Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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24.12.2008
Minimization of mask undercut on deep silicon etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2008
Anhängig
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24.12.2008
Electrode assembly and plasma processing chamber utilizing thermally conductive gasket and o-rings
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.05.2008
Anhängig
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18.12.2008
Substrate gripper with integrated electrical contacts
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.05.2008
Anhängig
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11.12.2008
Plasma processing system esc high voltage control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.05.2008
Anhängig
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11.12.2008
Methods of fabricating electronic devices using direct copper plating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2008
Anhängig
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11.12.2008
Method for reducing microloading in etching high aspect ratio structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.06.2008
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04.12.2008
In-situ photoresist strip during plasma etching of active hard mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.05.2008
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27.11.2008
Variable volume plasma processing chamber and associated methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.04.2008
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27.11.2008
An apparatus, a system and a method of preventing premature drying
Verfahrens- & Trenntechnik
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.05.2008
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26.11.2008
Einrichtung zur Fluidbehandlung von Plattenartigen Artikeln
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.11.2008
Thermal methods for cleaning post-cmp wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2008
Anhängig
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19.11.2008
Einrichtung und Verfahren zur Flüssigkeitsbehandlung von Scheibenartigen Artikeln
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.11.2008
Substrate Cleaning Techniques Employing Multi-Phase Solution
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.04.2008
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13.11.2008
Hardmask open and etch profile control with hardmask open
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2008
Anhängig
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12.11.2008
Integrierte Kapazitive und Induktive Stromquellen für eine Plasmaätzkammer
Metallurgie & Oberflächentechnik
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05.11.2008
Verfahren zur Geräteanpassung und Fehlerbeseitigung in einem Plasmabearbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2003
Erteilt am 05.11.2008
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30.10.2008
Wafer electroless plating system and associated methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.04.2008
Anhängig
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30.10.2008
Fluid handling system for wafer electroless plating and associated methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.04.2008
Anhängig
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30.10.2008
Method and apparatus for wafer electroless plating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2008
Anhängig
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30.10.2008
Apparatus and method for atomic layer deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.08.2007
Anhängig
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23.10.2008
Glue layer for hydrofluorocarbon etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.12.2007
Anhängig
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22.10.2008
Plasmabehandlungsvorrichtung mit Dynamischer Gaszuführsteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2000
Erteilt am 22.10.2008
Vertretung
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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16.10.2008
Method for cleaning semiconductor wafer surfaces by applying periodic shear stress to the cleaning solution
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2008
Anhängig
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16.10.2008
Method and system for distributing gas for a bevel edge etcher
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
Method and apparatus for inducing dc voltage on wafer-facing electrode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
Showerhead electrodes and showerhead electrode assemblies having low-particle performance for semiconductor material processing apparatuses
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
Cleaning of bonded silicon electrodes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
Aluminum-plated components of semiconductor material processing apparatuses and methods of manufacturing the components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
Methodology for cleaning of surface metal contamination from electrode assemblies
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
Method and apparatus for dc voltage control on rf-powered electrode
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
Recipe report card framework and methods thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.03.2008
Anhängig
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09.10.2008
A recipe-and-component control module and methods thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2008
Anhängig
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25.09.2008
High power electrical connector for a laminated heater
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.03.2008
Anhängig
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18.09.2008
Cleaning hardware kit for composite showerhead electrode assemblies for plasma processing apparatuses
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2008
Anhängig
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17.09.2008
Substratpräparation unter Verwendung von Stabilisierten Fluidlösungen und Verfahren zur Herstellung von Stabilen Fluidlösungen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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12.09.2008
Edge electrodes with variable power
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.02.2008
Anhängig
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12.09.2008
Edge electrodes with dielectric covers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.02.2008
Anhängig
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12.09.2008
Apparatus for etching a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2008
Anhängig
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12.09.2008
Apparatus and method of processing substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2008
Anhängig
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10.09.2008
Verfahren und System zur Verwendung einer Zweiphasen-Substratreinigungsverbindung
Verfahrens- & Trenntechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31