruments
🇺🇸 USA aktiv
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Patente
425 gesamt| Patent | |||
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25.02.2026
Verbesserte Abstimmungsverfahren zur Abschwächung von Hf-Lastimpedanzvariationen Aufgrund Periodischer Störungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.02.2026
Radikalausgabemonitor für eine Entfernte Plasmaquelle und Verfahren zur Verwendung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2019
Erteilt am 18.02.2026
Vertretung
MKS IP Association · Berlin
HGF · München
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03.12.2025
Gepulster Hf-Plasmagenerator mit Hohem Dynamikbereich
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.12.2025
Nichtinvasive Ied-Schätzung für Anwendungen mit Gepulstem Gleichstrom und Niedriger Frequenz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.10.2025
Toroidal plasma source and method of using the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2025
Anhängig
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22.10.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Massendurchflussregelung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2023
Anhängig
Vertretung
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24.09.2025
Hf-Impulsflankenformung
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 24.10.2013
Erteilt am 24.09.2025
Vertretung
Jaszek, Ryszard · London
MKS IP Association · Berlin
Zusammenfassung
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27.08.2025
Resonanzübertragungsleitung zur Lieferung von Rf-Präzisionsspannung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2019
Erteilt am 27.08.2025
Vertretung
Epping - Hermann - Fischer · München
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20.08.2025
Pirani-Messgerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 06.10.2023
Anhängig
Vertretung
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06.08.2025
System und Verfahren zur Stromerzeugung mit Phasengekoppelten Festkörpergeneratormodulen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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