Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.255 gesamt| Patent | |||
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12.06.2025
Inspektionssystem, Inspektionsverfahren und Schalenstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
An inspection system includes: a joining device configured to join a substrate and a jig in a state in which a conductive part of the substrate and a contact part of the jig are brought into a contacted and conductive state, to form a shell structure from which an electrode of the jig is exposed; a conveying module connected to the joining device and configured to convey the shell structure formed by the joining device; a determination unit configured to determine whether a joining state of the shell structure formed by the joining device is normal or abnormal; and an inspection device connected to the conveying module and configured to inspect the substrate via the electrode of the jig of the shell structure determined to be normal by the determination unit. |
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12.06.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.12.2023
Anhängig
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12.06.2025
Layer By Layer Etch Process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2024
Anhängig
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12.06.2025
Methods of estimating line width and systems thereof
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.10.2024
Anhängig
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12.06.2025
Plasma process for etching a multilayer stack
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.09.2024
Anhängig
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12.06.2025
Torsional shear testing for semiconductor surface bonds
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.08.2024
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12.06.2025
Critical dimension uniformity tuning based on mask design feature density
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Selective non-plasma deposition of mask protection material
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 12.10.2024
Anhängig
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12.06.2025
Plasma processing apparatus and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 29.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.11.2024
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12.06.2025
Inspection system, inspection method, and shell structure
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.11.2024
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12.06.2025
Condition setting support method, storage medium, and condition setting support device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.11.2024
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05.06.2025
Methods of forming ferroelectric devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 12.10.2024
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05.06.2025
Reversible Overcoat Compositions
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.11.2024
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05.06.2025
Information processing method, computer program, and information processing device
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 21.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Substrate placement table, height position adjustment mechanism, and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Substrate processing device and connection assembly
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Film forming method and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Upper assembly and substrate treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
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05.06.2025
Substrate and substrate processing method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2024
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05.06.2025
Substrate processing method and substrate processing system
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Computer program, information processing method, and information processing device
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 02.09.2024
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04.06.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.06.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.06.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Quellenfrequenz von Hochfrequenter Elektrischer Quellenleistung
Elektronik & Schaltungstechnik
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30.05.2025
Computer program, information processing device, and information processing method
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Substrate treatment device, treatment container replacement method, substrate treatment method, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Etching method, etching device, and gas for forming protective film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Production method and production system for semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Substrate processing system, storage module, and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Monitoring system, monitoring method, monitoring device, and detection tape
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
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Status
Angemeldet am 11.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Processing apparatus and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Inspection method, inspection device, and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Monitoring method, monitoring device, and computer storage medium
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
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Status
Angemeldet am 11.11.2024
Anhängig
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30.05.2025
Optical Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.09.2024
Anhängig
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30.05.2025
Plasma processing with phase-locked waveforms
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.09.2024
Anhängig
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22.05.2025
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 06.11.2024
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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