Pfeiffer Vacuum Patente

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpsystem, das einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor umfasst, und mit einem Elektromotor als Drehantrieb für den Rotor, wobei der Elektromotor ein permanenterregter Synchronmotor ist, der Rotor eine Welle umfasst, und die Permanentmagnete des Synchronmotors innerhalb der Welle angeordnet sind.

Die Erfindung betrifft unter anderem eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei zwischen den beiden Spiralbauteilen ein Axialspaltmaß vorhanden ist, und wobei ein Stellmittel vorgesehen ist, das dazu ausgebildet ist, das Axialspaltmaß einzustellen.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (90), bevorzugt Vakuumpumpe (90) nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 4, insbesondere Splitflowpumpe (92), mit- einem Einlass (94),- einem Auslass (96),- zwei oder mehr in Pumprichtung (98) zwischen dem Einlass (94) und dem Auslass (96) hintereinander geschaltete Pumpstufen (10), wobei die zumindest zwei oder mehr Pumpstufen (10) wenigstens eine Turbomolekular-Pumpstufe (10, 12) und wenigstens eine Holweck-Pumpstufe (14) umfassen, wobei die Turbomolekular-Pumpstufe (10, 12) in Pumprichtung (98) vor der Holweck-Pumpstufe (14) angeordnet ist und die wenigstens eine Holweck-Pumpstufe (14) einen Holweck-Stator (20) und einen im Betrieb um eine Rotationsachse (102) rotierenden Holweck-Rotor (30) umfasst,wobei zumindest ein Zwischeneinlass (40) für zu pumpendes Gas (100) vorgesehen ist, der in einem pumpaktiven Bereich einer der Pumpstufen (10) angeordnet ist, oder alternativ wobei zumindest ein Zwischeneinlass (40) für zu pumpendes Gas (100) vorgesehen ist, der zwischen zwei der Pumpstufen (10) oder in einem pumpaktiven Bereich einer der Pumpstufen (10) angeordnet ist.

Eine Scrollpumpe umfasst einen Stator und einen Orbiter mit jeweiligen Spiralbauteilen (210;220), die ineinander eingreifen. Der Orbiter führt bezogen auf den Stator eine exzentrische Bewegung um eine Drehachse herum aus, die eine axiale Richtung definiert. Jeweilige Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile liegen in der axialen Richtung einander gegenüber und sind voneinander beabstandet. An einer dieser Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile ist mindestens ein Abstandselement (240) angeordnet, das über die Stirnfläche, an der es angeordnet ist, in axialer Richtung hervorsteht und bezogen auf die gegenüberliegende Stirnfläche einen vordefinierten Abstand aufweist. Das Abstandselement (240) umfasst ein Material, das sich durch mindestens eine tribologische Eigenschaft von einem jeweiligen Material an den Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile (210;220) unterscheidet.

Doppelflutige Scrollpumpe mit einem Spiralgehäuse (12), in dem sich ein Orbiter (14) befindet, der von einem Motor (16) zur Ausführung einer orbitierenden Bewegung angetrieben wird, wozu der Motor (16) eine Antriebswelle (18) mit einem exzentrischen Wellenabschnitt (20) aufweist, der den Orbiter (14) trägt. Der Orbiter (14) ist in axialer Richtung verschieblich auf dem exzentrischen Wellenabschnitt (20) gelagert. Der Orbiter (14) umfasst eine Trägerplatte(32), erste Spirale (28), die sich von einer ersten Seite der Trägerplatte erstreckt und zur Bildung einer ersten Pumpstufe (40) mit einer ersten feststehenden Spirale (36) in dem Spiralgehäuse (12) verschachtelt ist, und eine zweite Spirale (30), die sich von einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite der Trägerplatte erstreckt und zur Bildung einer zweiten Pumpstufe (42) mit einer zweiten feststehenden Spirale (36) in dem Spiralgehäuse verschachtelt ist, wobei (i) in der Trägerplatte (32) ein oder mehrere Druckausgleichbohrungen (44) ausgebildet sind, die sich zwischen der ersten und der zweiten Seite der Trägerplatte erstrecken; und/oder (ii) die Trägerplatte (32) über eine Drehverhinderungseinrichtung mit dem Spiralgehäuse verbunden ist, die eine Rotation des Orbiters (14) unterbindet und Rückstellkraft auf den Orbiter infolge einer axialen Auslenkung desselben aufbringt; und/oder (iii) ein aktives Axialmagnetlager (60) vorgesehen ist, welches eingerichtet und betreibbar ist, um auf den Orbiter (14) eine axiale Magnetkraft zur Steuerung dessen axialer Position auszuüben.

