Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.250 gesamt| Patent | |||
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16.01.2003
Substrate processing apparatus
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.07.2002
Anhängig
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16.01.2003
Processing system and cleaning method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.07.2002
Anhängig
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16.01.2003
Plasma pump with inter-stage plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.07.2002
Anhängig
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09.01.2003
Chamber sensor port, chamber, and electron beam processor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Method of predicting processed results and processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 25.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Directed gas injection apparatus for semiconductor processing
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Angemeldet am 20.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Directed gas injection apparatus for semiconductor processing
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.06.2002
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08.01.2003
Damascene-Verdrahtungsausbildungseinrichtung und Damascene-Verdrahtungsausbildungsverfahren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.01.2003
Dry-etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2002
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03.01.2003
Substrate treating device and substrate treating method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 24.06.2002
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27.12.2002
Substrate table, production method therefor and plasma treating device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.05.2002
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27.12.2002
Dry-etcching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.06.2002
Anhängig
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27.12.2002
Wafer Supporter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 12.06.2002
Anhängig
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27.12.2002
Ionenmomentübertragungs Plasmapumpe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 21.05.2002
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19.12.2002
Method of and apparatus for tailoring an etch profile
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 06.06.2002
Anhängig
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19.12.2002
Apparatus and method for determining clamping status of semiconductor wafer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2002
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12.12.2002
Wafervorspannungstreiber für Plasma Quelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2001
Anhängig
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11.12.2002
Verfahren und Vorrichtung zur Dämpfung der Harmonischen Oberschwingungen in einer Plasma-Behandlungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.02.2001
Anhängig
Vertretung
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05.12.2002
Plasma treatment container internal member, and plasma treatment device having the plasma treatment container internal member
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2002
Anhängig
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05.12.2002
Inductively Coupled High-Density Plasma Source
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2002
Anhängig
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05.12.2002
Plasma processing apparatus and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2002
Anhängig
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21.11.2002
Cylinder-based plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.05.2002
Anhängig
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21.11.2002
Plasma Processor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.05.2002
Anhängig
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07.11.2002
Remote maintenance system and remote maintenance method for semiconductor manufacturing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2002
Anhängig
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07.11.2002
System and method for scheduling the movement of wafers in a wafer-processing tool
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.04.2002
Anhängig
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31.10.2002
Apparat zur Verbesserung der Verteilung und Leistung eines Induktiv Gekoppelten Plasmas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.04.2002
Anhängig
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31.10.2002
Dry etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.02.2002
Anhängig
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23.10.2002
Automatisch geführtes Fahrzeug, System dafür und Waferführungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.10.2002
Semiconductor production system, cluster tool, control method of semiconductor production system and maintenance method of cluster tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2002
Anhängig
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03.10.2002
Plasma processor and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2002
Anhängig
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03.10.2002
Method and apparatus for endpoint detection using partial least squares
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.03.2002
Anhängig
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26.09.2002
Method of fabricating oxides with low defect densities
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2001
Anhängig
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26.09.2002
Temperature measuring method and apparatus and semiconductor heat treatment apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.03.2002
Anhängig
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26.09.2002
Verfahren und Vorrichtung zur Wärmeleitung von einem Substrat zu einem Substrathalter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2002
Anhängig
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26.09.2002
Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen Dünner Schichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2002
Anhängig
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26.09.2002
Impedance monitoring system and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2002
Anhängig
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25.09.2002
Verfahren und Vorrichtungen zur Überkritischen Verarbeitung von Werkstücken
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.09.2002
Cleaning method for substrate treatment device and substrate treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.03.2002
Anhängig
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19.09.2002
Plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2002
Anhängig
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12.09.2002
Fluid treatment system
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 27.02.2002
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.299
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56