Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.255 gesamt| Patent | |||
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03.07.2025
Substrate processing device and electrostatic chuck
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.12.2024
Anhängig
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03.07.2025
Plasma processing device, prediction method, prediction program, and information processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
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03.07.2025
Substrate processing device and substrate temperature control method
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
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03.07.2025
Method for forming resist pattern, and processing device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2024
Anhängig
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03.07.2025
Processing liquid supply device and processing liquid supply method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2024
Anhängig
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03.07.2025
Processing system and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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03.07.2025
Processing method and processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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03.07.2025
Etching method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2024
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03.07.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.11.2024
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03.07.2025
Detection method, substrate processing system, and control program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.12.2024
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03.07.2025
Anti-spacer masking process using resist layer with solubility shifting agent
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2024
Anhängig
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26.06.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2024
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26.06.2025
Systems and methods for panel polishing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.11.2024
Anhängig
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26.06.2025
Methods and structures for improving etch profile of metallic layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.10.2024
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26.06.2025
Bonding device, bonding system, and bonding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Embedding method and embedding system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Plasma processing device and cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Plasma processing method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Control method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Method for monitoring amount of discharge of processing liquid, and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Joining system and joining method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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25.06.2025
Halbleiterstruktur und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.06.2025
Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermusters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.06.2025
Prozessor zur Implementierung Indirekter Bedingter Adressierungsartsprungbefehle, Programmaufzeichnungsmedium und Verfahren
Software & Datenverarbeitung
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19.06.2025
Plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Gas supply device, shower head, and piping
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Film formation method, plasma treatment method, and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Etching method and etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Information processing method, computer program, information processing device, and substrate processing system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Methods for wet atomic layer etching of transition metal oxide dielectric materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.10.2024
Anhängig
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19.06.2025
Substrate processing method, substrate processing device, and substrate processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Plasma processing device
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 14.12.2023
Anhängig
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19.06.2025
Plasma treatment device
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 14.12.2023
Anhängig
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19.06.2025
Substrate processing method and plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Substrate processing apparatus control method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Device and method for producing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.11.2024
Anhängig
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19.06.2025
Plasma processing device, plasma source, and plasma control method
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.11.2024
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.301
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56