Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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23.01.2020
Selectively etching for nanowires
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.07.2019
Anhängig
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23.01.2020
Three or more states for achieving high aspect ratio dielectric etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.07.2019
Anhängig
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16.01.2020
Monoenergetic ion generation for controlled etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.07.2019
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16.01.2020
Radio frequency (rf) signal source supplying rf plasma generator and remote plasma generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 08.07.2019
Anhängig
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16.01.2020
Dielectric gapfill using atomic layer deposition (ald), inhibitor plasma and etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.07.2019
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16.01.2020
Method and apparatus for synchronized pressure regulation of separated anode chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 11.07.2019
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09.01.2020
Dynamic temperature control of substrate support in substrate processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 02.07.2019
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09.01.2020
Method for conditioning a ceramic coating
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 01.07.2019
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09.01.2020
Surface modified depth controlled deposition for plasma based deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 21.06.2019
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02.01.2020
Method and apparatus for processing wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 06.06.2019
Anhängig
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02.01.2020
Improving azimuthal critical dimension non-uniformity for double patterning process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 25.06.2019
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02.01.2020
Deposition tool and method for depositing metal oxide films on organic materials
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.06.2019
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02.01.2020
Oxidative Conversion in Atomic Layer Deposition Processes
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.06.2019
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02.01.2020
Selective growth of metal-containing hardmask thin films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.06.2019
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02.01.2020
Selective Atomic Layer Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 05.06.2019
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02.01.2020
Zincating and doping of metal liner for liner passivation and adhesion improvement
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.06.2019
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01.01.2020
Vorrichtung zur Gepulsten Laserabscheidung und ein Substrat mit einer Substratoberfläche zur Reduzierung von Partikeln auf dem Substrat
Metallurgie & Oberflächentechnik
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26.12.2019
Active control of radial etch uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.06.2019
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26.12.2019
Temperature control systems and methods for removing metal oxide films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.06.2019
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26.12.2019
Model-based control of substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.06.2019
Anhängig
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26.12.2019
Reduced Footprint Wafer Handling Platform
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.06.2019
Anhängig
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19.12.2019
Substrate processing chamber with showerhead having cooled faceplate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2019
Anhängig
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19.12.2019
Anodic aluminum oxide as hard mask for plasma etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2019
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19.12.2019
Cleaning system for removing deposits from pump in an exhaust of a substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 14.06.2019
Anhängig
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19.12.2019
Efficient cleaning and etching of high aspect ratio structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2019
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19.12.2019
Chemical vapor deposition shower head for uniform gas distribution
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 29.05.2019
Anhängig
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18.12.2019
Versiegelte Si-Elektroden mit Elastomerbindung und Dergleichen für Verminderte Partikelkontamination bei der Dielektrischen Ätzung und Verfahren zur Herstellung Dieser Elektroden
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.12.2019
Metal liner passivation and adhesion enhancement by zinc doping
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.05.2019
Anhängig
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12.12.2019
Reduction of diffusion across film interfaces
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2019
Anhängig
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12.12.2019
Method for transferring a pattern from an organic mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2019
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05.12.2019
High flow multi-way piston valve for deposition systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2019
Anhängig
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05.12.2019
Image based plasma sheath profile detection on plasma processing tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.05.2019
Anhängig
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28.11.2019
Via Prefill in A Fully Aligned Via
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2019
Anhängig
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28.11.2019
Apparatus with optical cavity for determining process rate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.05.2019
Anhängig
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28.11.2019
Thermal atomic layer etch with rapid temperature cycling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.05.2019
Anhängig
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28.11.2019
Heater Fault Determination During Processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 16.05.2019
Anhängig
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21.11.2019
Electrostatic chuck filter box and mounting bracket
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 10.05.2019
Anhängig
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21.11.2019
Showerhead with air-gapped plenums and overhead isolation gas distributor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.05.2019
Anhängig
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14.11.2019
Etch-stop layer deposition for enhanced patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.05.2019
Anhängig
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14.11.2019
Configurable Distributed-Interlock-System
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.05.2019
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31