Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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03.05.2017
Anisotrope Ätzung von Kupfer mittels Passivierung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.05.2017
Neutrales Strahlätzverfahren von Cu-Haltigen Schichten in einer Organischen Verbindungsgasumgebung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.04.2017
Evaluation method for differentiation state of cells
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 23.10.2015
Anhängig
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27.04.2017
Substrate treatment method and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.10.2016
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27.04.2017
Film formation apparatus and film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 20.10.2016
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27.04.2017
Substrate treatment method and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.10.2016
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20.04.2017
Selective bottom-up metal feature filling for interconnects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.10.2016
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20.04.2017
Liquid treatment method for substrates, liquid treatment apparatus for substrates, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.10.2016
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13.04.2017
Liquid treatment device, liquid treatment method, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.09.2016
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06.04.2017
Wafer inspection method and wafer inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.07.2016
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06.04.2017
Method and apparatus for dynamic control of the temperature of a wet etch process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.09.2016
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06.04.2017
Method and apparatus for drying semiconductor substrates using liquid carbon dioxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.09.2016
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06.04.2017
Method for patterning a substrate using extreme ultraviolet lithography
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.09.2016
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06.04.2017
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.09.2016
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06.04.2017
Wafer inspection device and wafer inspection method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.07.2016
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05.04.2017
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Plasmaverarbeitungsverfahren und Speichermedium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.03.2017
Methods of forming etch masks for sub-resolution substrate patterning
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.09.2016
Anhängig
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30.03.2017
Method for bottom-up deposition of a film in a recessed feature
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.09.2016
Anhängig
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30.03.2017
Methods of forming etch masks for sub-resolution substrate patterning
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2016
Anhängig
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23.03.2017
Germanium-containing semiconductor device and method of forming
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.09.2016
Anhängig
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23.03.2017
Substrate processing method, substrate processing device, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.09.2016
Anhängig
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23.03.2017
Substrate processing device, substrate processing method, and storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.08.2016
Anhängig
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16.03.2017
Liquid treatment apparatus for substrates and flow path cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.09.2016
Anhängig
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09.03.2017
Method for manufacturing graphene, apparatus for manufacturing graphene, and method for manufacturing electronic device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.08.2016
Anhängig
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02.03.2017
Plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.08.2016
Anhängig
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02.03.2017
Substrate Backside Texturing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2015
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02.03.2017
Method for etching a silicon-containing substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.08.2016
Anhängig
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23.02.2017
Culture container and cell culturing method and cell observation method using culture container
Pharma & Biotechnologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 19.08.2016
Anhängig
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22.02.2017
Numerische Aperturintegration in Raleigh-Wellenlängen für Ocd-Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.12.2012
Erteilt am 22.02.2017
Vertretung
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16.02.2017
Method of patterning without dummy gates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.07.2016
Anhängig
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15.02.2017
Zelltrennvorrichtung und Zelltrennverfahren
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 24.03.2015
Anhängig
Vertretung
Diehl & Partner · München
Diehl & Partner GbR · München
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02.02.2017
Substrate processing device, substrate processing method, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.07.2016
Anhängig
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02.02.2017
Method for inspecting for leaks in gas supply system valves
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.07.2016
Anhängig
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02.02.2017
Substrate processing method and substrate processing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.07.2016
Anhängig
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02.02.2017
Method for etching multilayer film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.07.2016
Anhängig
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26.01.2017
Substrate transport chamber, substrate treatment system, and method for replacing gas in substrate transport chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2016
Anhängig
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26.01.2017
Tool failure analysis using space-distorted similarity
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 15.07.2016
Anhängig
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26.01.2017
Plasma processing device and plasma processing method
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 19.07.2016
Anhängig
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19.01.2017
Substrate treatment apparatus and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2016
Anhängig
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19.01.2017
Naturally oxidized film removing method and naturally oxidized film removing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2016
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28