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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
27.02.2020
Method and apparatus for modulating film uniformity
WO2020041138
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2020
Metal-containing passivation for high aspect ratio etch
WO2020041213
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2020
Method for etching an etch layer
WO2020040912
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
27.02.2020
Ceramic baseplate with channels having non-square corners
WO2020041091
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2020
Conformal damage-free encapsulation of chalcogenide materials
WO2020041508
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2020
Vapor delivery head for preventing stiction of high aspect ratio structures and/or repairing high aspect ratio structures
WO2020041441
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2020
Rf Power Compensation To Reduce Deposition Or Etch Rate Changes in Response To Substrate Bulk Resistivity Variations
WO2020036801
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2020
Symmetric Precursor Delivery
WO2020037005
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2020
Modification of sno2 surface for euv lithography
WO2020036899
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2020
Direct Frequency Tuning For Matchless Plasma Source in Substrate Processing Systems
WO2020036803
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2020
Etchant Composition
WO2020035563
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2020
Hybrid flow metrology for improved chamber matching
WO2020033188
Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.02.2020
Method to increase the deposition rate of ald process
WO2020033172
Metallurgie & Oberflächentechnik
13.02.2020
WO2020033602
WO2020033602
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2020
Progressive heating of components of substrate processing systems using tcr element-based heaters
WO2020033305
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2020
Controlling Showerhead Heating Via Resistive Thermal Measurements
WO2020033304
Metallurgie & Oberflächentechnik
13.02.2020
Pre-Treatment Method To Improve Selectivity in A Selective Deposition Process
WO2020033171
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2020
Chemical vapor deposition tool for preventing or suppressing arcing
WO2020033122
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Compensating chamber and process effects to improve critical dimension variation for trim process
WO2020028492
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Preventing Deposition On Pedestal in Semiconductor Substrate Processing
WO2020028145
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Non-selective and selective etching through alternating layers of materials
WO2020028119
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Rf tuning systems including tuning circuits having impedances for setting and adjusting parameters of electrodes in electrostatic chucks
WO2020028347
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
System and method for chemical and heated wetting of substrates prior to metal plating
WO2020028012
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Honeycomb injector with dielectric window for substrate processing systems
WO2020028256
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Multi-Layer Feature Fill
WO2020028587
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Determining Tilt Angle in Patterned Arrays Of High Aspect Ratio Structures
WO2020028412
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.01.2020
Remote plasma based deposition of silicon carbide films using silicon-containing and carbon-containing precursors
WO2020023378
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Surface coating for plasma processing chamber components
WO2020023302
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Magnetic shielding for plasma sources
WO2020023784
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Conformal deposition of silicon carbide films using heterogeneous precursor interaction
WO2020023385
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Substrate support temperature sensing systems and methods
WO2020023295
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Dual gas feed showerhead for deposition
WO2020023283
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.01.2020
Compact High Density Plasma Source
WO2020023874
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Deposition of pure metal films
WO2020023790
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Alternative integration for redistribution layer process
WO2020023907
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Maintenance mode power supply system
WO2020023780
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Method for controlling core critical dimension variation using flash trim sequence
WO2020023270
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2020
Remote plasma based deposition of boron nitride, boron carbide, and boron carbonitride films
WO2020018796
Metallurgie & Oberflächentechnik
23.01.2020
Real-Time Control Of Temperature in A Plasma Chamber
WO2020018683
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2020
Gas distributor and flow verifier
WO2020018850
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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Elektronik & Schaltungstechnik
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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
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105
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50
Elektrische Energietechnik
44
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42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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