Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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377 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
27.02.2008	27.02.2008 Vernichtung eines Geladenen Strahls und Partikelattraktor EP1891659 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2006 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Strahlunterbrechungs- und Strahleinstellungsverfahren EP1891657 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2006 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.02.2008	20.02.2008 Unltraviolet-Aushärtprozess für in Vormetall- Und/oder Seichtgraben-Isolationsanwendungen Verwendete Dielektrische Aufschleudermaterialien EP1889287 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.06.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.02.2008	06.02.2008 Zweidimensionales Stationäres Strahlprofil und Winkelabbildung EP1883946 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2007	19.12.2007 Befestigungsvorrichtung für eine Plasma-Extraktionsblende EP1581962 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.01.2004 Erteilt am 19.12.2007 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2007	05.12.2007 Aktiv gekühlte Verteilungsplatte zur Temperaturreduzierung der reaktiven Gase in einem Plasmabehandlungssystem EP1150330 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2001 Erteilt am 05.12.2007 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2007	29.11.2007 New and improved ion source WO2007136722 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Dose Uniformity Correction Technique WO2007127084 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2007	17.10.2007 Verfahren und Vorrichtung zur Mikrowellenanregung eines Plasmas in einer Ionenstrahlführungsvorrichtung EP1176624 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2001 Erteilt am 17.10.2007 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2007	04.10.2007 A method of ion beam control for glitch recovery WO2007111822	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2007	26.09.2007 Steuerverfahren für Ionenstrahlabtastung und Systeme zur Ionenimplantation EP1836717 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.01.2006 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.09.2007	20.09.2007 Arc Quenching Circuit To Mitigate Ion Beam Disruption WO2007106395 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.09.2007	05.09.2007 Optimierung der Strahlauslastung EP1829091 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.08.2007	22.08.2007 Verfahren zur Korrektur für Waferkristallschnittfehler bei der Halbleiterverarbeitung EP1820201 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2007	01.08.2007 Ultraviolettunterstützte Porenversiegelung von Porösen Dielektrischen Filmen mit Niedrigem K EP1812962 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2007	25.07.2007 Verbesserte Dosierungsuniformität für eine Gescannte Ionenimplantation EP1810311 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.07.2007	11.07.2007 Systeme und Verfahren zur Ionenstrahlfokussierung EP1805778 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.10.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2007	14.06.2007 Ion implanter with ionization chamber electrode design WO2007067605	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2007	13.06.2007 Ionenimplantierung mit Geregelter Dosierung EP1794774 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.09.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2007	13.06.2007 Verbesserte Verwendung eines Ionenstrahls für eine Gescannte Ionenimplantation EP1794775 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.09.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2007	07.06.2007 Beam Current Stabilization Utilizing Gas Feed Control Loop WO2007064507 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.05.2007	30.05.2007 Elektrodenlose Lampe zur Emission von Uv- Und/oder Vakuum-Uv-Strahlung EP1789991 Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.09.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2007	23.05.2007 Verfahren zur Herstellung einer Elektrostatischen Mems-Einspannvorrichtung EP1678752 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2004 Erteilt am 23.05.2007 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2007	16.05.2007 Plasmaveraschungsverfahren zur Erhöhung der Photoresist-Entfernungsrate und Plasmavorrichtung mit Kühleinrichtungen EP1784690 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Ionenstrahlmesssysteme und Verfahren zur Kontrolle der Ionenimplantationsdosierung und der Gleichförmigkeit EP1779404 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.04.2007	25.04.2007 Kontakt-Temperatursensor mit thermischer Entkopplung zwischen Sensorkopf und Hitzeschild der elektrischen Zuleitungen EP1026489 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2000 Erteilt am 25.04.2007 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.03.2007	28.03.2007 Ionenstrahl-Abtastsysteme und Verfahren für Verbesserte Gleichförmigkeit der Ionenimplantation EP1766654 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.03.2007	28.03.2007 Vorrichtung und Verfahren zum Messen des Strahlwinkels und der Normal-Eben-Divergenz von Gescanntem Strahl oder Bandstrahl EP1766655 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Arbeitsstück-Verarbeitungssystem EP1735822 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2006	21.12.2006 Ultraviolet assisted propgen removal and/or curing processes for forming porous low k dielectrics WO2006135369 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2006	20.12.2006 Wafer-Abtastsystem mit Wendeldrehbewegung unter Verwendung von Federn und Gegengewichten EP1733419 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2006	20.12.2006 Pendelantriebssystem zum Abtasten eines Arbeitsstücks EP1733465 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2006	06.12.2006 In-Situ-Überwachung auf einer Drehscheiben-Ionenimplantierungsvorrichtung EP1728262 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2006	23.11.2006 System and methods for ion beam containment using localized electrostatic fields in an ion beam passageway WO2006124075 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2006	22.11.2006 Halterungssystem Einsetzbar über einen Breiten Temperaturbereich EP1623452 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2004 Erteilt am 22.11.2006 Vertretung Heuckeroth, Volker · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.11.2006	16.11.2006 Mechanical oscillator for wafer scan with spot beam WO2006121431 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2006	15.11.2006 Modulieren des Ionenstrahlstroms EP1721329 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.02.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.09.2006	14.09.2006 High Conductance Ion Source WO2006096618 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2006	27.07.2006 In-Situ Cleaning Of Beam Defining Apertures in an Ion Implanter WO2006078526 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.01.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.06.2006	28.06.2006 Elektrostatische Einspannvorrichtung mit Kontaktleitfähigkeit auf Mems-Basis EP1673803 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.10.2004 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen