Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
14.11.2019	14.11.2019 Use of voltage and current measurements to control dual zone ceramic pedestals WO2019217192 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2019	14.11.2019 Method of providing a plasma atomic layer deposition WO2019217228 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2019	14.11.2019 Atomic layer etch and deposition processing systems including a lens circuit with a tele-centric lens, an optical beam folding assembly, or a polygon scanner WO2019217180 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2019	14.11.2019 Edge ring focused deposition during a cleaning process of a processing chamber WO2019217185 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2019	07.11.2019 Removing Bubbles From Plating Cells WO2019212930 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2019	07.11.2019 Method of depositing tungsten and other metals in 3d nand structures WO2019213604 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2019	07.11.2019 Predicting Etch Characteristics in Thermal Etching And Atomic Layer Etching WO2019212810 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2019	07.11.2019 Wafer Chuck Assembly WO2019213533 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2019	07.11.2019 Improving substrate wettability for plating operations WO2019212986 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2019	24.10.2019 Edge Exclusion Control WO2019204754 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2019	24.10.2019 Substrate processing systems including gas delivery system with reduced dead legs WO2019204246 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Determining and controlling substrate temperature during substrate processing WO2019199641 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Dual-Mode Autonomous Guided Vehicle WO2019199856 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Manufacture of an orifice plate for use in gas calibration WO2019199526 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Resist and etch modeling WO2019199697 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Optical Metrology in Machine Learning To Characterize Features WO2019200015 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Copper Electrofill On Non-Copper Liner Layers WO2019199614 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Modifying hydrophobicity of a wafer surface using an organosilicon precursor WO2019199682 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2019	16.10.2019 Randring-Anordnung zur Verbesserung der Profilneigung von Strukturen am Äussersten Rand eines Wafers EP3133635 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2016 Erteilt am 16.10.2019 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2019	10.10.2019 Electrostatic chucks with coolant gas zones and corresponding groove and monopolar electrostatic clamping electrode patterns WO2019194812 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2019	10.10.2019 Modifying ferroelectric properties of hafnium oxide with hafnium nitride layers WO2019195024 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2019	10.10.2019 Electrostatic chuck with seal surface WO2019195601 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2019	10.10.2019 Capping layer for a hafnium oxide-based ferroelectric material WO2019195025 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2019	10.10.2019 Mems Coriolis Gas Flow Controller WO2019195292 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2019	10.10.2019 Process simulation model calibration using cd-sem WO2019195481 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2019	10.10.2019 In Situ Inverse Mask Patterning WO2019195105 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Mems-Based Coriolis Mass Flow Controller WO2019191428 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Connector for substrate support with embedded temperature sensors WO2019190797 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Copper Electrodeposition On Cobalt Lined Features WO2019191523 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Copper electrodeposition sequence for cobalt lined features WO2019191524 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Topographically-selective and area-selective ald using fluorocarbon blocking layers WO2019190912 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Intermediate layer for metal interconnect layer WO2019190795 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Atomic layer deposition of carbon films WO2019190783 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2019	03.10.2019 Method of producing rinsing liquid WO2019185592 Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2019	26.09.2019 Multi-level parameter and frequency pulsing with a low angular spread WO2019182847 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2019	26.09.2019 Multi-level pulsing of dc and rf signals WO2019182890 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2019	26.09.2019 Protective coating for electrostatic chucks WO2019182833 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2019	26.09.2019 Chamfer-Less Via Integration Scheme WO2019182872 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.09.2019	25.09.2019 Vorrichtung zur Bearbeitung Scheibenförmiger Artikel EP2415075 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.03.2010 Erteilt am 25.09.2019 Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.09.2019	19.09.2019 Frequency tuning for a matchless plasma source WO2019177866 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen