Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
15.04.2004	15.04.2004 Method of electroless plating WO2004031447 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.04.2004	15.04.2004 Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung WO2004032178 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.04.2004	15.04.2004 Verfahren und System zur Analyse von Plasmabehandlungsdaten WO2004032194 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.04.2004	15.04.2004 Apparatus and method for use of optical system with plasma proc essing system WO2004032177 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Method of electroless plating WO2004029328 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Verbesserte Abdeckung für einen Faltenbalg in einem Plasma-Bearbeitungssystem, und Verfahren zur Herstellung der Abdeckung WO2004030012 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Verbesserte Obere Plattenelektrode in einem Plasmareaktor und Verfahren zu deren Herstellung WO2004030011 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Verbesserte Abscheidungsabschirmung in einem Plasma-Bearbeitungssystem, und Verfahren zur Herstellung der Abschirmung WO2004030426 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen von Dielktrischen Materialien mit Grosser Dielektrizitätskonstanten WO2004030049 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Obere Elektrodenplatte mit Niederschlagsabschirmung in einer Plasmabearbeitungsvorrichtung WO2004030020 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Abschirmung eines Optischen Fensters in einer Plasmabehandlungsvorrichtung WO2004030014 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Leitblech in einem Plasmabehandlungssystem WO2004030013 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Method and apparatus for an improved baffle plate in a plasma processing system WO2004030015 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Substrate processing apparatus WO2004030066 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Substrate processing apparatus WO2004030063 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.04.2004	08.04.2004 Substrate processing apparatus WO2004030054 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2004	07.04.2004 Wafer-Verarbeitungsvorrichtung und Transfereinrichtungseinstellungssystem EP1406293 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.07.2002 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2004	01.04.2004 Electroless plating apparatus and electroless plating method WO2004027114 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2004	01.04.2004 Viewing window cleaning apparatus WO2004026096 Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2004	01.04.2004 Method and system for split-pair reception in twisted-pair communication systems WO2004027579 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2004	01.04.2004 Method for forming insulating film on substrate, method for manufacturing semiconductor device and substrate-processing apparatus WO2004027852 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2004	25.03.2004 Method for processing substrate WO2004024619 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2004	25.03.2004 Sharging method and charging system WO2004025534 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2004	25.03.2004 Processing device, and processing device maintenance method WO2004025199 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2004	25.03.2004 Rotation drive device and rotation drive method WO2004025820 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.03.2004	18.03.2004 Probing method and probe WO2004023548 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.03.2004	17.03.2004 Mikrowellen-Plasmaverarbeitungseinrichtung, Plasmaverarbeitungsverfahren und Mikrowellenstrahlungsglied EP1398826 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2002 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Verfahren zur Verbesserten Entfernung von Dielektrischen Materialien mit Hohem K WO2004021409 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Method of etching and etching apparatus WO2004021425 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Processing device, mounting table, processing method WO2004021422 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Substrate treating apparatus WO2004020692 Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Treating apparatus and method of treating WO2004021415 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Cleaning method for substrate-processing device and the device WO2004020693 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Substrate processing unit, method of detecting end point of cleaning of substrate processing unit, and method of detecting end point of substrate processing WO2004020695 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Substrate processor and method of cleaning the same WO2004020694 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2004	11.03.2004 Plasma processing method and plasma processing device WO2004021427 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2004	04.03.2004 Plasma processing device WO2004019397 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2004	04.03.2004 Artificial Auris Interna WO2004017879 Medizintechnik & Gesundheit	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2004	04.03.2004 Magnetron plasma-use magnetic field generation device WO2004019398 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2004	04.03.2004 Reduced Volume Reactor WO2004019368 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen