Pfeiffer Vacuum Patente

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die einen Holweck-Rotor und einen Holweck-Stator umfasst. Der Holweck-Rotor umfasst eine Rotorwelle mit einer daran vorgesehenen Nabe sowie zumindest zwei an der Nabe vorgesehene Holweck-Rotorhülsen, welche die Rotorwelle konzentrisch umgeben, wobei eine radial innere Holweck-Rotorhülse einen ersten Durchmesser und eine radial äußere Holweck-Rotorhülse einen zweiten Durchmesser aufweist. Der Holweck-Stator umfasst zwischen den beiden Holweck-Rotorhülsen eine zu diesen konzentrische Holweck-Statorhülse, welche ein an einem stationären Gehäuseabschnitt der Vakuumpumpe angebrachtes festes Ende, ein dem festen Ende in axialer Richtung gegenüberliegendes freies Ende sowie eine Innenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Innengewinde und eine Außenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Außengewinde aufweist. Der zweite Durchmesser der radial äußeren Holweck-Rotorhülse ist mindestens 30% größer als der erste Durchmesser der radial inneren Holweck-Rotorhülse.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumventileinrichtung mit einem Ventilgehäuse (22), das einen Gaseinlass und einen Gasauslass aufweist, die durch einen Durchgangskanal miteinander in Verbindung stehen, der durch einen bewegbar angeordneten und in einer Schließstellung mit einem Ventilsitz (34) zusammenwirkenden Ventilkörper selektiv gasdicht sperrbar ist, wobei zumindest ein in die Ventileinrichtung integrierter Gasdrucksensor (46) vorgesehen ist, mit dem ein in einem ihm zugeordneten Abschnitt des Durchgangskanals herrschender Gasdruck bestimmbar ist. Die Erfindung betrifft ferner ein System umfassend eine Vakuumpumpe und eine solche Vakuumventileinrichtung. Die Erfindung betrifft ferner ein System zumindest umfassend eine solche Vakuumventileinrichtung und eine Vakuumpumpe.

Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem (11,13), das ein feststehendes Spiralbauteil (11) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (13) umfasst, und einer im Betrieb um eine Drehachse (15) rotierenden Antriebswelle (17) mit einem Exzenterabschnitt (19) zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils (13), sowie Verfahren zum Betreiben einer solchen Scrollvakuumpumpe.

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Die Erfindung betrifft unter anderem eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, einer Antriebswelle, die einen Exzenterabschnitt zum Antreiben des Pumpsystems aufweist, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei zumindest zwei entlang der Drehachse der Antriebswelle voneinander beabstandete Lagerstellen zur Drehlagerung der Antriebswelle vorgesehen sind, und wobei sich alle Lagerstellen auf der dem Exzenterabschnitt der Antriebswelle zugewandten Seite des Antriebsmotors und/oder zwischen einem vorderen Wuchtgewicht und einem hinteren Wuchtgewicht der Antriebswelle befinden.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Flutventil (10) zum Öffnen und Schließen einer Flutöffnung in einem Gehäuse einer Vakuumpumpe. Das Flutventil (10) umfasst ein Ventilgehäuse (12) zur Aufnahme in einer Flutöffnung einer Vakuumpumpe und ein von dem Ventilgehäuse (12) aufgenommenen Ventilelement (14). Das Ventilgehäuse (12) ist von einer Durchgangsbohrung (16) durchsetzt, die sich von einer ersten axialen Stirnfläche (17) zu einer zweiten axialen Stirnfläche (18) des Ventilgehäuses (12) erstreckt und ein Innengewinde (20) aufweist. Das Ventilelement (14) weist einen Schraubenschaft (22) mit einem Außengewinde (24) auf, mit dem das Ventilelement (14) in das Innengewinde (20) der Durchgangsbohrung (16) eingeschraubt ist. Der Schraubenschaft (22) weist an einem ersten Ende (25) einen Drehantrieb (28) zur Betätigung des Ventilelements (14) zur Veränderung der Axialstellung des Ventilelements (14) gegenüber dem Ventilgehäuse (12) und an einem gegenüberliegenden zweiten Ende (26) einen Ventilteller (30) auf, der in einer ersten Axialstellung des Ventilelements (14) zur Abdichtung der Durchgangsbohrung (16) an der zweiten Stirnfläche (18) des Ventilgehäuses (12) anliegt und der in einer zweiten Axialstellung des Ventilelements (14) einen Abstand gegenüber der zweiten Stirnfläche (18) aufweist.

