Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.250 gesamt| Patent | |||
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19.08.2004
Vacuum treating device with lidded treatment container
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2004
Anhängig
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18.08.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Wandfilmüberwachung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.08.2004
Plasma processor and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.01.2004
Anhängig
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05.08.2004
Method and apparatus for removing material from chamber and wafer surfaces by high temperature hydrogen-containing plasma
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.01.2004
Anhängig
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05.08.2004
Substrate processing device
Verpackungs- & Fördertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 13.01.2004
Anhängig
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29.07.2004
Cooled Deposition Baffle in High Density Plasma Semiconductor Processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.01.2004
Anhängig
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22.07.2004
Method and device for plasma-etching organic material film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.12.2003
Anhängig
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22.07.2004
Method and apparatus for determining consumable lifetime
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.12.2003
Anhängig
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22.07.2004
Verfahren und Vorrichtung für Zweischichten-Photolack Trockenentwicklung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2003
Anhängig
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22.07.2004
Monitoring erosion of system components by optical emission
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.12.2003
Anhängig
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22.07.2004
Monitoring material buildup on system components by optical emission
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.12.2003
Anhängig
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15.07.2004
Method, apparatus and magnet assembly for enhancing and localizing a capacitively coupled plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2003
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01.07.2004
Processing method and device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2003
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01.07.2004
Method for forming film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.12.2003
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23.06.2004
Halbleiterbauelement und Verfahren zu Seiner Herstellung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.06.2004
Method and apparatus for reducing substrate charging damage
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.11.2003
Anhängig
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16.06.2004
System und Verfahren zum Durchführen einer Halbleiterverarbeitung an einem Gerade Verarbeiteten Substrat
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2002
Anhängig
Vertretung
Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart
Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart
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16.06.2004
Transportwerkzeug für ein zu Prüfendes Objekt und Transportsystem für ein zu Prüfendes Objekt
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2002
Anhängig
Vertretung
Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart
Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart
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16.06.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung eines Organosiloxanfilms
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.08.2002
Anhängig
Vertretung
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10.06.2004
Method for cleaning substrate processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2003
Anhängig
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10.06.2004
Wafer processing system, coating/developing apparatus, and wafer processing apparatus
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2003
Anhängig
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10.06.2004
Plasma processing method and apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2003
Anhängig
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10.06.2004
Plasma processing apparatus and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2003
Anhängig
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10.06.2004
Plasmabehandlungssystem und -Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 24.11.2003
Anhängig
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09.06.2004
Kapazitätsmess-Schaltung, Kapazitätsmessinstrument und Mikrofoneinrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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03.06.2004
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2003
Anhängig
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03.06.2004
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2003
Anhängig
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03.06.2004
Insulation film formation device
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2003
Anhängig
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26.05.2004
Gasbehandlungsvorrichtung und Gasbehandlungsverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.08.2002
Anhängig
Vertretung
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26.05.2004
Datenverarbeitungssystem
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 08.05.2002
Anhängig
Vertretung
Liesegang, Roland · München
Liesegang, Roland · München
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21.05.2004
Method and apparatus for determining an etch property using an endpoint signal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2003
Anhängig
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21.05.2004
Method and apparatus for detecting endpoint
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2003
Anhängig
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13.05.2004
Process monitor and system for producing semiconductor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.09.2003
Anhängig
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13.05.2004
System for managing worker, unit for managing worker, and method for managing worker
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 29.10.2003
Anhängig
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29.04.2004
Liquid processing device
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.10.2003
Anhängig
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29.04.2004
Method of forming dielectric film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2003
Anhängig
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28.04.2004
Wärmebehandlungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.04.2004
Method of forming wiring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.06.2003
Anhängig
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22.04.2004
Liquid treatment apparatus and method of liquid treatment
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 04.06.2003
Anhängig
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22.04.2004
Plasma Processing Apparatus, Processing Vessel Used in Plasma Processing Apparatus, Dielectric Plate Used in Plasma Processing Apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.10.2003
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.299
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56