Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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377 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
07.06.2006	07.06.2006 Klemmen von Halbleiterwafern an eine Elektrostatische Einspannvorrichtung EP1665365 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.09.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2006	07.06.2006 Bandförmiger Ionenstrahl mit Massentrennung EP1665322 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.09.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2006	07.06.2006 Klemmen und Entklemmen von Halbleiter-Wafern auf einer Elektrostatischen J-R-Einspannvorrichtung EP1665366 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2006	31.05.2006 Plasma-Ashing-Prozess EP1661162 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.08.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2006	31.05.2006 Unipolare Elektrostatische Quadrupollinse und Schaltverfahren zum Transport Geladener Strahlen EP1661155 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.04.2006	26.04.2006 Ultraviolett-Aushärtprozesse für Fortschrittliche Materialien mit Niedrigem K EP1649504 Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.04.2006	13.04.2006 Bellows Liner For an Ion Beam Implanter WO2006039724 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2006	29.03.2006 Durch UV-Strahlung induzierte chemische Modifizierung von Fotoresistmotiven EP1117008 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2000 Anhängig Vertretung West, Alan Harry · London Jacob, Reuben Ellis · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2006	22.03.2006 Dünne Magnetronstrukturen zur Plasmaerzeugung in Ionenimplantationssystemen EP1636820 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2006	22.03.2006 Elektrostatische Parallelisierungslinse für Ionenstrahlen EP1636821 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2004 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2006	23.02.2006 Magnetic support structure for an elevator tube of a verticle rapid thermal processing unit WO2006020645 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2006	22.02.2006 Verfahren und Vorrichtung zur Eingrenzung des Ionenstrahles in einer Ionenstrahlführungsvorrichtung EP1627411 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2006	15.02.2006 Magnetstruktur für Hochauflösende Massentrennungs für einen Ionenimplanter mit Bandförmigem Strahlquerschnitt EP1625604 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.05.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2006	15.02.2006 Waferbehandlungssystem mit Lastverriegelung und Puffer EP1625609 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2004 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2006	09.02.2006 Improved magnet for scanning ion beams WO2006014632 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2005	23.11.2005 Ablenkende Beschleunigung-/abbremsungs-Spalte EP1597748 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.02.2004 Anhängig Vertretung Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.11.2005	09.11.2005 Härtungsverfahren mit Fluorfreiem Plasma für Poröse Materialien mit Niedriger Dielektrizitätskonstante (low-K) EP1593149 Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.01.2004 Anhängig Vertretung Jacob, Reuben Ellis · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.10.2005	20.10.2005 Method and apparatus for selective pre-dispersion of extracted ion beams in ion implantation systems WO2005098894 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.09.2005	29.09.2005 Work piece transfer system for an ion beam implanter WO2005091337 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.09.2005	14.09.2005 Vorrichtung und Verfahren zur Messung Lichtintensitäten im Ultraviolett (uv) EP1573286 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.12.2003 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.08.2005	17.08.2005 Verfahren zur Endpunktbestimmung einer sauerstofffreien Plasmabehandlung EP1098189 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.11.2000 Erteilt am 17.08.2005 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2005	27.07.2005 Elektrostatische Haltevorrichtung für Wafer und Oberflächenplatte zur Abschirmung von Randbereichen und zur Gasauslassung EP1556884 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.07.2005	13.07.2005 Plasmabehandlung einer Porösen Dünnschicht aus Siliziumdioxid EP1265813 Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.03.2001 Erteilt am 13.07.2005 Vertretung Kyle, Diana · Sevenoaks Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2005	07.07.2005 Wafer temperature trajectory control method for high temperature ramp rate applications using dynamic predictive thermal modeling WO2005062346 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2005	29.06.2005 Magnet zur Erzeugung eines Magnetfeldes in einer Ionenquelle EP1180783 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2005	29.06.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Präzisen Messung der Verzögerung zwischen Zwei Signalen EP1547122 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.09.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2005	01.06.2005 Abschlusskappe für das Gasrohr eines Mikrowellen-Plasmagenerators EP1535303 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.05.2005	25.05.2005 Verbesserung des Optischen Wegs, Kompensation von Brennweitenänderungen und Streulichtverminderung in einem Temperaturmesssystem für Rtp-Werkzeug EP1532666 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.05.2005	04.05.2005 Ionenquelle und Koaxialer Induktiver Koppler für ein Ionenimplantationssystem EP1527473 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.05.2005	04.05.2005 Symmetrische Strahlfuehrungslinie und Methoden zur Erzeugung eines Massenanalysierten Bandfoermigen Ionenstrahles EP1527474 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.04.2005	27.04.2005 Werkstückhalter mit Verstellbarem Implantationswinkel für einen Ionenimplanter EP1525600 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2005	06.04.2005 Vorrichtung zum Entladen einer Dielektrischen Barriere und Prozess zur Behandlung eines Substrats EP1520289 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2005	06.04.2005 Arbeitsstückhaltestruktur mit Einstellbarem Implantationswinkel für eine Ionenstrahlimplantationsvorrichtung EP1520287 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.03.2005	03.03.2005 Uniform Gas Cushion Wafer Support WO2005020296 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.02.2005	10.02.2005 Method and system for ion beam containment using photoelectrons in an ion beam guide WO2005013341 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.02.2005	02.02.2005 Ionenquelle zur Erzeugung eines Bandförmigen Ionenstrahles mit Regelbarer Dichteverteilung EP1502278 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2004	29.12.2004 Kontakttemperatursonde und Prozess EP1490660 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2004	23.12.2004 Pressure controlled heat source and method for using such for rtp WO2004112103 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.12.2004	08.12.2004 Kontinuierlich variable Apertur für Ionenimplantierungsgerät hoher Energie EP1030344 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2000 Erteilt am 08.12.2004 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2004	04.11.2004 Elektrostatische Hochleistungsklammer mit einer Widerstandsschicht, Mikro-Rillen und einer Dielektrischen Schicht WO2004095477 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.04.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen