Pfeiffer Vacuum Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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624 gesamt| Patent | |||
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20.03.2019
Drehzahlüberwachungsvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 13.09.2006
Erteilt am 20.03.2019
Vertretung
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06.03.2019
Ionisationspumpstufe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.11.2013
Erteilt am 06.03.2019
Vertretung
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06.03.2019
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 03.05.2011
Erteilt am 06.03.2019
Vertretung
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06.03.2019
Rotor einer Vakuumpumpe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.05.2015
Erteilt am 06.03.2019
Vertretung
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27.02.2019
Vakuumpumpe mit Gehäuse
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Angemeldet am 20.04.2007
Erteilt am 27.02.2019
Vertretung
Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München
Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB · München
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20.02.2019
Hochvakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.10.2010
Erteilt am 20.02.2019
Vertretung
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20.02.2019
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.08.2015
Erteilt am 20.02.2019
Vertretung
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23.01.2019
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.08.2012
Erteilt am 23.01.2019
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Rotor, welcher einen Abschnitt aus einem Faserverbundwerkstoff mit wenigstens einer Faserrichtung umfasst, wobei der Abschnitt wenigstens eine schraubenlinienartig angeordnete Nut aufweist und die Fasern des Faserverbundwerkstoffes derart ausgerichtet sind, dass wenigstens ein Teil der Faser mit der Faserrichtung parallel zu der Nut ausgerichtet ist, so dass der Abschnitt dem Einwirken von Fliehkräften bei Betrieb der Vakuumpumpe widersteht. Die Erfindung betrifft auch einen derartigen Abschnitt und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Abschnittes. |
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16.01.2019
Vakuumpumpanordnung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 03.07.2009
Erteilt am 16.01.2019
Vertretung
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12.12.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 23.10.2008
Erteilt am 12.12.2018
Vertretung
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12.12.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 28.01.2015
Erteilt am 12.12.2018
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse, einer drehbar gelagerten Welle für zumindest eine Pumpstufe und einer in einem Ansaugbereich der Vakuumpumpe gelegenen Halterung für ein Lager zur Lagerung der Welle. Die Halterung umfasst einen das Lager aufnehmenden Zentralabschnitt und eine Mehrzahl von sich zumindest im Wesentlichen in radialer Richtung erstreckenden Streben, die den Zentralabschnitt mit einem mit dem Gehäuse verbundenen Gehäusering verbinden. Zumindest eine der Streben weist in einem radial mittleren Bereich eine Einschnürung auf. |
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05.12.2018
Splitflow-Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 01.07.2015
Erteilt am 05.12.2018
Vertretung
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05.12.2018
Adapter für Vakuumpumpen und Zugehörige Pumpvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.12.2012
Erteilt am 05.12.2018
Vertretung
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28.11.2018
Vakuumpumpstufe mit besonderer Oberflächenrauigkeit zur Reduzierung der Gasreibung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 14.07.2014
Erteilt am 28.11.2018
Vertretung
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21.11.2018
Vakuumpumpe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 17.03.2015
Erteilt am 21.11.2018
Vertretung
Zusammenfassung
Eine Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe, oder eine Rotationseinheit (24) für eine Vakuumpumpe umfasst einen Rotor (14), einen Stator (140) und ein Magnetlager (42), wobei das Magnetlager (42) einen am Rotor (14) angeordneten rotorseitigen Lagerteil (44) und einen am Stator (140) angeordneten statorseitigen Lagerteil (46) aufweist, wobei der rotorseitige Lagerteil und der statorseitige Lagerteil einander gegenüberliegende Seitenflächen (60,62) aufweisen, wobei eine gasdichte Kapselung (66) für den rotorseitigen Lagerteil (44) vorgesehen ist, die eine rotorseitige Schutzwand (74) umfasst, die die Seitenfläche (60) des rotorseitigen Lagerteils abdeckt und/oder wobei eine gasdichte Kapselung (68) für den statorseitigen Lagerteil (46) vorgesehen ist, die eine statorseitige Schutzwand (104) umfasst, die die Seitenfläche (62) des statorseitigen Lagerteils (46) abdeckt, wobei die rotorseitige Schutzwand (74) mit dem Rotor (14) gasdicht verschweißt ist und/oder die statorseitige Schutzwand (104) mit dem Stator (140) gasdicht verschweißt ist. |
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21.11.2018
Vorrichtung zur Messung eines Druckes mit wenigstens einem Drucksensor mit wenigstens einer aktiven Sensorfläche
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2013
Erteilt am 21.11.2018
Vertretung
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21.11.2018
Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 21.05.2008
Erteilt am 21.11.2018
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31.10.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 18.12.2014
Erteilt am 31.10.2018
Vertretung
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31.10.2018
Vakuumpumpe und Permanentmagnetlager
