Pfeiffer Vacuum Patente

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse und einem in dem Gehäuse aufgenommenen Pumpsystem, das einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor umfasst. Die Vakuumpumpe umfasst ferner einen elektrischen Antriebsmotor für den Rotor, der den Rotor im Betrieb in Drehung um die Drehachse versetzt, ein Lager, insbesondere ein Wälzlager, für den Rotor, eine in dem Gehäuse angeordnete und das Lager aufnehmende, insbesondere das Lager radial und axial stützende, Lagerfassung, und eine zwischen der Lagerfassung und dem Gehäuse wirksame Einrichtung zur Schwingungsdämpfung, die insbesondere von einem oder mehreren, jeweils axial oder radial angeordneten Ringelementen aus einem elastisch verformbaren Material, insbesondere einem Elastomer- oder Silikonmaterial, gebildet ist. Die Vakuumpumpe zeichnet sich dadurch aus, dass zwischen der Lagerfassung und dem Gehäuse oder innerhalb der Lagerfassung eine Einrichtung zur Wärmekopplung wirksam ist, die zusätzlich zu der Einrichtung zur Schwingungsdämpfung vorgesehen ist.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit- einem axialen Einlass für ein zu pumpendes Gas,- zumindest einer Pumpstufe, die einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor umfasst, und- zumindest einem Magnetlager für den Rotor, insbesondere für einen einlassnahen Endbereich des Rotors, das einen Magnetlagerrotor und einen mit diesem zusammenwirkenden Magnetlagerstator umfasst, die jeweils einen Stapel aus mehreren Permanentmagnetringen aufweisen,wobei der Magnetlagerrotor am Rotor und der Magnetlagerstator an einem Halter des Stators angeordnet ist, und wobei der Magnetlagerstator ein Stellelement umfasst, das zum Einstellen der axialen Position des Magnetlagerstators um die Drehachse verdrehbar ist, wobei das Stellelement mit einer Eingriffsstruktur, insbesondere einem Mehrkantprofil oder einer Verzahnung, versehen ist, wobei die Eingriffsstruktur sich radial nach außen verjüngende Eingriffselemente aufweist, die in radialer Richtung über die Permanentmagnetringe hinaus vorstehen. Die Erfindung betrifft außerdem zwei Verfahren zum Verstellen einer axialen Position eines Magnetlagerstators einer Vakuumpumpe.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit - einem Einlass, - einem Auslass, - einem in einer Pumprichtung vom Einlass zum Auslass wirksamen Pumpsystem, das einen Rotorelemente umfassenden Rotor und mit den Rotorelementen während des Betriebs pumpwirksam zusammenwirkende Statorelemente aufweist, und einen elektrischen Antriebsmotor, der den Rotor im Betrieb in Drehung um eine Drehachse versetzt, wobei zumindest ein fest an dem Rotor angeordnetes, separates Wuchtelement vorgesehen ist, das einen aus einem Wuchtmaterial gebildeten Wuchtbereich umfasst und das für ein Beseitigen einer Unwucht des Rotors durch selektives Abtragen von Wuchtmaterial von dem Wuchtbereich vorgesehen ist, wobei der Wuchtbereich und/oder das Wuchtelement - in einer axialen Sicht - kreis- oder ringförmig ausgestaltet ist.

Eine Turbomolekularpumpe umfasst einen Rotor, einen Elektromotor, der mit dem Rotor gekoppelt ist und den Rotor während des Betriebs der Turbomolekularpumpe antreibt, und eine Steuereinheit, die mit dem Elektromotor gekoppelt ist. Die Steuereinheit ist ausgebildet, den Elektromotor während einer Auslaufphase des Rotors in einem regenerativen Modus zu betreiben, in welchem der Elektromotor den Rotor mit einer veränderbaren Bremsleistung abbremst, eine Referenztemperatur an mindestens einer für die Auslaufphase relevanten Position zu erfassen und die veränderbare Bremsleistung in Abhängigkeit von der Referenztemperatur zu regeln.

