Pfeiffer Vacuum Patente

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Eine Vakuumpumpe weist eine Rotorwelle, die pumpaktive Elemente eines Rotors der Vakuumpumpe trägt, und zumindest ein Lager auf, an welchem die Rotorwelle drehbar gelagert ist. Zur Schmierung des Lagers ist ein Schmiermittel vorgesehen. Die Rotorwelle weist zumindest eine Ausnehmung auf, die außerhalb eines Lagerbereichs der Rotorwelle angeordnet ist und zum Aufnehmen des Schmiermittels ausgebildet ist.

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Ein Vakuumsystem umfasst zumindest eine Vakuumpumpe und zumindest eine Ventileinrichtung. Die Vakuumpumpe umfasst ein Pumpengehäuse, das einen Pumpeninnenraum definiert. Die Ventileinrichtung umfasst ein Wegeventil, das zumindest drei separate Anschlüsse umfasst und in zumindest zwei verschiedene Schaltstellungen bringbar ist. In zumindest einer der Schaltstellungen des Wegeventils ist zumindest ein Kanal von dem Pumpeninnenraum der Vakuumpumpe über zumindest einen der Anschlüsse des Wegeventils zu zumindest einem anderen der Anschlüsse des Wegeventils ausgebildet.

Eine Vakuumpumpe umfasst einen Sensor, der an einer ersten Komponente der Vakuumpumpe angeordnet ist und ausgebildet ist, eine physikalische Eigenschaft der ersten Komponente zu messen, und einen RFID-Transponder, der an der ersten Komponente angebracht ist und mit dem Sensor in einer kommunikativen Verbindung steht. Die Vakuumpumpe umfasst ferner ein RFID-Lesegerät, das an einer zweiten Komponente der Vakuumpumpe, die von der ersten Komponente verschieden ist, mit einem derartigen Abstand bezogen auf den RFID-Transponder angebracht ist, dass das RFID-Lesegerät und der RFID-Transponder in einer kommunikativen Verbindung stehen. Ein Verfahren zum Betreiben einer solchen Vakuumpumpe ist ebenfalls beschreiben.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Scrollpumpe mit einem Gehäuse und einem in dem Gehäuse befindlichen Orbiter, der eine Trägerplatte und eine sich von der Trägerplatte erstreckende Spirale aufweist. In der Trägerplatte sind mehrere Durchgangsöffnungen ausgebildet, durch die ein Gehäusebereich, der sich auf einer der Spirale des Orbiters abgewandten Seite der Trägerplatte befindet, für ein Werkzeug zu Montagezwecken zugänglich ist

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Gehäuse mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, einem ersten Pumpmechanismus mit zumindest einer turbomolekularen Pumpstufe in dem Gehäuse, einem stromabwärts des ersten Pumpmechanismus befindlichen zweiten Pumpmechanismus mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe in dem Gehäuse und einem eine Rotorwelle umfassenden Rotor für sowohl den ersten Pumpmechanismus als auch den zweiten Pumpmechanismus, und einem Elektromotor zum Antrieb der Rotorwelle. Der Elektromotor ist innerhalb des zweiten Pumpmechanismus in einem Motorraum angeordnet, der von einer zylindrischen Trennwand umgeben und auf der dem ersten Pumpmechanismus zugewandten Seite durch eine sich radial erstreckende Trennwand begrenzt ist, die den Rotor unter Bildung eines Ringspalts umgibt. Die Rotorwelle erstreckt sich ausgehend von dem ersten Pumpmechanismus durch den zweiten Pumpmechanismus sowie durch den Motorraum bis zu einem Ende, das mittels eines Wälzlagers in dem Gehäuse gelagert ist. Das Gehäuse weist zumindest einen Sperrgasanschluss zur Einleitung eines Sperrgases zum Schutz des Elektromotors auf. In der zylindrischen Trennwand ist ein Zuströmkanal ausgebildet ist, der einerseits mit dem Sperrgasanschluss und andererseits über einen Strömungswegs mit dem Ringraum in Fluidverbindung steht.

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Pumpstand für eine Vakuumpumpe. Der Pumpstand umfasst ein Basiselement, an dem eine Lageranordnung zur schwingungstechnischen Entkopplung einer Vakuumpumpe von dem Pumpstand vorgesehen ist. Die Lageranordnung umfasst ein Trägerelement zur zumindest mittelbaren Abstützung einer Vakuumpumpe; zumindest ein Federelement, über das das Trägerelement an dem Basiselement abgestützt ist, wozu sich das Federelement zwischen einander zugwandten Seiten des Trägerelements und des Basiselements erstreckt; ein Befestigungselement mit einem Schaft, insbesondere in Form einer Schraube, mittels dessen das Trägerelement mit dem Basiselement verspannt ist; und eine Distanzhülse, die von dem Federelement umgeben ist und die ihrerseits den Schaft des Befestigungselements über eine Längenerstreckung umgibt, die infolge der Verspannung des Trägerelements mit dem Basiselement eine Dehnung erfährt.

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Scrollpumpe mit einem feststehenden Spiralzylinder in Form einer ersten Wand (16) mit einer ersten Wandhöhe (H), wobei sich die erste Wand (16) von einem inneren Ende (58) zu einem äußeren Ende (60) spiralförmig aufweitet, und einem beweglichen Spiralzylinder in Form einer zweiten Wand (18) mit einer zweiten Wandhöhe (H), die sich von einem inneren Ende (58) zu einem äußeren Ende (60) spiralförmig aufweitet und mit der sich spiralförmig aufweitenden ersten Wand (16) verschachtelt ist. Erfindungsgemäß ändert sich die erste Wandhöhe (H) und/oder die zweite Wandhöhe (H) zwischen ihrem inneren Ende (58) und ihrem äußeren Ende (60).