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Ein Vakuumgerät weist mehrere Module auf, und jedes der Module umfasst eine Funktionseinheit, die eine vorgegebene Funktion während des Betriebs des Vakuumgeräts ausführt, sowie zumindest eine Kommunikationseinheit, die ausgebildet ist, um einen Eingangsdatensatz von einem anderen Modul zu empfangen und an die Funktionseinheit zu übertragen sowie einen Ausgangsdatensatz von der Funktionseinheit zu empfangen und an ein anderes Modul zu übertragen. Mindestens eines der Module des Vakuumgeräts weist zwei Kommunikationseinheiten auf. Beide dieser zwei Kommunikationseinheiten sind ausgebildet, um den Eingangsdatensatz an die jeweils andere Kommunikationseinheit desselben Moduls zu übertragen.

Die Erfindung betrifft unter anderem eine Vakuumpumpe, insbesondere Scrollpumpe, mit einem Elektronikgehäuse, in dem eine oder mehrere Elektronikkomponenten angeordnet sind, wobei innerhalb des Elektronikgehäuses für wenigstens eine Elektronikkomponente eine gesonderte Kammer vorgesehen ist, in der die Elektronikkomponente vergossen ist.

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Die Erfindung betrifft einen Einstellring mit einem Einstellabschnitt zur axialen Ausrichtung eines radial innen liegenden ersten Lagerabschnitts eines Lagers einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, in Richtung einer Längsmittelachse des Lagers relativ zu einem radial außen liegenden zweiten Lagerabschnitt des Lagers der Vakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, dass ein umlaufender Kragen aus dem Einstellabschnitt des Einstellrings hervorgeht, welcher einen sich radial nach außen erstreckenden radialen Kragenabschnitt aufweist. Ferner ist die Erfindung auf ein Lager für eine Vakuumpumpe mit einem derartigen Lager und auf eine Vakuumpumpe mit einem solchen Lager gerichtet.

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Eine Vakuumpumpe weist eine Rotorwelle, die pumpaktive Elemente eines Rotors der Vakuumpumpe trägt, und zumindest ein Lager auf, an welchem die Rotorwelle drehbar gelagert ist. Zur Schmierung des Lagers ist ein Schmiermittel vorgesehen. Die Rotorwelle weist zumindest eine Ausnehmung auf, die außerhalb eines Lagerbereichs der Rotorwelle angeordnet ist und zum Aufnehmen des Schmiermittels ausgebildet ist.

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Ein Vakuumsystem umfasst zumindest eine Vakuumpumpe und zumindest eine Ventileinrichtung. Die Vakuumpumpe umfasst ein Pumpengehäuse, das einen Pumpeninnenraum definiert. Die Ventileinrichtung umfasst ein Wegeventil, das zumindest drei separate Anschlüsse umfasst und in zumindest zwei verschiedene Schaltstellungen bringbar ist. In zumindest einer der Schaltstellungen des Wegeventils ist zumindest ein Kanal von dem Pumpeninnenraum der Vakuumpumpe über zumindest einen der Anschlüsse des Wegeventils zu zumindest einem anderen der Anschlüsse des Wegeventils ausgebildet.

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Eine Vakuumpumpe umfasst einen Sensor, der an einer ersten Komponente der Vakuumpumpe angeordnet ist und ausgebildet ist, eine physikalische Eigenschaft der ersten Komponente zu messen, und einen RFID-Transponder, der an der ersten Komponente angebracht ist und mit dem Sensor in einer kommunikativen Verbindung steht. Die Vakuumpumpe umfasst ferner ein RFID-Lesegerät, das an einer zweiten Komponente der Vakuumpumpe, die von der ersten Komponente verschieden ist, mit einem derartigen Abstand bezogen auf den RFID-Transponder angebracht ist, dass das RFID-Lesegerät und der RFID-Transponder in einer kommunikativen Verbindung stehen. Ein Verfahren zum Betreiben einer solchen Vakuumpumpe ist ebenfalls beschreiben.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Scrollpumpe mit einem Gehäuse und einem in dem Gehäuse befindlichen Orbiter, der eine Trägerplatte und eine sich von der Trägerplatte erstreckende Spirale aufweist. In der Trägerplatte sind mehrere Durchgangsöffnungen ausgebildet, durch die ein Gehäusebereich, der sich auf einer der Spirale des Orbiters abgewandten Seite der Trägerplatte befindet, für ein Werkzeug zu Montagezwecken zugänglich ist

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Gehäuse mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, einem ersten Pumpmechanismus mit zumindest einer turbomolekularen Pumpstufe in dem Gehäuse, einem stromabwärts des ersten Pumpmechanismus befindlichen zweiten Pumpmechanismus mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe in dem Gehäuse und einem eine Rotorwelle umfassenden Rotor für sowohl den ersten Pumpmechanismus als auch den zweiten Pumpmechanismus, und einem Elektromotor zum Antrieb der Rotorwelle. Der Elektromotor ist innerhalb des zweiten Pumpmechanismus in einem Motorraum angeordnet, der von einer zylindrischen Trennwand umgeben und auf der dem ersten Pumpmechanismus zugewandten Seite durch eine sich radial erstreckende Trennwand begrenzt ist, die den Rotor unter Bildung eines Ringspalts umgibt. Die Rotorwelle erstreckt sich ausgehend von dem ersten Pumpmechanismus durch den zweiten Pumpmechanismus sowie durch den Motorraum bis zu einem Ende, das mittels eines Wälzlagers in dem Gehäuse gelagert ist. Das Gehäuse weist zumindest einen Sperrgasanschluss zur Einleitung eines Sperrgases zum Schutz des Elektromotors auf. In der zylindrischen Trennwand ist ein Zuströmkanal ausgebildet ist, der einerseits mit dem Sperrgasanschluss und andererseits über einen Strömungswegs mit dem Ringraum in Fluidverbindung steht.

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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Pumpstand für eine Vakuumpumpe. Der Pumpstand umfasst ein Basiselement, an dem eine Lageranordnung zur schwingungstechnischen Entkopplung einer Vakuumpumpe von dem Pumpstand vorgesehen ist. Die Lageranordnung umfasst ein Trägerelement zur zumindest mittelbaren Abstützung einer Vakuumpumpe; zumindest ein Federelement, über das das Trägerelement an dem Basiselement abgestützt ist, wozu sich das Federelement zwischen einander zugwandten Seiten des Trägerelements und des Basiselements erstreckt; ein Befestigungselement mit einem Schaft, insbesondere in Form einer Schraube, mittels dessen das Trägerelement mit dem Basiselement verspannt ist; und eine Distanzhülse, die von dem Federelement umgeben ist und die ihrerseits den Schaft des Befestigungselements über eine Längenerstreckung umgibt, die infolge der Verspannung des Trägerelements mit dem Basiselement eine Dehnung erfährt.

Scrollpumpe mit einem feststehenden Spiralzylinder in Form einer ersten Wand (16) mit einer ersten Wandhöhe (H), wobei sich die erste Wand (16) von einem inneren Ende (58) zu einem äußeren Ende (60) spiralförmig aufweitet, und einem beweglichen Spiralzylinder in Form einer zweiten Wand (18) mit einer zweiten Wandhöhe (H), die sich von einem inneren Ende (58) zu einem äußeren Ende (60) spiralförmig aufweitet und mit der sich spiralförmig aufweitenden ersten Wand (16) verschachtelt ist. Erfindungsgemäß ändert sich die erste Wandhöhe (H) und/oder die zweite Wandhöhe (H) zwischen ihrem inneren Ende (58) und ihrem äußeren Ende (60).

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