Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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07.05.2020
Electrodeposition of nanotwinned copper structures
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2019
Anhängig
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07.05.2020
Substrate state detection for plasma processing tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.10.2019
Anhängig
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06.05.2020
Verfahren für Selbstbildende Barriere
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2018
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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30.04.2020
Self-aligned vertical integration of three-terminal memory devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.10.2019
Anhängig
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23.04.2020
Doped or undoped silicon carbide deposition and remote hydrogen plasma exposure for gapfill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.10.2019
Anhängig
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23.04.2020
Lower plasma exclusion zone ring for bevel etcher
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.10.2019
Anhängig
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23.04.2020
Method of depositing silicon nitride films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.10.2019
Anhängig
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23.04.2020
In situ protective coating of chamber components for semiconductor processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.10.2019
Anhängig
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23.04.2020
Plasma enhanced wafer soak for thin film deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2019
Anhängig
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16.04.2020
Showerhead faceplate having flow apertures configured for hollow cathode discharge suppression
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.10.2019
Anhängig
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16.04.2020
Continuous plasma for film deposition and surface treatment
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.10.2019
Anhängig
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16.04.2020
Rf Antenna Producing A Uniform Near-Field Poynting Vector
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.08.2019
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09.04.2020
Method for selective deposition using a base-catalyzed inhibitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2019
Anhängig
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09.04.2020
Reflectometer To Monitor Substrate Movement
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 13.09.2019
Anhängig
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09.04.2020
Friction stir welding for ceramic applications
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 17.09.2019
Anhängig
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09.04.2020
Apparatus for an inert anode plating cell
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2019
Anhängig
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09.04.2020
Selectively etching for nanowires
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2019
Anhängig
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09.04.2020
Ceramic foam for helium light-up suppression
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 08.08.2019
Anhängig
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09.04.2020
Plasma Processing Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2019
Anhängig
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09.04.2020
Removing metal contamination from surfaces of a processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 03.10.2019
Anhängig
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09.04.2020
Gas mixture including hydrogen fluoride, alcohol and an additive for preventing stiction of and/or repairing high aspect ratio structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2019
Anhängig
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02.04.2020
Systems and methods for optimizing power delivery to an electrode of a plasma chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.09.2018
Anhängig
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02.04.2020
Asymmetric Wafer Bow Compensation
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.11.2018
Anhängig
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02.04.2020
Multiplexed high tcr based ampoule heaters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.09.2019
Anhängig
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02.04.2020
Vacuum Pump Protection Against Deposition Byproduct Buildup
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2019
Anhängig
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02.04.2020
Dual Frequency Silane-Based Silicon Dioxide Deposition To Minimize Film Instability
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2019
Anhängig
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26.03.2020
Etching metal-oxide and protecting chamber components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.09.2019
Anhängig
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26.03.2020
Low-k ald gap-fill methods and material
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2019
Anhängig
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26.03.2020
Method for conditioning a plasma processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.09.2019
Anhängig
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26.03.2020
Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.09.2019
Anhängig
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19.03.2020
Method and apparatus for measuring particles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.09.2019
Anhängig
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19.03.2020
Vacuum robot positioning system with reduced sensitivity to chamber pressure
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2019
Anhängig
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19.03.2020
Film stack simplification for high aspect ratio patterning and vertical scaling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2019
Anhängig
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19.03.2020
Atomic layer treatment process using metastable activated radical species
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.08.2019
Anhängig
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12.03.2020
Modular recipe controlled calibration (mrcc) apparatus used to balance plasma in multiple station system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.08.2019
Anhängig
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12.03.2020
Software emulator for hardware components in a gas delivery system of substrate processing system
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Status
Angemeldet am 30.08.2019
Anhängig
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12.03.2020
Two-stage pin lifter for dechuck operations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.08.2019
Anhängig
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11.03.2020
Entwurfslayoutmusternäherungskorrektur durch Kantenplazierungsfehlervorhersage
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.04.2018
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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05.03.2020
Confinement ring with extended life
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2019
Anhängig
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05.03.2020
Method and apparatus for providing station to station uniformity
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 12.08.2019
Anhängig
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