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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
19.12.2013
Substrate placing table and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.12.2013
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2013
Bibliothek für Metrologie mit Breitem Prozessbereich
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.12.2013
Substrate inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.12.2013
Gas treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.12.2013
Wafer inspection interface and wafer inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.12.2013
Imprint method and imprint device
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.12.2013
Imprint device and template
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Vacuum-processing apparatus, vacuum-processing method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Magnetron sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.12.2013
Method for manufacturing layered film and vacuum-processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Plating method, plating device, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Plating device, plating method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Transportation mechanism, transportation method, and processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Magnetron sputtering device, magnetron sputtering method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.12.2013
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Solar power generation monitoring method and solar power generation monitoring system used for said method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2013
Herstellungsverfahren für ein Halbleiterbauelement und Halbleiterbauelement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.11.2013
Gas treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.11.2013
Conveyor
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.11.2013
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.11.2013
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.11.2013
Film-formation device and film-formation method
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
21.11.2013
Forming patterns using block copolymers and articles
Optik & Fototechnik
21.11.2013
Process sequence for reducing pattern roughness and deformity
Optik & Fototechnik
21.11.2013
Solar cell manufacturing method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.11.2013
Cooling mechanism and processing system
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.11.2013
Gas supply device and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.11.2013
Etching method for substrate to be processed and plasma-etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2013
Etching method, etching device and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2013
X-ray inspection method and x-ray inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.11.2013
Method for injecting dopant into base body to be processed, and plasma doping apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.11.2013
Target zur Röntgenstrahlerzeugung, Röntgenstrahlgenerator und Verfahren zur Herstellung eines Targets zur Röntgenstrahlerzeugung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2013
Pattern forming method, pattern forming apparatus, and non-transitory computer-readable recording medium
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2013
Film forming method, film forming device, and film forming system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2013
Film-forming method and film-forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2013
Substrate processing device and method for maintaining same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2013
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2013
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2013
Gas flow deposition device and gas flow deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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