Eine Vakuumpumpe umfasst einen Schöpfraum (110) mit rotierenden pumpaktiven Elementen (112) und einen Elektromotor (120), der einen Rotor (130) und einen Stator (140) aufweist. Der Rotor (130) des Elektromotors ist über eine Rotorwelle (116) mit den rotierenden pumpaktiven Elementen (112) verbunden, um diese anzutreiben. Der Rotor (130) und/oder der Stator (140) des Elektromotors (120) weisen eine Förderstruktur (200) auf, die ausgebildet ist, ein Schmiermittel aus einem Raumbereich (122) des Elektromotors (120) in den Schöpfraum (110) zu transportieren.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpsystem, das einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor umfasst, und mit einem Elektromotor als Drehantrieb für den Rotor, wobei der Elektromotor ein permanenterregter Synchronmotor ist, der Rotor eine Welle umfasst, und die Permanentmagnete des Synchronmotors innerhalb der Welle angeordnet sind.

Die Erfindung betrifft unter anderem eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei zwischen den beiden Spiralbauteilen ein Axialspaltmaß vorhanden ist, und wobei ein Stellmittel vorgesehen ist, das dazu ausgebildet ist, das Axialspaltmaß einzustellen.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (90), bevorzugt Vakuumpumpe (90) nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 4, insbesondere Splitflowpumpe (92), mit- einem Einlass (94),- einem Auslass (96),- zwei oder mehr in Pumprichtung (98) zwischen dem Einlass (94) und dem Auslass (96) hintereinander geschaltete Pumpstufen (10), wobei die zumindest zwei oder mehr Pumpstufen (10) wenigstens eine Turbomolekular-Pumpstufe (10, 12) und wenigstens eine Holweck-Pumpstufe (14) umfassen, wobei die Turbomolekular-Pumpstufe (10, 12) in Pumprichtung (98) vor der Holweck-Pumpstufe (14) angeordnet ist und die wenigstens eine Holweck-Pumpstufe (14) einen Holweck-Stator (20) und einen im Betrieb um eine Rotationsachse (102) rotierenden Holweck-Rotor (30) umfasst,wobei zumindest ein Zwischeneinlass (40) für zu pumpendes Gas (100) vorgesehen ist, der in einem pumpaktiven Bereich einer der Pumpstufen (10) angeordnet ist, oder alternativ wobei zumindest ein Zwischeneinlass (40) für zu pumpendes Gas (100) vorgesehen ist, der zwischen zwei der Pumpstufen (10) oder in einem pumpaktiven Bereich einer der Pumpstufen (10) angeordnet ist.

Die Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten, die jeweils eine Funktionsseite aufweisen, und mit einer Montageeinrichtung zur vakuumdichten Montage der Vakuumpumpe an den Rezipienten mit einander zugewandten Funktionsseiten, wobei die Montageeinrichtung dazu ausgebildet ist, zunächst ein Abstützen, nämlich durch Einhängen oder durch Einschieben, der Vakuumpumpe an dem Rezipienten und dann ein Befestigen der Vakuumpumpe an dem Rezipienten zu ermöglichen, wobei die Montageeinrichtung am Rezipienten wenigstens ein von dessen Funktionsseite abstehendes Stützorgan und an der Vakuumpumpe zumindest ein Gegenstück umfasst, das mit dem Stützorgan durch Einhängen von oben oder durch Einschieben von der Seite in Eingriff bringbar ist, um die Vakuumpumpe in einer Vorfixierstellung an dem Rezipienten abzustützen, und wobei die Montageeinrichtung zusätzlich zu dem Stützorgan und dem Gegenstück am Rezipienten und an der Vakuumpumpe ausgebildete Befestigungsmittel umfasst, mit denen die Vakuumpumpe entweder direkt in der Vorfixierstellung oder nach einem Überführen aus der Vorfixierstellung in eine Endfixierstellung an dem Rezipienten befestigbar ist.

