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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
24.10.2013
Verfahren zur Beseitigung von Ablagerungen und Gasbehandlungsvorrichtung
WO2013157235
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2013
Liquid treatment device, liquid treatment method, and filter device
WO2013157366
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
24.10.2013
Gas flow deposition device and gas flow deposition method
WO2013157635
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2013
Aspect ratio dependent deposition to improve gate spacer profile, fin-loss and hardmask-loss for finfet scheme
WO2013154842
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2013
Method for manufacturing semiconductor device, semiconductor device, and apparatus for producing semiconductor
WO2013153777
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2013
Plating apparatus, plating method, and storage medium
WO2013150828
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.10.2013
Method for processing graphene, method for producing graphene nanoribbons, and graphene nanoribbons
WO2013150931
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
10.10.2013
Film forming method and storage medium
WO2013150903
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2013
Filtration Filter
WO2013151147
Verfahrens- & Trenntechnik
10.10.2013
Semiconductor device manufacturing method and substrate treatment system
WO2013150920
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2013
Plasma processing apparatus
WO2013151124
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
10.10.2013
Pattern formation method, pattern formation device, and computer-readable storage medium
WO2013150955
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
03.10.2013
Plating method, plating system, and storage medium
WO2013145979
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2013
Heating mechanism, film-forming device, and film-forming method
WO2013145932
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2013
Microwave irradiating antenna, microwave plasma source, and plasma processing device
WO2013145916
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.10.2013
Process for producing filter for filtration
WO2013146627
Verfahrens- & Trenntechnik
03.10.2013
Trap mechanism, exhaust system, and film formation device
WO2013146982
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
03.10.2013
Maintenance system, and substrate processing device
WO2013146611
Hochbau & Gebäudetechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2013
Substrate processing system
WO2013146603
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2013
Film-forming apparatus
WO2013145630
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.10.2013
System for monitoring failure of substrate processing apparatus, and method for monitoring failure of substrate processing apparatus
WO2013145606
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2013
Plasma processing apparatus and high frequency generator
WO2013146655
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2013
Periodic pattern forming method and device employing self-assembled block copolymer
WO2013146538
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2013
Operation permission determination device, operation permission determination method and computer program
WO2013147111
Software & Datenverarbeitung
03.10.2013
Conveyance device, and conveyance method
WO2013146800
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
03.10.2013
Liquid injection method and liquid injection device
WO2013145700
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2013
Farbstoffabsorptionsvorrichtung und Farbstoffadsorptionsverfahren
EP2645468
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2013
Farbstoffabsorptionsvorrichtung, Farbstoffabsorptionsverfahren und Substratbehandlungsvorrichtung
EP2645469
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2013
Trap device and film formation device
WO2013141084
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2013
Plating method, plating system and storage medium
WO2013140939
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.09.2013
Plating process device, plating process method, and storage medium
WO2013140938
Metallurgie & Oberflächentechnik
19.09.2013
Bonding device, bonding system and bonding method
WO2013137002
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Solar cell module efficacy monitoring system and monitoring method therefor
WO2013136796
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Film forming process and film forming apparatus
WO2013137115
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Film forming device
WO2013136656
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Gas supply method for semiconductor manufacturing apparatus, gas supply system and semiconductor manufacturing apparatus
WO2013137152
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Load lock device
WO2013136916
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Method for producing membrane electrode assembly
WO2013137187
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Peeling apparatus, peeling system, and peeling method
WO2013136982
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2013
Organic electronic device, organic electronic device manufacturing method and plasma processing device
WO2013137116
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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