Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.414 gesamt| Patent | |||
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17.08.2017
Grinding apparatus and grinding method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.01.2017
Anhängig
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10.08.2017
System and method of determining process completion of post heat treatment of a dry etch process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 31.01.2017
Anhängig
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10.08.2017
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.01.2017
Anhängig
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10.08.2017
Etching method and etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2016
Anhängig
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10.08.2017
Self-alignment of metal and via using selective deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2017
Anhängig
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03.08.2017
A plasma treatment method to meet line edge roughness and other integration objectives
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.01.2017
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03.08.2017
Method and system for forming memory fin patterns
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2017
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03.08.2017
Methods of spin-on deposition of metal oxides
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2017
Anhängig
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03.08.2017
Substrate inspection apparatus and substrate inspection method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.11.2016
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02.08.2017
Plasmabehandlungsvorrichtung und Plasmabehandlungsmethode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.08.2011
Erteilt am 02.08.2017
Vertretung
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27.07.2017
Foreign matter detection device and foreign matter detection method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 10.01.2017
Anhängig
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27.07.2017
Substrate inspection device and program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.11.2016
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27.07.2017
Substrate cleaning method and substrate cleaning device, and method of selecting cluster generating gas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 08.12.2016
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27.07.2017
Plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.01.2017
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29.06.2017
Culture Container
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 22.12.2016
Anhängig
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29.06.2017
Substrate treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 21.11.2016
Anhängig
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22.06.2017
Plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2016
Anhängig
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22.06.2017
Wafer inspection device and maintenance method for same
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.10.2016
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15.06.2017
Substrate cleaning apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.10.2016
Anhängig
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08.06.2017
Apparatus and method for manufacturing semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.11.2016
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08.06.2017
Substrate cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.10.2016
Anhängig
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08.06.2017
Method for cleaning chamber of substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.10.2016
Anhängig
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01.06.2017
Cell culturing system and sterilization method
Medizintechnik & Gesundheit
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 28.11.2016
Anhängig
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01.06.2017
Substrate liquid treatment device, substrate liquid treatment method, and memory medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2016
Anhängig
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01.06.2017
Etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2016
Anhängig
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01.06.2017
Etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.11.2016
Anhängig
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31.05.2017
Plasmaätzvorrichtung und Plasmaätzverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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26.05.2017
Liquid treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.11.2016
Anhängig
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26.05.2017
Methods of forming etch masks for sub-resolution substrate patterning
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.09.2016
Anhängig
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26.05.2017
Advanced optical sensor and method for plasma chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.11.2016
Anhängig
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26.05.2017
Etching method for a structure pattern layer having a first material and second material
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2016
Anhängig
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18.05.2017
Method of etching object to be processed
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.11.2016
Anhängig
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18.05.2017
Method of treating a microelectronic substrate using dilute tmah
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2016
Anhängig
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18.05.2017
Vaporizer, film forming apparatus, and temperature control method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.09.2016
Anhängig
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18.05.2017
Processing method in processing device that uses halogen-based gas
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.10.2016
Anhängig
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11.05.2017
Substrate treatment method and substrate treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.10.2016
Anhängig
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11.05.2017
Culture vessel carrier device
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 01.11.2016
Anhängig
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11.05.2017
Method of corner rounding and trimming of nanowires by microwave plasma
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 03.11.2016
Anhängig
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04.05.2017
Substrate processing method, substrate processing apparatus, substrate processing system and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2016
Anhängig
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03.05.2017
Anisotrope Ätzung von Kupfer mittels Passivierung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28