Doppelflutige Scrollpumpe mit einem Spiralgehäuse (12), in dem sich ein Orbiter (14) befindet, der von einem Motor (16) zur Ausführung einer orbitierenden Bewegung angetrieben wird, wozu der Motor (16) eine Antriebswelle (18) mit einem exzentrischen Wellenabschnitt (20) aufweist, der den Orbiter (14) trägt. Der Orbiter (14) ist in axialer Richtung verschieblich auf dem exzentrischen Wellenabschnitt (20) gelagert. Der Orbiter (14) umfasst eine Trägerplatte(32), erste Spirale (28), die sich von einer ersten Seite der Trägerplatte erstreckt und zur Bildung einer ersten Pumpstufe (40) mit einer ersten feststehenden Spirale (36) in dem Spiralgehäuse (12) verschachtelt ist, und eine zweite Spirale (30), die sich von einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite der Trägerplatte erstreckt und zur Bildung einer zweiten Pumpstufe (42) mit einer zweiten feststehenden Spirale (36) in dem Spiralgehäuse verschachtelt ist, wobei (i) in der Trägerplatte (32) ein oder mehrere Druckausgleichbohrungen (44) ausgebildet sind, die sich zwischen der ersten und der zweiten Seite der Trägerplatte erstrecken; und/oder (ii) die Trägerplatte (32) über eine Drehverhinderungseinrichtung mit dem Spiralgehäuse verbunden ist, die eine Rotation des Orbiters (14) unterbindet und Rückstellkraft auf den Orbiter infolge einer axialen Auslenkung desselben aufbringt; und/oder (iii) ein aktives Axialmagnetlager (60) vorgesehen ist, welches eingerichtet und betreibbar ist, um auf den Orbiter (14) eine axiale Magnetkraft zur Steuerung dessen axialer Position auszuüben.

Eine Scrollpumpe umfasst einen Stator und einen Orbiter mit jeweiligen Spiralbauteilen (210;220), die ineinander eingreifen. Der Orbiter führt bezogen auf den Stator eine exzentrische Bewegung um eine Drehachse herum aus, die eine axiale Richtung definiert. Jeweilige Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile liegen in der axialen Richtung einander gegenüber und sind voneinander beabstandet. An einer dieser Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile ist mindestens ein Abstandselement (240) angeordnet, das über die Stirnfläche, an der es angeordnet ist, in axialer Richtung hervorsteht und bezogen auf die gegenüberliegende Stirnfläche einen vordefinierten Abstand aufweist. Das Abstandselement (240) umfasst ein Material, das sich durch mindestens eine tribologische Eigenschaft von einem jeweiligen Material an den Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile (210;220) unterscheidet.

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Die Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten, die jeweils eine Funktionsseite aufweisen, und mit einer Montageeinrichtung zur vakuumdichten Montage der Vakuumpumpe an den Rezipienten mit einander zugewandten Funktionsseiten, wobei die Montageeinrichtung dazu ausgebildet ist, zunächst ein Abstützen, nämlich durch Einhängen oder durch Einschieben, der Vakuumpumpe an dem Rezipienten und dann ein Befestigen der Vakuumpumpe an dem Rezipienten zu ermöglichen, wobei die Montageeinrichtung am Rezipienten wenigstens ein von dessen Funktionsseite abstehendes Stützorgan und an der Vakuumpumpe zumindest ein Gegenstück umfasst, das mit dem Stützorgan durch Einhängen von oben oder durch Einschieben von der Seite in Eingriff bringbar ist, um die Vakuumpumpe in einer Vorfixierstellung an dem Rezipienten abzustützen, und wobei die Montageeinrichtung zusätzlich zu dem Stützorgan und dem Gegenstück am Rezipienten und an der Vakuumpumpe ausgebildete Befestigungsmittel umfasst, mit denen die Vakuumpumpe entweder direkt in der Vorfixierstellung oder nach einem Überführen aus der Vorfixierstellung in eine Endfixierstellung an dem Rezipienten befestigbar ist.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und einem von einer Rotorwelle angetriebenen Pumpmechanismus zur Förderung eines Prozessgases vom Pumpeneinlass zum Pumpenauslass. Der Pumpmechanismus weist zwischen dem Pumpeneinlass und dem Pumpenauslass mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Turbomolekular-Pumpstufen mit jeweils einer Rotorscheibe und einer Statorscheibe stromabwärts der Rotorscheibe auf. Jede Rotorscheibe weist dabei mehrere sich radial erstreckende Flügel auf, die parallel zur Rotorwelle eine Höhe H aufweisen. Zudem weist jede Statorscheibe mehrere sich radial erstreckende Flügel auf, die parallel zur Rotorwelle eine Höhe h aufweisen. Hier gilt für das Verhältnis H / h der am weitesten stromaufwärts gelegenen Turbomolekular-Pumpstufe: 3 ≤ H / h ≤ 5.

