Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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19.12.2013
Substrate placing table and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2013
Anhängig
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19.12.2013
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.05.2013
Anhängig
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18.12.2013
Bibliothek für Metrologie mit Breitem Prozessbereich
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.02.2012
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Manley, Nicholas Michael · Liverpool
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12.12.2013
Substrate inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2013
Anhängig
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12.12.2013
Gas treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2013
Anhängig
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12.12.2013
Wafer inspection interface and wafer inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2013
Anhängig
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12.12.2013
Imprint method and imprint device
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.05.2013
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12.12.2013
Imprint device and template
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.05.2013
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05.12.2013
Vacuum-processing apparatus, vacuum-processing method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2013
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05.12.2013
Magnetron sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.03.2013
Anhängig
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05.12.2013
Method for manufacturing layered film and vacuum-processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2013
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05.12.2013
Plating method, plating device, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.05.2013
Anhängig
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05.12.2013
Plating device, plating method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.05.2013
Anhängig
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05.12.2013
Transportation mechanism, transportation method, and processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2013
Anhängig
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05.12.2013
Magnetron sputtering device, magnetron sputtering method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.04.2013
Anhängig
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05.12.2013
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.05.2013
Anhängig
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05.12.2013
Solar power generation monitoring method and solar power generation monitoring system used for said method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.05.2013
Anhängig
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04.12.2013
Herstellungsverfahren für ein Halbleiterbauelement und Halbleiterbauelement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.11.2013
Gas treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.04.2013
Anhängig
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28.11.2013
Conveyor
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2013
Anhängig
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28.11.2013
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2013
Anhängig
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21.11.2013
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2013
Anhängig
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21.11.2013
Film-formation device and film-formation method
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.05.2013
Anhängig
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21.11.2013
Forming patterns using block copolymers and articles
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.05.2013
Anhängig
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21.11.2013
Process sequence for reducing pattern roughness and deformity
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.05.2013
Anhängig
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21.11.2013
Solar cell manufacturing method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.05.2013
Anhängig
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21.11.2013
Cooling mechanism and processing system
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2013
Anhängig
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14.11.2013
Gas supply device and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2013
Anhängig
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14.11.2013
Etching method for substrate to be processed and plasma-etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.04.2013
Anhängig
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07.11.2013
Etching method, etching device and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.04.2013
Anhängig
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07.11.2013
X-ray inspection method and x-ray inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.04.2013
Anhängig
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07.11.2013
Method for injecting dopant into base body to be processed, and plasma doping apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 05.04.2013
Anhängig
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06.11.2013
Target zur Röntgenstrahlerzeugung, Röntgenstrahlgenerator und Verfahren zur Herstellung eines Targets zur Röntgenstrahlerzeugung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.09.2010
Erteilt am 06.11.2013
Vertretung
Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München
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31.10.2013
Pattern forming method, pattern forming apparatus, and non-transitory computer-readable recording medium
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2013
Anhängig
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31.10.2013
Film forming method, film forming device, and film forming system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2013
Anhängig
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31.10.2013
Film-forming method and film-forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2013
Anhängig
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31.10.2013
Substrate processing device and method for maintaining same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.04.2013
Anhängig
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31.10.2013
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2013
Anhängig
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31.10.2013
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.04.2013
Anhängig
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24.10.2013
Gas flow deposition device and gas flow deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2013
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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