Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
03.03.2004	03.03.2004 Apparat zur Verbesserung der Verteilung und Leistung eines Induktiv Gekoppelten Plasmas EP1166324 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2000 Erteilt am 03.03.2004 Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2004	26.02.2004 Method for manufacturing nonradiative dielectric waveguide and nonradiative dielectric waveguide WO2004017455 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2004	26.02.2004 Method for manufacturing semiconductor device WO2004017397 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2004	26.02.2004 Plasma processing device WO2004017684 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2004	26.02.2004 Method of forming insulation film on semiconductor substrate WO2004017396 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.02.2004	25.02.2004 Elektrischer Leiter und Kabel mit einer Beschichtung aus einer Polyvinylchloridharzzusammensetzung EP1391896 Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2002 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.02.2004	12.02.2004 Etching method WO2004013905 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.02.2004	05.02.2004 Substrate Processing Container WO2004012259 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.02.2004	05.02.2004 Method for forming insulating layer WO2004012252 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.02.2004	05.02.2004 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2004012251 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.02.2004	05.02.2004 Reduced Volume, High Conductance Process Chamber WO2004012229 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.01.2004	29.01.2004 Plasma processing device and controlling method therefor WO2004010746 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.01.2004	29.01.2004 Method and system for electron density measurement WO2004010151 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.01.2004	28.01.2004 Ionisierte Physikalische Dampfphasenabscheidung mit Aufeinanderfolgender Abscheidung und Ätzung EP1384257 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2002 Anhängig Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.01.2004	22.01.2004 Film forming apparatus WO2004007797 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.01.2004	22.01.2004 Method of forming film and film forming apparatus WO2004008516 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.01.2004	22.01.2004 Film forming method and film forming apparatus WO2004008518 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.01.2004	22.01.2004 Method for forming oxide film and electronic device material WO2004008519 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 Method of cleaning substrate treatment apparatus WO2004006317 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 Method of cleaning substrate-processing device and substrate-processing device WO2004006316 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 Processing device and processing method WO2004006318 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 Verfahren und Vorrichtung für Nicht-Invasive Messung und Analyse von Plasma Kennwerten WO2004006285 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 Method of oxidizing member to be treated WO2004006322 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 Plasma processing apparatus WO2004006320 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 Method and apparatus for non-invasive measurement and analys of semiconductor plasma parameters WO2004006284 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2004	15.01.2004 System zur Nicht-Invasiven Messung und Analyse von Halbleiter-Prozessparametern WO2004006298	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2004	14.01.2004 Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Chargen und Methode zu deren Regelung EP1189261 Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.09.2001 Anhängig Vertretung De Hoop, Eric · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2004	14.01.2004 Ultraviolettstrahlenunterstützte Verarbeitungseinrichtung für die Halbleiterverarbeitung EP1381078 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2002 Anhängig Vertretung Grosse, Rainer · Stuttgart Grosse, Rainer · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2004	08.01.2004 Semiconductor producing apparatus WO2004003984 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2004	08.01.2004 Method and system for predicting process performance using material processing tool and sensor data WO2004003969 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2004	08.01.2004 Method and system for arc suppression in a plasma processing system WO2004003968 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2004	08.01.2004 Plasma processing method WO2004003988 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2004	08.01.2004 Anisotropic dry etching of cu-containing layers WO2004003256 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2004	08.01.2004 Controlling a material processing tool and performance data WO2004003822 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2004	02.01.2004 Plasmaverarbeitungseinrichtung EP1376670 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2002 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.12.2003	31.12.2003 Method for manufacturing semiconductor device WO2004001833 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.12.2003	31.12.2003 Magnetron plasma processing apparatus WO2004001831 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.12.2003	31.12.2003 Substrate processing device WO2004001830 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.12.2003	18.12.2003 Substrate processing device, substrate processing method, and developing device WO03105201 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.12.2003	18.12.2003 Processing device and processing method WO03104524 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.06.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen