Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
16.04.2009	16.04.2009 Apparatus for measuring dielectric properties of parts WO2009048517 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Showerhead electrode assemblies and plasma processing chambers incorporating the same WO2009048703 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Cleaning fixtures and methods of cleaning electrode assembly plenums WO2009048702 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Method and apparatus for shaping gas profile near bevel edge WO2009046032 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Methods of low-k dielectric and metal process integration WO2009045864 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Temperature control modules for showerhead electrode assemblies for plasma processing apparatuses WO2009042137 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Line width roughness control with arc layer open WO2009042438 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Methods and apparatus for a hybrid capacitively-coupled and an inductively-coupled plasma processing system WO2009043001 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Profile Control in Dielectric Etch WO2009042453 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Wafer bow metrology arrangements and methods thereof WO2009042997 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Offset correction techniques for positioning substrates within a processing chamber WO2009043018 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Methods and arrangement for creating models for fine-tuning recipes WO2009043008 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2009	01.04.2009 Flüssigkeitsabgabering und Verfahren zur Herstellung und zur Anwendung Desselben EP1320871 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.09.2001 Erteilt am 01.04.2009 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Tuning via facet with minimal rie lag WO2009036053 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.03.2009	18.03.2009 Plattierungslösungen für Stromlose Abscheidung von Kupfer EP2036098 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2007 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Derry, Paul Stefan · London Venner Shipley LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.03.2009	18.03.2009 Phasenänderungs-Legierungsätzung EP2036140 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2007 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2009	12.03.2009 Method and apparatus for diagnosing status of parts in real time in plasma processing equipment WO2009032095 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2009	11.03.2009 Ätzkammer mit Veränderbarem Plasmavolumen EP1402560 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2002 Erteilt am 11.03.2009 Vertretung Dendorfer, Claus · München Dendorfer & Herrmann Dendorfer, Claus · München Dendorfer & Herrmann Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2009	26.02.2009 Mask Trimming WO2009026298 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2009	26.02.2009 Mask trimming with arl etch WO2009026297 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2009	11.02.2009 Verfahren zur Minimierung von Masken-Unterschnitten und -Kerben für ein Plasmaverarbeitungssystem EP2022106 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2007 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.01.2009	29.01.2009 Temperature Probes Having A Thermally Isolated Tip WO2009014609 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.01.2009	28.01.2009 Abstandsreduktion EP2018661 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.04.2007 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.01.2009	28.01.2009 Einrichtung und Verfahren zur Nassbehandlung von Plattenartigen Substraten EP2018659 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2007 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.01.2009	21.01.2009 Steuerung von Plasmaverarbeitung unter Verwendung von durch die Verwendung einer Ebenen Ionenfluss-Sondierungsanordnung Abgeleiteten Parameter EP2016204 Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2007 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2009	15.01.2009 Method of post etch polymer residue removal WO2009008958 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2009	15.01.2009 Single phase proximity head having a controlled meniscus for treating a substrate WO2009008982 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Method and apparatus for a highly collimated light collection arrangement WO2009005993 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Edge ring arrangements for substrate processing WO2009006038 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Methods and apparatus for substrate processing WO2009006062 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Methods and arrangements for plasma processing system with tunable capacitance WO2009006072 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Integrated steerability array arrangement for minimizing non-uniformity WO2009006147 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Inductively coupled dual zone processing chamber with single planar antenna WO2009005624 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Distributed power arrangements for localizing power delivery WO2009006149 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Arrays of inductive elements for minimizing radial non-uniformity in plasma WO2009006151 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Method and apparatus for a voltage/current probe test arrangements WO2009006152 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2009	07.01.2009 Verfahren und Gerät zur Steuerung eines Plasmavolumens EP1230667 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.11.2000 Erteilt am 07.01.2009 Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.12.2008	31.12.2008 Methods of and apparatus for reducing amounts of particles on a wafer during wafer de-chucking WO2009002415 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2008	24.12.2008 Methods of and apparatus for protecting a region of process exclusion adjacent to a region of process performance in a process chamber WO2008156542 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.05.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2008	24.12.2008 Showerhead electrode assemblies for plasma processing apparatuses WO2008156562 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen