Axcelis Technologies Patente
🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
377
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
377 gesamt| Patent | |||
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22.07.2009
Sensor für eine Ionenimplantationsvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.10.2007
Anhängig
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03.06.2009
System zur Magnetischen Abtastung und Korrektur eines Ionenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.09.2007
Anhängig
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13.05.2009
Arbeitsstück-Handhabungs-Scan-Arm für ein Ionenimplantationssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.08.2007
Anhängig
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06.05.2009
Durchsatzerhöhung für Ionenimplantatoren mit Abgetastetem Strahl
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.08.2007
Anhängig
Vertretung
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15.04.2009
Elektrostatische Linse für Ionenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.07.2005
Erteilt am 15.04.2009
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25.03.2009
System zur Messung der Uniformität und der Winkelverteilung eines Strahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.03.2009
Strahlenwinkeleinstellung bei Ionenimplantern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.06.2007
Anhängig
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04.03.2009
Regelkreis-Dosensteuerung zur Ionenimplantation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.06.2007
Anhängig
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14.01.2009
Verfahren und Systeme zur Verfolgung von Ionenstrahlteilchen und zur Fokussierung eines Ionenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.04.2007
Anhängig
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07.01.2009
Lastsperrsteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.04.2007
Anhängig
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10.12.2008
Vorrichtung und Verfahren zum Entfernen Von, in einem Ionenstrahl Mitgeführten Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.12.2008
Elektrostatische Fangvorrichtung Für, in einem Ionenstrahl Mitgeführten Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.12.2008
Buncher mit Zwei Voneinander Beabstandeten Elektroden mit Schlitzförmigen Öffnungen und Verfahren zur Ionenbündelung in einem Ionenimplantationssystem
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.12.2008
Thermisches Spannfutter und Herstellungsverfahren für Thermisches Spannfutter
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.03.2007
Anhängig
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03.12.2008
Vorrichtung und Verfahren zum Messen des Strahlwinkels und der Divergenz bezüglich der Ebene des Strahls im Falle eines Bandstrahls, beziehungsweise, im Falle eines Nadelstrahls, bezüglich der Ebene, in der der Strahl abgelenkt wird
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2005
Anhängig
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06.11.2008
Method and system for ion beam profiling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2008
Anhängig
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01.10.2008
Auf Mems Basierende Mehrpolare Elektrostatische Einspannvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.09.2008
Verfahren zur Entfernung von Rückständen nach Photoresistveraschung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2000
Erteilt am 17.09.2008
Vertretung
West, Alan Harry · London
Jacob, Reuben Ellis · London
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17.09.2008
System und Methode zur Echtzeiterfassung der in-situ Emission eines Werkstückes bei der Bearbeitung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.09.2008
Ionenstrahleingangswinkeldetektor für Ionenimplantationssysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.08.2008
Plasma-Ashing-Vorrichtung mit Endpunktdetektionssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.08.2008
Ionenstrahl-Winkelmesssystem und Verfahren zur Ionenimplantation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2006
Anhängig
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20.08.2008
Mitteldruck-Plasmasystem zur Entfernung von Oberflächenschichten ohne Substratverlust
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2005
Anhängig
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13.08.2008
Mittel zur Ausrichtung eines Ionenstrahls auf einen Wafer und zur Korrektur von Winkelfehlern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2006
Anhängig
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30.07.2008
Systeme und Verfahren zur Abschwächung der Kontamination und zur Änderung der Oberflächeneigenschaften Während Ionenimplantationsverfahren durch die Einführung von Gasen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.11.2006
Anhängig
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23.07.2008
Verbesserung an einem optischen Pfad, Fokuslängenänderungsausgleich und Streulichtminderung für ein Temperaturmesssystem eines RTP-Tools
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 21.08.2003
Anhängig
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23.07.2008
Ionenimplantationsgerät mit Schmutz Sammelnder Oberfläche
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.11.2006
Anhängig
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17.07.2008
Method of reducing particle contamination for ion implanters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.12.2007
Anhängig
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09.07.2008
Ultraviolett-Aushärtprozess für Dielektrische Filme mit Niedrigem K
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 06.09.2005
Anhängig
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02.07.2008
Sauerstofffreies Plasma-Entschichtungsverfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.06.2008
Wide area radio frequency plasma apparatus for processing multiple substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2007
Anhängig
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21.05.2008
Wellenleiter zur Mikrowellenanregung eines Plasmas in einer Ionenstrahlführungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.05.2008
Werkstückübertragungsvorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.08.2006
Anhängig
Vertretung
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02.05.2008
Low-cost electrostatic clamp with fast declamp time and the manufacture thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.10.2007
Anhängig
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10.04.2008
New and improved beam line architecture for ion implanter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.09.2007
Anhängig
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20.03.2008
Systeme und Verfahren für Strahlenwinkeleinstellung bei Ionenimplantern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.09.2007
Anhängig
Vertretung
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19.03.2008
Vorrichtung und Prozess zum Behandeln von Dielektrischen Materialien
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.06.2005
Anhängig
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05.03.2008
In der Nähe einer Biegung in einem Endenergiefilter einer Seriellen Inplantierungsvorrichtung Angeordneter Dosierungsbecher für Dosierungsregelung mit Geschlossener Schleife
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2005
Anhängig
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05.03.2008
Arbeitsstück-Handhabungs-Ausrichtungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2006
Anhängig
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27.02.2008
Partikular-Prävention bei der Ionenimplantation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2006
Anhängig
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Wer vertritt Axcelis Technologies?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Axcelis Technologies vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
354
Metallurgie & Oberflächentechnik
22
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18
Optik & Fototechnik
13
Elektronik & Schaltungstechnik
12
Elektrische Energietechnik
8
Anorganische Chemie & Werkstoffe
6
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
3
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Maschinenelemente & Fluidtechnik
2
Kunststoff- & Polymertechnik
1
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
1