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Die Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten, die jeweils eine Funktionsseite aufweisen, und mit einer Montageeinrichtung zur vakuumdichten Montage der Vakuumpumpe an den Rezipienten mit einander zugewandten Funktionsseiten, wobei die Montageeinrichtung dazu ausgebildet ist, zunächst ein Abstützen, nämlich durch Einhängen oder durch Einschieben, der Vakuumpumpe an dem Rezipienten und dann ein Befestigen der Vakuumpumpe an dem Rezipienten zu ermöglichen, wobei die Montageeinrichtung am Rezipienten wenigstens ein von dessen Funktionsseite abstehendes Stützorgan und an der Vakuumpumpe zumindest ein Gegenstück umfasst, das mit dem Stützorgan durch Einhängen von oben oder durch Einschieben von der Seite in Eingriff bringbar ist, um die Vakuumpumpe in einer Vorfixierstellung an dem Rezipienten abzustützen, und wobei die Montageeinrichtung zusätzlich zu dem Stützorgan und dem Gegenstück am Rezipienten und an der Vakuumpumpe ausgebildete Befestigungsmittel umfasst, mit denen die Vakuumpumpe entweder direkt in der Vorfixierstellung oder nach einem Überführen aus der Vorfixierstellung in eine Endfixierstellung an dem Rezipienten befestigbar ist.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und einem von einer Rotorwelle angetriebenen Pumpmechanismus zur Förderung eines Prozessgases vom Pumpeneinlass zum Pumpenauslass. Der Pumpmechanismus weist zwischen dem Pumpeneinlass und dem Pumpenauslass mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Turbomolekular-Pumpstufen mit jeweils einer Rotorscheibe und einer Statorscheibe stromabwärts der Rotorscheibe auf. Jede Rotorscheibe weist dabei mehrere sich radial erstreckende Flügel auf, die parallel zur Rotorwelle eine Höhe H aufweisen. Zudem weist jede Statorscheibe mehrere sich radial erstreckende Flügel auf, die parallel zur Rotorwelle eine Höhe h aufweisen. Hier gilt für das Verhältnis H / h der am weitesten stromaufwärts gelegenen Turbomolekular-Pumpstufe: 3 ≤ H / h ≤ 5.

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit zumindest einer Turbomolekularpumpeinheit und wenigstens einer in Pumprichtung der Turbomolekularpumpeinheit nachgeordneten Holweckpumpeinheit, die wenigstens zwei bezüglich einer gemeinsamen Rotationsachse konzentrisch ineinander liegende, in Pumprichtung aufeinander folgende Holweckstufen aufweist, wobei die Holweckstufen jeweils einen Holweckstator mit einem Holweckgewinde umfassen, das von einem Kanalgrund abstehende Holweckstege und von den Wänden der Holweckstege begrenzte Holweckkanäle aufweist und einem gemeinsamen, während des Betriebs um die Rotationsachse rotierenden Holweckrotor der Holweckpumpeinheit zugewandt ist, der mit dem einen Holweckstator einen radial äußeren Holweckpumpbereich und mit dem anderen Holweckstator einen radial inneren Holweckpumpbereich begrenzt, wobei in einem Übergangsbereich am freien Ende des Holweckrotors ein Auslassbereich des radial äußeren Holweckpumpbereiches in einen Einlassbereich des radial inneren Holweckpumpbereiches übergeht, wobei zusätzlich zu einem axialen Gaseinlass in den radial äußeren Holweckpumpbereich ein radialer Gaseinlass in die Holweckpumpeinheit vorgesehen ist, der entweder in den Übergangsbereich oder stromaufwärts des Übergangsbereiches in den radial äußeren Holweckpumpbereich mündet, und wobei der Auslassbereich und der Einlassbereich jeweils in einer senkrecht zur Rotationsachse verlaufenden Querschnittsebene, in der die Pumpwirkung endet bzw. beginnt, eine von den Holweckkanälen definierte freie Querschnittsfläche aufweisen und die freie Querschnittsfläche des Einlassbereiches um einen Faktor f > 1 größer ist als die freie Querschnittsfläche des Auslassbereiches.