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Pumpe, insbesondere Vakuumpumpe, umfassend eine pumpaktive Komponente mit einer Beschichtung, wobei die Beschichtung eine, insbesondere durch anodische Oxidation in einem säurehaltigen Elektrolyten gebildete, Poren aufweisende Oxidschicht sowie eine fluorfreie Polymer-basierte und/oder Sol-Gel-basierte Versiegelung umfasst, und wobei die Poren der Oxidschicht zumindest teilweise von der Versiegelung bedeckt und/oder mit der Versiegelung imprägniert und/oder mit der Versiegelung gefüllt sind. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Versiegeln einer porösen Oxidschicht.

Ein Vakuumgerät umfasst mindestens zwei Vakuumpumpen (110,120) mit jeweils mindestens einem Schmiermittelraum (112,114,122,124), der für ein Schmiermittel zur Schmierung mindestens einer Komponente der jeweiligen Vakuumpumpe vorgesehen ist. Ferner umfasst das Vakuumgerät einen zentralen Einlass (150) für das Schmiermittel, der mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht, und einen zentralen Auslass (160) für das Schmiermittel, der ebenfalls mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht.

Die Erfindung betrifft ein Rückschlagventil umfassend einen Durchgang für ein Fluid, ein bewegliches Schließelement und einen Dichtungssitz, wobei das Schließelement und der Dichtungssitz derart korrespondierend ausgebildet sind, dass das Schließelement den Durchgang sperrt, wenn es sich in Anlage mit dem Dichtungssitz befindet, und ein Masseelement, welches mit dem Schließelement verbunden ist.

Die Erfindung betrifft eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei das bewegliche Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden, von diesen begrenzten Spiralnuten und deren Boden bildendem Spiralgrund sowie einen mit dem Exzenterabschnitt der Antriebswelle zusammenwirkenden Träger für die Spiralanordnung umfasst, wobei das feststehende Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden und Spiralgrund sowie einen Träger für die Spiralanordnung umfasst. Dabei weist gemäß einem ersten Aspekt zumindest eine Spiralwand an einem freien Endabschnitt eine reduzierte Dicke auf, die kleiner ist als die Dicke eines dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitts der Spiralwand. Gemäß einem zweiten Aspekt weist zumindest eine Spiralwand einen freien Endabschnitt auf, der an seiner radialen Außenseite und/oder an seiner radialen Innenseite relativ zu einem dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitt der Spiralwand einen Rücksprung aufweist.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe mit einem Einlass und einem Auslass in Pumprichtung stromabwärts des Einlasses. Die Holweck-Pumpstufe umfasst einen Holweck-Rotor mit einer Rotorhülse und einen Holweck-Stator mit einer Statorhülse, die unter Bildung eines Holweckspalts koaxial zu dem Holweck-Rotor angeordnet ist. Die Statorhülse weist ein Holweck-Gewinde mit mehreren Gewindenuten auf, die durch an der Statorhülse ausgebildete Stege und durch einen durch die Statorhülse gebildeten Nutgrund begrenzt sind. Die Statorhülse ist einstückig ausgebildet und zumindest ein Gewindeparameter des Holweck-Gewindes aus der Gruppe von Gewindeparametern, die aus der Anzahl der Stege, der Gewindesteigung, der Breite der Gewindenuten, der Breite der Stege und der Höhe der Stege über dem Nutgrund besteht, ändert sich über die axiale Erstreckung der Statorhülse .

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Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Stator und mit einem drehbar in dem Stator gelagerten Rotor (17) für zumindest eine Pumpstufe, wobei zur Lagerung des Rotors zumindest eine Lagereinheit vorgesehen ist, die ein Lager (42) sowie zumindest einen dem Lager zugeordneten Aktor (58, 60, 62, 68, 72) aufweist, der zur selektiven Veränderung zumindest einer Betriebseigenschaft und/oder -stellung des Lagers angeordnet ist.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem ersten Gehäusebauteil, in dem ein pumpwirksamer Abschnitt der Vakuumpumpe und/oder ein Antrieb für einen pumpwirksamen Abschnitt der Vakuumpumpe angeordnet ist, einem zweiten Gehäusebauteil, welches von dem ersten Gehäusebauteil separat ausgeführt ist und in dem eine Funktionseinheit für die Vakuumpumpe vorgesehen ist und einer an dem zweiten Gehäusebauteil vorgesehenen Kühleinrichtung für die Funktionseinheit, wobei eine Isoliereinrichtung zwischen der Kühleinrichtung und dem ersten Gehäusebauteil vorgesehen ist, und wobei die Kühleinrichtung zwischen der Isoliereinrichtung und dem zweiten Gehäusebauteil angeordnet ist.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die eine Holweck-Statorhülse mit einer Innenseite und einer Außenseite und ein dem Pumpeneinlass entgegen der Pumprichtung zugewandtes Einlassende aufweist. An der Innenseite und/oder an der Außenseite der Holweck-Statorhülse ist ein Holweck-Gewinde mit mehreren spiralförmig umlaufenden Stegen ausgebildet, die jeweils eine dem Einlassende zugewandte erste Gewindeflanke und eine dem Einlassende abgewandte zweite Gewindeflanke aufweisen. Die Stege weisen am Einlassende der zumindest einen Holweck-Pumpstufe jeweils eine radial ausgerichtete Stirnfläche auf, die mit der zweiten Gewindeflanke einen überstumpfen ersten Winkel einschließt, welcher kleiner als 300° ist.

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