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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
07.05.2020
Electrodeposition of nanotwinned copper structures
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2020
Substrate state detection for plasma processing tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2020
Verfahren für Selbstbildende Barriere
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2020
Self-aligned vertical integration of three-terminal memory devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
Doped or undoped silicon carbide deposition and remote hydrogen plasma exposure for gapfill
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
Lower plasma exclusion zone ring for bevel etcher
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
23.04.2020
Method of depositing silicon nitride films
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
In situ protective coating of chamber components for semiconductor processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
Plasma enhanced wafer soak for thin film deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2020
Showerhead faceplate having flow apertures configured for hollow cathode discharge suppression
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2020
Continuous plasma for film deposition and surface treatment
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2020
Rf Antenna Producing A Uniform Near-Field Poynting Vector
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2020
Method for selective deposition using a base-catalyzed inhibitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2020
Reflectometer To Monitor Substrate Movement
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
09.04.2020
Friction stir welding for ceramic applications
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
09.04.2020
Apparatus for an inert anode plating cell
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2020
Selectively etching for nanowires
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2020
Ceramic foam for helium light-up suppression
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
09.04.2020
Plasma Processing Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2020
Removing metal contamination from surfaces of a processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
09.04.2020
Gas mixture including hydrogen fluoride, alcohol and an additive for preventing stiction of and/or repairing high aspect ratio structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2020
Systems and methods for optimizing power delivery to an electrode of a plasma chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2020
Asymmetric Wafer Bow Compensation
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2020
Multiplexed high tcr based ampoule heaters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2020
Vacuum Pump Protection Against Deposition Byproduct Buildup
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2020
Dual Frequency Silane-Based Silicon Dioxide Deposition To Minimize Film Instability
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
Etching metal-oxide and protecting chamber components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
26.03.2020
Low-k ald gap-fill methods and material
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
Method for conditioning a plasma processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2020
Method and apparatus for measuring particles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2020
Vacuum robot positioning system with reduced sensitivity to chamber pressure
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2020
Film stack simplification for high aspect ratio patterning and vertical scaling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2020
Atomic layer treatment process using metastable activated radical species
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2020
Modular recipe controlled calibration (mrcc) apparatus used to balance plasma in multiple station system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
12.03.2020
Software emulator for hardware components in a gas delivery system of substrate processing system
12.03.2020
Two-stage pin lifter for dechuck operations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2020
Entwurfslayoutmusternäherungskorrektur durch Kantenplazierungsfehlervorhersage
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2020
Confinement ring with extended life
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2020
Method and apparatus for providing station to station uniformity
Metallurgie & Oberflächentechnik

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