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Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, umfassend ein Überwachungsmodul, das ausgebildet ist, Betriebsparameter des Vakuumgeräts zu überwachen, und ein drahtloses Schnittstellenmodul, das ausgebildet ist, mit einem drahtlosen Schnittstellenmodul einer von dem Vakuumgerät entfernten Auswertungsvorrichtung zu kommunizieren und die Betriebsparameter an die Auswertungsvorrichtung bereitzustellen.

Die Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit mehreren Komponenten, die jeweils eine Teilfunktion von mehreren unterschiedlichen Teilfunktionen des Vakuumsystems ausführen und die hierzu jeweils zumindest ein Softwaremodul aufweisen, das eine Komponenten-Software umfasst, die während des Betriebs des Vakuumsystems von der Komponente verarbeitet wird, um die Teilfunktion dieser Komponente auszuführen, wobei das Vakuumsystem eine Steuereinrichtung umfasst, die dazu ausgebildet ist, während des Betriebs des Vakuumsystems die Softwaremodule komponentenweise dadurch zu aktualisieren, dass an zumindest einer Komponente deren Komponenten-Software aktualisiert wird und währenddessen diese Komponente ihre Teilfunktion nicht ausführt, und dass während der Aktualisierung der Komponenten-Software der zumindest einen Komponente die oder jede andere Komponente ihre Teilfunktion weiterhin ausführt, so dass während der Aktualisierung der Komponenten-Software einer jeweiligen Komponente das Vakuumsystem ohne die Teilfunktion dieser Komponente weiterhin betrieben wird.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse und zumindest einer in dem Gehäuse angeordneten Pumpstufe, die einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden, mit dem Stator pumpwirksam zusammenwirkenden Rotor umfasst, wobei der Stator wenigstens ein Statorbauteil mit einer Oberfläche aufweist, die einen ersten Anteil und einen von dem ersten Anteil verschiedenen zweiten Anteil aufweist, und wobei der zweite Anteil der Oberfläche unbeschichtet ist und einen thermischen Emissionsgrad ε von mindestens 0,25, bevorzugt mindestens 0,3, bei 50°C aufweist.

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Unterstützen eines Betriebs einer Vakuumkomponente (10) durch ein Unterstützungssystem (30), das Unterstützungssystem (30) zumindest umfassend einen Bildsensor (32), eine Auswerteeinheit (34) sowie eine Ausgabeeinheit (36). Ferner betrifft die Erfindung ein entsprechendes Unterstützungssystem (30). Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein das Verfahren betreffendes Computerprogrammprodukt (50) und ein computerlesbares Medium (60).

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die einen Holweck-Rotor und einen Holweck-Stator umfasst. Der Holweck-Rotor umfasst eine Rotorwelle mit einer daran vorgesehenen Nabe sowie zumindest zwei an der Nabe vorgesehene Holweck-Rotorhülsen, welche die Rotorwelle konzentrisch umgeben, wobei eine radial innere Holweck-Rotorhülse einen ersten Durchmesser und eine radial äußere Holweck-Rotorhülse einen zweiten Durchmesser aufweist. Der Holweck-Stator umfasst zwischen den beiden Holweck-Rotorhülsen eine zu diesen konzentrische Holweck-Statorhülse, welche ein an einem stationären Gehäuseabschnitt der Vakuumpumpe angebrachtes festes Ende, ein dem festen Ende in axialer Richtung gegenüberliegendes freies Ende sowie eine Innenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Innengewinde und eine Außenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Außengewinde aufweist. Der zweite Durchmesser der radial äußeren Holweck-Rotorhülse ist mindestens 30% größer als der erste Durchmesser der radial inneren Holweck-Rotorhülse.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumventileinrichtung mit einem Ventilgehäuse (22), das einen Gaseinlass und einen Gasauslass aufweist, die durch einen Durchgangskanal miteinander in Verbindung stehen, der durch einen bewegbar angeordneten und in einer Schließstellung mit einem Ventilsitz (34) zusammenwirkenden Ventilkörper selektiv gasdicht sperrbar ist, wobei zumindest ein in die Ventileinrichtung integrierter Gasdrucksensor (46) vorgesehen ist, mit dem ein in einem ihm zugeordneten Abschnitt des Durchgangskanals herrschender Gasdruck bestimmbar ist. Die Erfindung betrifft ferner ein System umfassend eine Vakuumpumpe und eine solche Vakuumventileinrichtung. Die Erfindung betrifft ferner ein System zumindest umfassend eine solche Vakuumventileinrichtung und eine Vakuumpumpe.

Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem (11,13), das ein feststehendes Spiralbauteil (11) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (13) umfasst, und einer im Betrieb um eine Drehachse (15) rotierenden Antriebswelle (17) mit einem Exzenterabschnitt (19) zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils (13), sowie Verfahren zum Betreiben einer solchen Scrollvakuumpumpe.

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Die Erfindung betrifft unter anderem eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, einer Antriebswelle, die einen Exzenterabschnitt zum Antreiben des Pumpsystems aufweist, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei zumindest zwei entlang der Drehachse der Antriebswelle voneinander beabstandete Lagerstellen zur Drehlagerung der Antriebswelle vorgesehen sind, und wobei sich alle Lagerstellen auf der dem Exzenterabschnitt der Antriebswelle zugewandten Seite des Antriebsmotors und/oder zwischen einem vorderen Wuchtgewicht und einem hinteren Wuchtgewicht der Antriebswelle befinden.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Flutventil (10) zum Öffnen und Schließen einer Flutöffnung in einem Gehäuse einer Vakuumpumpe. Das Flutventil (10) umfasst ein Ventilgehäuse (12) zur Aufnahme in einer Flutöffnung einer Vakuumpumpe und ein von dem Ventilgehäuse (12) aufgenommenen Ventilelement (14). Das Ventilgehäuse (12) ist von einer Durchgangsbohrung (16) durchsetzt, die sich von einer ersten axialen Stirnfläche (17) zu einer zweiten axialen Stirnfläche (18) des Ventilgehäuses (12) erstreckt und ein Innengewinde (20) aufweist. Das Ventilelement (14) weist einen Schraubenschaft (22) mit einem Außengewinde (24) auf, mit dem das Ventilelement (14) in das Innengewinde (20) der Durchgangsbohrung (16) eingeschraubt ist. Der Schraubenschaft (22) weist an einem ersten Ende (25) einen Drehantrieb (28) zur Betätigung des Ventilelements (14) zur Veränderung der Axialstellung des Ventilelements (14) gegenüber dem Ventilgehäuse (12) und an einem gegenüberliegenden zweiten Ende (26) einen Ventilteller (30) auf, der in einer ersten Axialstellung des Ventilelements (14) zur Abdichtung der Durchgangsbohrung (16) an der zweiten Stirnfläche (18) des Ventilgehäuses (12) anliegt und der in einer zweiten Axialstellung des Ventilelements (14) einen Abstand gegenüber der zweiten Stirnfläche (18) aufweist.

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Ein Vakuumgerät weist mehrere Module auf, und jedes der Module umfasst eine Funktionseinheit, die eine vorgegebene Funktion während des Betriebs des Vakuumgeräts ausführt, sowie zumindest eine Kommunikationseinheit, die ausgebildet ist, um einen Eingangsdatensatz von einem anderen Modul zu empfangen und an die Funktionseinheit zu übertragen sowie einen Ausgangsdatensatz von der Funktionseinheit zu empfangen und an ein anderes Modul zu übertragen. Mindestens eines der Module des Vakuumgeräts weist zwei Kommunikationseinheiten auf. Beide dieser zwei Kommunikationseinheiten sind ausgebildet, um den Eingangsdatensatz an die jeweils andere Kommunikationseinheit desselben Moduls zu übertragen.

Die Erfindung betrifft unter anderem eine Vakuumpumpe, insbesondere Scrollpumpe, mit einem Elektronikgehäuse, in dem eine oder mehrere Elektronikkomponenten angeordnet sind, wobei innerhalb des Elektronikgehäuses für wenigstens eine Elektronikkomponente eine gesonderte Kammer vorgesehen ist, in der die Elektronikkomponente vergossen ist.

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Die Erfindung betrifft einen Einstellring mit einem Einstellabschnitt zur axialen Ausrichtung eines radial innen liegenden ersten Lagerabschnitts eines Lagers einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, in Richtung einer Längsmittelachse des Lagers relativ zu einem radial außen liegenden zweiten Lagerabschnitt des Lagers der Vakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, dass ein umlaufender Kragen aus dem Einstellabschnitt des Einstellrings hervorgeht, welcher einen sich radial nach außen erstreckenden radialen Kragenabschnitt aufweist. Ferner ist die Erfindung auf ein Lager für eine Vakuumpumpe mit einem derartigen Lager und auf eine Vakuumpumpe mit einem solchen Lager gerichtet.

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