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 24.08.2015
Erteilt am 31.10.2018
Vertretung
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17.10.2018
Vorrichtung zum Be- und Entladen von Substraten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.07.2009
Erteilt am 17.10.2018
Vertretung
Sciaux, Edmond · Boulogne-Billancourt
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10.10.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 30.06.2015
Erteilt am 10.10.2018
Vertretung
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03.10.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 19.01.2015
Erteilt am 03.10.2018
Vertretung
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03.10.2018
Anordnung zur Lagerung einer Welle einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 19.11.2015
Erteilt am 03.10.2018
Vertretung
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19.09.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 03.07.2009
Erteilt am 19.09.2018
Vertretung
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12.09.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 21.11.2007
Erteilt am 12.09.2018
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05.09.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 10.07.2014
Erteilt am 05.09.2018
Vertretung
Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München
Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB · München
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass, einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, wenigstens einer Prozessgaspumpstufe zur Förderung eines an dem Pumpeneinlass anstehenden Prozessgases von dem Pumpeneinlass zu dem Pumpenauslass, einem Motorraum und einem in dem Motorraum angeordneten und zum drehenden Antreiben des Rotors ausgebildeten Antriebsmotor, welcher einen Motorstator umfasst, wobei wenigstens ein Gasweg für das Prozessgas von dem Pumpeneinlass zu dem Pumpenauslass vorgesehen ist, der durch den Motorraum führt und zumindest abschnittsweise an dem Motorstator entlang oder durch den Motorstator hindurch führt. |
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05.09.2018
Anordnung mit Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 21.11.2007
Erteilt am 05.09.2018
Vertretung
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05.09.2018
Statorscheibe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 12.11.2014
Erteilt am 05.09.2018
Vertretung
Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München
Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB · München
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29.08.2018
Pumpsystem und Verfahren zur Verringerung des Drucks in einer Load-Lock-Kammer
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 10.02.2015
Erteilt am 29.08.2018
Vertretung
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29.08.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 30.10.2013
Erteilt am 29.08.2018
Vertretung
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22.08.2018
Wälzkolbenvakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.11.2009
Erteilt am 22.08.2018
Vertretung
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15.08.2018
Anordnung mit Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 22.11.2008
Erteilt am 15.08.2018
Vertretung
Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München
Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB · München
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08.08.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 22.09.2015
Erteilt am 08.08.2018
Vertretung
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25.07.2018
Schnell drehender Rotor für eine Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 09.11.2012
Erteilt am 25.07.2018
Vertretung
Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München
Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB · München
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft einen schnell drehenden Rotor (10) für eine Vakuumpumpe (2), welcher eine erste Hülse (16) und eine Tragstruktur (14; 60) umfasst. Um die vakuumtechnische Leistungsfähigkeit zu steigern, wird vorgeschlagen, dass innerhalb der ersten Hülse (16) eine zweite Hülse (18) angeordnet ist und erste und zweite Hülse einen Verbund bilden. <img class="EMIRef" id="144777591-iaf01" /> |
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18.07.2018
Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 26.09.2008
Erteilt am 18.07.2018
Vertretung
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18.07.2018
Befestigungsvorrichtung für Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 17.02.2015
Erteilt am 18.07.2018
Vertretung
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04.07.2018
System zur Analyse eines Niederdruckgases mittels Optischer Emissionsspektroskopie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.07.2008
Erteilt am 04.07.2018
Vertretung
Sciaux, Edmond · Boulogne-Billancourt
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27.06.2018
Pumpenmodul, sowie Verdrängerpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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16.05.2018
Vakuumpumpe mit Antriebsgerät
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 27.03.2007
Erteilt am 16.05.2018
Vertretung
Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München
Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB · München
Zusammenfassung
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09.05.2018
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 28.08.2014
Erteilt am 09.05.2018
Vertretung
Zusammenfassung
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Wer vertritt Pfeiffer Vacuum?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Pfeiffer Vacuum vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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