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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.250 gesamt
Patent
23.07.2003
Schnelles Siliziumätzverfahren
EP1329948
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2003
Plasma treatment method
WO03058700
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2003
Method of detecting, identifying and correcting process performance
WO03058687
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2003
Method of fault detection for material process system
WO03058699
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
17.07.2003
Semiconductor processing system and semiconductor carrying mechanism
WO03058707
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2003
Substrate treating method and production method for semiconductor device
WO03056622
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2003
Etching method and plasma etching device
WO03056617
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2003
Processed body carrying device, and processing system with carrying device
WO03056624
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2003
Substrate treatment method and substrate treatment apparatus
WO03056610
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2003
Verfahren zur Filmausbildung eines Gate-Isolators, Vorrichtung zur Filmausbildung eines Gate-Isolators und Cluster-Tool
EP1326271
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2003
Substrate processing method and substrate processing apparatus
WO03054949
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2003
Plasma treatment apparatus, matching box, impedance matching device, and coupler
WO03054940
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2003
Plasma treatment apparatus and control method thereof
WO03054941
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2003
High-frequency power source and its control method, and plasma processor
WO03055286
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.07.2003
Ring mechanism, and plasma processing device using the ring mechanism
WO03054947
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2003
Plasma process apparatus
WO03054911
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2003
Method and apparatus comprising a magnetic filter for plasma processing a workpiece
WO03054912
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2003
Substrate treating method
WO03052810
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2003
Plasma treatment apparatus and plasma generation method
WO03052806
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2003
Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren
EP1320884
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2003
Plasma etching method
WO03050862
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2003
Verfahren und Vorrichtung zum Entfernen von Harmonischen in Halbleiter-Plasmabearbeitungssystemen
WO03050842
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2003
Plasma etching method and plasma etching device
WO03049169
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2003
Plasma processing device
WO03049170
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2003
Exhaust ring mechanism, and plasma treatment device using the exhaust ring mechanism
WO03049171
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2003
Plasma processing system
WO03046959
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2003
Processing device, and gas discharge suppressing member
WO03046969
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2003
Radialantenne und Plasmaverarbeitungsvorrichtung damit
EP1315201
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
22.05.2003
Substrate inspecting device, coating/developing device and substrate inspecting method
WO03043064
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2003
Etching method and plasma etcher
WO03043072
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2003
Anodic oxidizer, anodic oxidation method
WO03041147
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2003
Entfernung von Photoresist und Photoresistrückständen auf Halbleitern durch ein Überkritisches Kohlendioxid-Verfahren
EP1309990
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
08.05.2003
Man-machine interface for monitoring and controlling a process
WO03038729
Software & Datenverarbeitung
07.05.2003
Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von Substraten
EP1308992
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2003
Method and apparatus for electron density measurement
WO03036309
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.05.2003
Microwave plasma substrate processing device
WO03036708
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2003
Hochdrucksbehandlungskammer für Halbleiterscheiben
EP1303870
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2003
Plasma processor and plasma processing method
WO03030235
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2003
Electromagnetic field supply device and plasma processing device
WO03030236
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
10.04.2003
Hybrid plasma processing apparatus
WO03029513
Metallurgie & Oberflächentechnik

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141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
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56

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