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Advanced Technology Materials Patente

🇺🇸 USA

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

458
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
21
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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458 gesamt
Patent
22.02.2006
In-Situ-Gasmisch- und Verdünnungssystem zur Ablieferung von Verdünntem Gas mit einer Vorbestimmten Konzentration
EP1627265
Steuerungs- & Regelungstechnik
08.02.2006
Cmp-Zusammensetzungen für Schritt-Ii-Kupferauskleidung und Andere Zugeordnete Materialien und Verwendungsverfahren dafür
EP1622742
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2006
Composition and method for low temperature chemical vapor deposition of silicon-containing films including silicon carbonitride and silicon oxycarbonitride films
WO2006007077
Organische Chemie
19.01.2006
Liquid delivery system
WO2006007376
Verfahrens- & Trenntechnik
30.11.2005
Chemiedampf-Ablagerungsanzeichen zur Ablagerung von Tantalum-Gebundenen Materialien
EP1599488
Organische Chemie
17.11.2005
Methods and apparatus for determining organic component concentrations in an electrolytic solution
WO2005108650
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.11.2005
Methods for analyzing inorganic components of an electrolytic solution, and/or cleaning an electrochemical analytical cell
WO2005108969
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.11.2005
Überkritisches Kohlendioxid/chemische Formulierung zur Entfernung von Fotolacken
EP1592520
Verfahrens- & Trenntechnik
27.10.2005
Electrochemical deposition analysis system including high-stability electrode
WO2005100967
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.10.2005
Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung Toxischer Gasbestandteile aus dem Ablauf eines Halbleiterherstellungsverfahrens
EP1583600
Verfahrens- & Trenntechnik
12.10.2005
Photoresistentfernung
EP1583997
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
05.10.2005
Transistorschaltungen zum Schalten von Hochspannung und Starkstrom ohne Auslösung eines Rücksprunges oder Ausfalls
EP1581998
Elektronik & Schaltungstechnik
09.09.2005
Chemical vapor deposition of high conductivity, adherent thin films of ruthenium
WO2005081933
Metallurgie & Oberflächentechnik
07.09.2005
Permeable Gasanordnung zur Gaszufuhr
EP1570197
Maschinenelemente & Fluidtechnik
07.09.2005
Rechteckiger, Parallelepipedischer Fluidspeicher- und -Abgabebehälter
EP1569737
Verfahrens- & Trenntechnik
07.09.2005
Passivative Cmp-Zusammensetzung Zurkupferfilmplanarisierung
EP1570015
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
31.08.2005
Zusammensetzung und Verfahren zur Niedertemperaturabscheidungvon Siliziumhaltigen Filmen Wie Filmen, die Silizium, Siliziumnitrid,siliziumdioxid Und/oder Siliziumoxynitrid Enthalten
EP1567531
Organische Chemie
03.08.2005
Entfernung von Teilchenverunreinigungen auf Strukturiertem Slilicon-/siliziumdioxidunter Verwendung Superkritischer Kohlendioxid-/chemischer Formulierungen
EP1559132
Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
20.07.2005
Vorrichtung und Prozess zum Erfassen von Fluorospezies in Halbleiterverarbeitungssystemen
EP1554561
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.07.2005
Zusammensetzung und Verfahren zum Nassabziehen von Antireflexivem Opfermaterial
EP1551936
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
22.06.2005
Heteroübergangs-Feldeffekttransistoren mit Silizium-Germanium- und Silizium-Kohlenstoff-Legierungen
EP1543565
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.06.2005
Gas delivery system with integrated valve manifold functionality for sub-atmospheric and super-atmospheric pressure applications
WO2005051510
Steuerungs- & Regelungstechnik
02.06.2005
Blown bottle with intrinsic liner
WO2005049478
Verpackungs- & Fördertechnik
02.06.2005
Chemical Mechanical Planarization Pad
WO2005049269
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.05.2005
Gas-using facility including portable dry scrubber system and/or over-pressure control arrangement
WO2005043588
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2005
Fluid storage and dispensing vessels having colorimetrically verifiable leak-tightness, and method of making same
WO2005042129
Verfahrens- & Trenntechnik
28.04.2005
Monosilane or disilane derivatives and method for low temperature deposition of silicon-containing films using the same
WO2005038871
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2005
Tantalum amide complexes for depositing tantalum-containing films, and method of making same
WO2005037847
Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik
28.04.2005
Hydrogen Generation
WO2005037421
Verfahrens- & Trenntechnik
14.04.2005
Electrode assembly for analysis of metal electroplating solution, comprising self-cleaning mechanism, plating optimization mechanism, and/or voltage limiting mechanism
WO2005033655
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.03.2005
Apparatus and method for point-of-use treatment of effluent gas streams
WO2005029542
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2005
Auto-switching system for switch-over of gas storage and dispensing vessels in a multi-vessel array
WO2005025715
Verfahrens- & Trenntechnik
24.03.2005
Sampling management for a process analysis tool to minimize sample usage and decrease sampling time
WO2005026688
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.03.2005
Chemisorbent system for abatement of effluent species
WO2005025733
Verfahrens- & Trenntechnik
03.03.2005
Colorimetric gas detector and windowed process chamber
WO2005019797
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.02.2005
Delivery systems for efficient vaporization of precursor source material
WO2005010230
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.02.2005
Infrarot-Thermopile-Detektorsystem für die Halbleiterprozessüberwachung und -Regelung
EP1502289
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2005
Canister Guard
WO2005002979
Verpackungs- & Fördertechnik
29.12.2004
Optical sensor system and method for detection of hydrides and acid gases
WO2004113881
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.12.2004
Ph-Gepufferte Zusammensetzungen zum Reinigen von Halbleitersubstraten
EP1488286
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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94
Metallurgie & Oberflächentechnik
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63
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39
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
37
Organische Chemie
31
Anorganische Chemie & Werkstoffe
26
Optik & Fototechnik
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Maschinenelemente & Fluidtechnik
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