Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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15.02.2018
Device inspection circuit, device inspection device, and probe card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2017
Anhängig
Zusammenfassung
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14.02.2018
Substratverarbeitungsverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.12.2011
Erteilt am 14.02.2018
Vertretung
Zusammenfassung
There is provided a substrate processing method capable of increasing an etching rate of a copper member without using a halogen gas. A Cu layer 40 having a smoothened surface 50 is obtained, and then, a processing gas produced by adding a methane gas to a hydrogen gas is introduced into an inner space of a processing chamber 15. Plasma is generated from this processing gas. In the inner space of the processing chamber 15, there exist oxygen radicals 52 generated when an oxide layer 42 is etched, and carbon radicals 53 generated from methane. The oxygen radicals 52 and the carbon radicals 53 are compounded to generate an organic acid, and the organic acid makes a reaction with copper atoms of the Cu layer 40. As a result, a complex of the organic acid having the copper atoms is generated, and the generated organic acid complex is vaporized. |
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08.02.2018
Method for processing subject to be processed
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 01.08.2017
Anhängig
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01.02.2018
Monolayer Film Mediated Precision Material Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2017
Anhängig
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01.02.2018
Method for forming tungsten film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.07.2017
Anhängig
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01.02.2018
Method for forming coating film, apparatus for forming coating film and computer-readable recording medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.06.2017
Anhängig
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01.02.2018
Etching method and etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2017
Anhängig
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25.01.2018
Three-dimensional semiconductor device and method of fabrication
Akustik, Musik & Datenspeicherung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.07.2017
Anhängig
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25.01.2018
Substrate processing device
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.06.2017
Anhängig
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18.01.2018
Method for rf power distribution in a multi-zone electrode array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.07.2017
Anhängig
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11.01.2018
Method for processing member to be processed
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 04.07.2017
Anhängig
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11.01.2018
Method for forming two-dimensional material
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2017
Anhängig
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04.01.2018
Vacuum processing device, vacuum processing method, and storage medium
Verpackungs- & Fördertechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.05.2017
Anhängig
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04.01.2018
Coating treatment device, coating treatment method and computer storage medium
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.06.2017
Anhängig
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04.01.2018
Substrate processing device, substrate processing method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.05.2017
Anhängig
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04.01.2018
Optical film forming method, computer storage medium and optical film forming device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2017
Anhängig
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04.01.2018
Substrate inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 20.04.2017
Anhängig
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04.01.2018
Film forming device, film forming method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2017
Anhängig
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04.01.2018
Substrate inspection apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 20.04.2017
Anhängig
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28.12.2017
Transfer device, transfer method, and inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2017
Anhängig
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28.12.2017
Substrate treatment method, readable computer recording medium, and substrate treatment system
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.06.2017
Anhängig
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28.12.2017
Method for treating workpiece
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.06.2017
Anhängig
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28.12.2017
Method for treating workpiece
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.06.2017
Anhängig
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21.12.2017
Substrate processing method and method for removing boron-added silicon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2017
Anhängig
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14.12.2017
Method for etching copper layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2017
Anhängig
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14.12.2017
Organic Mandrel Protection Process
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.05.2017
Anhängig
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07.12.2017
Matching device and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.05.2017
Anhängig
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07.12.2017
Etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2017
Anhängig
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07.12.2017
Method of selective silicon nitride etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.05.2017
Anhängig
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07.12.2017
Method of sidewall image transfer
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.05.2017
Anhängig
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07.12.2017
Method of silicon extraction using a hydrogen plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.05.2017
Anhängig
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07.12.2017
Dark field wafer nano-defect inspection system with a singular beam
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 31.05.2017
Anhängig
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30.11.2017
Method for processing object to be processed
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.05.2017
Anhängig
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30.11.2017
Method for patterning a substrate using a layer with multiple materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2017
Anhängig
Zusammenfassung
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30.11.2017
Atomic layer etching systems and methods
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2017
Anhängig
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23.11.2017
Etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2017
Anhängig
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23.11.2017
Etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.05.2017
Anhängig
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16.11.2017
Coating film forming device, coating film forming method, and storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.04.2017
Anhängig
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16.11.2017
Critical dimension control by use of photo-sensitized chemicals or photo-sensitized chemically amplified resist
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.05.2017
Anhängig
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16.11.2017
Critical dimension control by use of a photo agent
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.05.2017
Anhängig
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