Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
6.255 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
31.07.2025
Processing system and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.07.2025
Elektrostatischer Träger, Behandlungssystem und Behandlungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.03.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
Film formation post-processing method and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
Silicon oxide film modification method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
High aspect ratio carbon layer etch with improved throughput and process window
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.10.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
Oxidation based atomic layer etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
Computer program, information processing method, information processing device, and information processing system
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
Housing device, semiconductor manufacturing device, and cassette
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
Method for forming metal film, and device for forming metal film
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.07.2025
Semiconductor device manufacturing method and manufacturing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.07.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Substrate support with printed heater
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Methods for protecting a peripheral edge and backside of a semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.10.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Wafer bonding overlay measurement system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.09.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Method and system for plasma process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Sidewall metal contact integration through the direct etch of a merged source-and-drain contact
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Device fabrication methods with ion beam processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.09.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Hard mask removal method and hard mask removal device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Hard mask removing method and hard mask removing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Selective deposition on metal-containing mask using promoter
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.10.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Integrated optical nanothermometry for real-time wafer temperature monitoring during processing
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Sidewall metal contact formation through incorporation of a replacement metal contact integration for semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Balanced resonator source for plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.10.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Method and system for plasma process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Processing device and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Substrate processing device and processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Substrate processing method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Substrate processing system and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.07.2025
Etching method and plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.07.2025
Verfahren zur Herstellung einer Feuchtigkeitsbarriere auf Lichtempfindlichen Organometallischen Oxiden
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.07.2025
Correcting of design and mask shape position due to die and wafer distortion for bonding
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2025
Temperature-adjusting method for substrate support table and inspection apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2025
Plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2025
Substrate processing system and substrate processing method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2025
Substrate processing system and substrate processing method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2025
Etching method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.11.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2025
Processing method and processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2025
Processing system and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.301
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56