Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.414 gesamt| Patent | |||
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19.01.2017
Substrate treatment apparatus and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2016
Anhängig
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11.01.2017
Plasmaverarbeitungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.12.2016
Gas phase etching system and method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.06.2016
Anhängig
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29.12.2016
Gas phase etch with controllable etch selectivity of si-containing arc or silicon oxynitride to different films or masks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.06.2016
Anhängig
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29.12.2016
Methods of forming a mask for substrate patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.06.2016
Anhängig
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29.12.2016
Inline dispense capacitor system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.06.2016
Anhängig
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15.12.2016
Substrate inspection method, computer storage medium, and substrate inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.05.2016
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14.12.2016
Kultivierungsvorrichtung
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 06.02.2015
Anhängig
Vertretung
Diehl & Partner · München
Diehl & Partner GbR · München
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08.12.2016
Techniques for Spin-on-Carbon Planarization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2016
Anhängig
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08.12.2016
Ruthenium metal feature fill for interconnects
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.06.2016
Anhängig
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30.11.2016
Belichtungsvorrichtung, Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur und Speichermedium
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.11.2016
Treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.05.2016
Anhängig
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17.11.2016
Cleaning method and plasma treatment method
Verfahrens- & Trenntechnik
Akustik, Musik & Datenspeicherung
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Status
Angemeldet am 02.05.2016
Anhängig
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17.11.2016
Method for inspecting substrate, substrate treatment system, and computer storage medium
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2016
Anhängig
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17.11.2016
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.05.2016
Anhängig
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09.11.2016
Sondenvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.11.2016
Substrate liquid processing method and substrate liquid processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.04.2016
Anhängig
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27.10.2016
Slip ring, support mechanism, and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.04.2016
Anhängig
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27.10.2016
Passivation treatment method, method for forming semiconductor structure, and semiconductor structure
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2016
Anhängig
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27.10.2016
Method for etching layer to be etched
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.04.2016
Anhängig
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20.10.2016
Gasket for fluid coupling and fluid coupling
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Angemeldet am 25.03.2016
Anhängig
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20.10.2016
Substrate processing method, substrate processing system, and substrate processing device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.03.2016
Anhängig
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20.10.2016
System and method for planarizing a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.04.2016
Anhängig
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06.10.2016
Trench and hole patterning with euv resists using dual frequency capacitively coupled plasma (ccp)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.04.2016
Anhängig
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06.10.2016
Method for atomic layer etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2016
Anhängig
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06.10.2016
Treatment device and treatment method, and gas cluster generation device and generation method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.02.2016
Anhängig
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06.10.2016
Particulate measurement device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.03.2016
Anhängig
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06.10.2016
Through-silicon via forming production system, through-silicon via forming production method, storage medium, and program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 22.03.2016
Anhängig
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06.10.2016
Partial Etch Memorization Via Flash Addition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2016
Anhängig
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05.10.2016
Sondenvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.07.2012
Erteilt am 05.10.2016
Vertretung
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05.10.2016
Automatisches Kultursystem und Zellenverwaltungssystem
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 21.11.2014
Anhängig
Vertretung
Diehl & Partner · München
Diehl & Partner GbR · München
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22.09.2016
Spin-on layer for directed self assembly with tunable neutrality
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2016
Anhängig
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15.09.2016
Method for etching magnetic layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2016
Anhängig
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14.09.2016
Sondenvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 10.07.2014
Erteilt am 14.09.2016
Vertretung
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09.09.2016
Substrate-processing method, computer storage medium, and substrate-processing system
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.02.2016
Anhängig
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09.09.2016
Coating processing method, computer storage medium, and coating processing device
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 04.02.2016
Anhängig
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01.09.2016
Method for forming cu wiring and method for manufacturing semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.01.2016
Anhängig
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31.08.2016
Ätzen von Blockcopolymeren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2012
Erteilt am 31.08.2016
Vertretung
Wauters, Davy Erik Angelo · Boortmeerbeek
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25.08.2016
Carrier transport device and carrier transport method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.12.2015
Anhängig
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25.08.2016
Method for manufacturing optical device including light shield, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.01.2016
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28