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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.250 gesamt
Patent
10.04.2003
Plasma processing apparatus
WO03030241
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2003
Matching device and plasma processing apparatus
WO03030294
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
10.04.2003
Etching method
WO03030237
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2003
Processing method
WO03030238
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2003
Plasmaverarbeitungseinrichtung
EP1300876
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
09.04.2003
Plasmaverarbeitungseinrichtung
EP1300875
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2003
Plasmaverarbeitungseinrichtung
EP1300877
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
03.04.2003
Etching method
WO03028082
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2003
Plasma processing device
WO03028078
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2003
Method of processing quartz member for plasma processing device, quartz member for plasma processing device, and plasma processing device having quartz member for plasma processing device mounted thereon
WO03028083
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2003
Plasmabehandlungsvorrichtung Beinhaltend einem Magnetspulensystem
WO03025971
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2003
Verfahren zur Herstellung einer Dünner Schicht und Vorrichtung dafür
EP1296364
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2003
Method for etching object to be processed
WO03021652
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2003
Substrate treating device and substrate treating method
WO03021657
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2003
Apparatus and method for plasma processing
WO03021002
Metallurgie & Oberflächentechnik
13.03.2003
Facility Monitor
WO03021569
Software & Datenverarbeitung Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
12.03.2003
Inspektionssystem für Halbleiterbauelemente
EP1290726
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2003
Treating device using treating gas, and method of operating the same
WO03019639
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
06.03.2003
Production method and production device for semiconductor device
WO03019636
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2003
Method and apparatus for forming film
WO03019645
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2003
Semiconductor processing system
WO03019648
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2003
Dry developing method
WO03017343
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2003
Base material treating method and electron device-use material
WO03015151
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2003
Treating device and cleaning method therefor
WO03014413
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
19.02.2003
Halbleiterbauelement mit einem Film mit Niedriger Dielektrizität und Herstellungsverfahren dafür
EP1284015
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2003
Temperaturregelung der Wand einer Plasmakammer
WO03012567
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2003
Semiconductor production apparatus monitoring method and control method
WO03012847
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2003
Processing apparatus and processing method
WO03010800
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2003
Production method for semiconductor device
WO03010814
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2003
Method and device for development
WO03010801
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2003
Method and apparatus for monitoring the condition of plasma equipment
WO03010517
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.02.2003
Halbleiterherstellungssystem und Steuerverfahren dafür
EP1281195
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2003
Hochselektives Ätzverfahren für einen Selbstjustierten Kontakt
EP1281193
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2003
Plasma processor and plasma processing method
WO03009363
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2003
Method of forming via metal layer and via metal layer- formed substrate
WO03007366
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2003
Method for producing semiconductor substrate and semiconductor substrate
WO03007382
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2003
Feed-through manufacturing method and feed-through
WO03007430
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2003
Dry etching method
WO03007357
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2003
Verfahren zur Abscheidung einer Metallschicht und Mehrkammerreaktor mit einem Superkritischen Trocknungs-/reinigungsmodul zur Metallabscheidung
EP1277233
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2003
Coating device and coating method
WO03005424
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
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454
Optik & Fototechnik
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290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56

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