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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
09.10.2002
Lithographisches Herstellungsverfahren und lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
02.10.2002
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
25.09.2002
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
25.09.2002
Positionierungssystem und lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
18.09.2002
Bilderzeugungsverfahren mit Phasensprungstrukturen und Modifizierter Belichtung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
28.08.2002
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
28.08.2002
Bestimmung einer korrigierten Position aus einer gemessenen Position einer Ausrichtmarke
Optik & Fototechnik
14.08.2002
Messung der Wellenfrontaberrationen in einem lithographischen Projektionsapparat
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.08.2002
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Messung von Wellenfront-Aberrationen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.07.2002
Maskenhandhabungsapparat für lithographische Projektionsapparate
Optik & Fototechnik
31.07.2002
Abnehmbare Membranabdeckung für eine Fotomaske, sowie eine Methode zu deren Einsatz
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2002
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
17.07.2002
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
05.06.2002
Methode und System zur Selektiven Optimilisierung der Linienbreite in einem Lithographischen Verfahren
Optik & Fototechnik
08.05.2002
Gerät und Verfahren zur Bildeverbesserung durch Räumliche Filterung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2002
Flexible Piezoelektrische Haltevorrichtung
Optik & Fototechnik
10.04.2002
Lithographischer Projektionsapparat mit Spülgassystem und Verfahren unter Verwendung desselben
Optik & Fototechnik
06.03.2002
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
06.02.2002
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
09.01.2002
Lithographischer Apparat mit Spülgassystem
Optik & Fototechnik

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