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Cabot Microelectronics Patente

🇺🇸 USA

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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290 gesamt
Patent
10.04.2019
Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung mit Zirkonium und einem Metalloxidierer
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2019
Aus einem Nassverfahren Gewonnene Ceroxidzusammensetzungen zum Selektiven Polieren von Substraten und Zugehörige Verfahren
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
06.03.2019
Zusammensetzung zum Polieren von Wolfram
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2019
Transparente Mikroporöse Materialien für Cmp
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
16.01.2019
Abrasive Gemischte Polierzusammensetzungen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
26.12.2018
Polierkissen mit homogenem Körper mit einzelnen Erhebungen darauf
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
28.11.2018
Oxid- und Nitridselektive Cmp-Zusammensetzungen mit Hoher Beseitigungsrate und Geringer Empfindlichkeit
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2018
Chemical-mechanical processing slurry and methods
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2018
Chemical-mechanical processing slurry and methods for processing a nickel substrate surface
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.09.2018
Wolframverarbeitende Suspension mit Kationischem Tensid
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.07.2018
Verfahren und Zusammensetzungen zur Verarbeitung eines Dielektrischen Substrats
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2018
Polierverfahren und Polierzusammensetzungen für Siliziumhaltige Substrate
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
13.06.2018
Siliciumcarbidpolierverfahren mit Wasserlöslichen Oxidationsmitteln
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2018
Verwendung von Cmp zur Herstellung von Aluminium Spiegeln und Solarzellen
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
21.02.2018
Weiches Polierkissen zum Polieren eines Halbleitersubstrats
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
24.01.2018
Cmp-Verfahren für Metallhaltige Substrate
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2018
Cmp-Zusammensetzung mit Niedrigem Feststoffgehalt und Verfahren im Zusammenhang damit
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
10.01.2018
Zusammensetzungen und Verfahren für Chemisch-Mechanisches Polieren von Phasenwechsellegierungen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
14.12.2017
Chemical-mechanical processing slurry and methods for processing a nickel substrate surface
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2017
Verfahren zur Herstellung von In-Situ-Nuten in Chemisch-Mechanischen Polierscheiben (cmp)
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
01.11.2017
Polierzusammensetzung für Edelmetalle
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
13.09.2017
Zusammensetzungen und Verfahren zum Polieren von Siliciumnitridmaterialien
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
13.09.2017
Polierzusammensetzung für ein Tungstenhaltiges Substrat
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
24.08.2017
Method of polishing group iii-v materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.08.2017
Polierkissen mit Polierender Oberflächenschicht mit einer Öffnung oder einem Loch über einer Transparenten Grundschicht
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
02.08.2017
Polierkissen mit Multimodaler Verteilung von Porendurchmessern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.07.2017
Polierzusammengesetzung und -Verfahren mit Polypyrrolidon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.07.2017
Polierkissen mit Lichtstabiler Lichtdurchlässiger Region
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2017
Stabilisierung von TRIS(2-Hydroxyethyl )methylammoniumhydroxid gegen Zersetzung mit Dialkyhydroxylamin
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2017
Polierzusammensetzung enthaltend eine Schleifmittelmischung und Verfahren zu deren Verwendung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2017
Stabile Abtragsstarke Siliciumaufschlämmung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2017
Chemisch-Mechanisches Polieren von Edelmetallen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2016
Zusammensetzungen zum Polieren von Aluminium/kupfer und Titan in Damascene-Strukturen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
21.12.2016
Zusammensetzung und Verfahren zum Planarisieren von Oberflächen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2016
Cmp-Verfahren zur Unterdrückung von Titannitrid und Titan-/titannitridentfernung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2016
Verfahren zum Gezielten Polieren von Siliziumkarbidschichten
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2016
Oniumhaltige Cmp-Zusammensetzungen und Verfahren zu Ihrer Verwendung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2016
Mehrschichtiges Polierkissenmaterial für Chemisch-Mechanisches Polieren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
07.09.2016
Zusammensetzungen und Verfahren für Chemisch-Mechanisches Polieren von Latentwärmespeichern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
03.08.2016
Poliersystem und Verfahren zu Seiner Verwendung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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