Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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13.08.2009
Methods and apparatus for changing area ratio in a plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
A floating collar clamping device for auto-aligning nut and screw in linear motion leadscrew and nut assembly
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
Electrode orientation and parallelism adjustment mechanism for plasma processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
Adjustable gap capacitively coupled rf plasma reactor including lateral bellows and non-contact particle seal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
Reducing Damage To Low-K Materials During Photoresist Stripping
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.01.2009
Anhängig
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13.08.2009
Methods and apparatus for wafer area pressure control in an adjustable gap plasma chamber
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
Apparatus for substantially uniform fluid flow rates relative to a proximity head in processing of a wafer surface by a meniscus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.02.2009
Anhängig
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13.08.2009
Systems for detecting unconfined-plasma events
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 06.02.2009
Anhängig
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16.07.2009
Methods and apparatus for a wide conductance kit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.01.2009
Anhängig
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09.07.2009
Fabrication of a silicon structure and deep silicon etch with profile control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Wafer carrier drive apparatus and method for operating the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Systems and methods for calibrating end effector alignment in a plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Methods of configuring a proximity head that provides uniform fluid flow relative to a wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Etch with high etch rate resist mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Copper Discoloration Prevention Following Bevel Etch Process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Systems and methods for dynamic alignment beam calibration
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Photoresist Double Patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Cd bias loading control with arc layer open
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Gas transport delay resolution for short etch recipes
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
A composite showerhead electrode assembly for a plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Post-deposition cleaning methods and formulations for substrates with cap layers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Systems and methods for calibrating end effector alignment using at least a light source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Vapor phase repair and pore sealing of low-k dielectric materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Activation solution for electroless plating on dielectric layers
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 20.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Arrangements and methods for determining positions and offsets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2008
Anhängig
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09.07.2009
Protective layer for implant photoresist
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2008
Anhängig
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25.06.2009
Method For Using an Rc Circuit To Model Trapped Charge in an Electrostatic Chuck
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2008
Anhängig
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25.06.2009
Film adhesive for semiconductor vacuum processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.12.2008
Anhängig
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18.06.2009
Plasma unconfinement sensor and methods thereof
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2008
Anhängig
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17.06.2009
Automatische Dynamische Ausgangsdatenerstellung und Anpassung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.09.2007
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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11.06.2009
Pulsed Bias Plasma Process To Control Microloading
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2008
Anhängig
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04.06.2009
Bevel Plasma Treatment To Enhance Wet Edge Clean
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2008
Anhängig
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28.05.2009
Method of controlling etch microloading for a tungsten-containing layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2008
Anhängig
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20.05.2009
In-Situ Nachätzungs Prozess zur Entfernung von Photoresist und Seitenwandspassivierungsrückständen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.12.2000
Erteilt am 20.05.2009
Vertretung
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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14.05.2009
Pitch reduction using oxide spacer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2008
Anhängig
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07.05.2009
High Lifetime Consumable Silicon Nitride-Silicon Dioxide Plasma Processing Components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.10.2008
Anhängig
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07.05.2009
Temperature control module using gas pressure to control thermal conductance between liquid coolant and component body
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2008
Anhängig
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23.04.2009
Methods of and apparatus for correlating gap value to meniscus stability in processing of a wafer surface by a recipe-controlled meniscus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2008
Anhängig
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23.04.2009
Apparatus and methods for optimizing cleaning of patterned substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2008
Anhängig
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22.04.2009
Software zur Analyse von Bestandteilen eines Plasmaverarbeitungssystems sowie Verfahren und System zu Ihrer Erstellung
Software & Datenverarbeitung
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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