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit zumindest einer Turbomolekularpumpeinheit und wenigstens einer in Pumprichtung der Turbomolekularpumpeinheit nachgeordneten Holweckpumpeinheit, die wenigstens zwei bezüglich einer gemeinsamen Rotationsachse konzentrisch ineinander liegende, in Pumprichtung aufeinander folgende Holweckstufen aufweist, wobei die Holweckstufen jeweils einen Holweckstator mit einem Holweckgewinde umfassen, das von einem Kanalgrund abstehende Holweckstege und von den Wänden der Holweckstege begrenzte Holweckkanäle aufweist und einem gemeinsamen, während des Betriebs um die Rotationsachse rotierenden Holweckrotor der Holweckpumpeinheit zugewandt ist, der mit dem einen Holweckstator einen radial äußeren Holweckpumpbereich und mit dem anderen Holweckstator einen radial inneren Holweckpumpbereich begrenzt, wobei in einem Übergangsbereich am freien Ende des Holweckrotors ein Auslassbereich des radial äußeren Holweckpumpbereiches in einen Einlassbereich des radial inneren Holweckpumpbereiches übergeht, wobei zusätzlich zu einem axialen Gaseinlass in den radial äußeren Holweckpumpbereich ein radialer Gaseinlass in die Holweckpumpeinheit vorgesehen ist, der entweder in den Übergangsbereich oder stromaufwärts des Übergangsbereiches in den radial äußeren Holweckpumpbereich mündet, und wobei der Auslassbereich und der Einlassbereich jeweils in einer senkrecht zur Rotationsachse verlaufenden Querschnittsebene, in der die Pumpwirkung endet bzw. beginnt, eine von den Holweckkanälen definierte freie Querschnittsfläche aufweisen und die freie Querschnittsfläche des Einlassbereiches um einen Faktor f > 1 größer ist als die freie Querschnittsfläche des Auslassbereiches.

Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, umfassend ein Überwachungsmodul, das ausgebildet ist, Betriebsparameter des Vakuumgeräts zu überwachen, und ein drahtloses Schnittstellenmodul, das ausgebildet ist, mit einem drahtlosen Schnittstellenmodul einer von dem Vakuumgerät entfernten Auswertungsvorrichtung zu kommunizieren und die Betriebsparameter an die Auswertungsvorrichtung bereitzustellen.

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Die Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit mehreren Komponenten, die jeweils eine Teilfunktion von mehreren unterschiedlichen Teilfunktionen des Vakuumsystems ausführen und die hierzu jeweils zumindest ein Softwaremodul aufweisen, das eine Komponenten-Software umfasst, die während des Betriebs des Vakuumsystems von der Komponente verarbeitet wird, um die Teilfunktion dieser Komponente auszuführen, wobei das Vakuumsystem eine Steuereinrichtung umfasst, die dazu ausgebildet ist, während des Betriebs des Vakuumsystems die Softwaremodule komponentenweise dadurch zu aktualisieren, dass an zumindest einer Komponente deren Komponenten-Software aktualisiert wird und währenddessen diese Komponente ihre Teilfunktion nicht ausführt, und dass während der Aktualisierung der Komponenten-Software der zumindest einen Komponente die oder jede andere Komponente ihre Teilfunktion weiterhin ausführt, so dass während der Aktualisierung der Komponenten-Software einer jeweiligen Komponente das Vakuumsystem ohne die Teilfunktion dieser Komponente weiterhin betrieben wird.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse und zumindest einer in dem Gehäuse angeordneten Pumpstufe, die einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden, mit dem Stator pumpwirksam zusammenwirkenden Rotor umfasst, wobei der Stator wenigstens ein Statorbauteil mit einer Oberfläche aufweist, die einen ersten Anteil und einen von dem ersten Anteil verschiedenen zweiten Anteil aufweist, und wobei der zweite Anteil der Oberfläche unbeschichtet ist und einen thermischen Emissionsgrad ε von mindestens 0,25, bevorzugt mindestens 0,3, bei 50°C aufweist.

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Unterstützen eines Betriebs einer Vakuumkomponente (10) durch ein Unterstützungssystem (30), das Unterstützungssystem (30) zumindest umfassend einen Bildsensor (32), eine Auswerteeinheit (34) sowie eine Ausgabeeinheit (36). Ferner betrifft die Erfindung ein entsprechendes Unterstützungssystem (30). Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein das Verfahren betreffendes Computerprogrammprodukt (50) und ein computerlesbares Medium (60).

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