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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
30.01.2014
Film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Microwave heating processing device and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
30.01.2014
Bake processing system
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Method of regionally selective cell detachment and methods for culturing and subculturing cells using same
Pharma & Biotechnologie
23.01.2014
Bottom electrode and plasma treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2014
Method for manufacturing dye-sensitized solar cell, and dye-sensitized solar cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2014
Method for manufacturing semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2014
Method for supplying temperature-regulated fluid to temperature control system, and storage medium
Steuerungs- & Regelungstechnik
23.01.2014
Upper electrode and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2014
X-ray inspection method and x-ray inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.01.2014
Clean-room monitoring device and method for monitoring clean room
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
16.01.2014
Method for forming cu wiring, and computer-readable memory medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2014
Pattern forming method and substrate processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2014
Plasma processing method, and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2014
Acquisition method for s-parameters in microwave introduction modules, and malfunction detection method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2014
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2014
Etching apparatus and etching method technical field
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2014
Method of stripping photoresist on a single substrate system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2014
Untersuchungseinrichtung und Untersuchungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.01.2014
Gas cluster irradiation mechanism, substrate processing device using same, and gas cluster irradiation method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2014
Fabrication equipment monitoring device and monitoring method
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2014
Substrate Processing Equipment
Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
09.01.2014
Semiconductor inspection system and method for preventing condensation at interface part
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2014
Film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2014
Film forming method and film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2014
Genaues und Schnelles Training eines Neuronalen Netzwerks für Bibliotheksbasierte Metrologie mit Kritischer Dimension
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
08.01.2014
Herstellungsverfahren eines Halbleiterbauelements, und computerlesbares Speichermedium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2014
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2014
Resist mask processing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2014
Etching method and etching apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2013
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
27.12.2013
Seasoning method, plasma processing apparatus, and manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2013
Method for production of semiconductor device, semiconductor device, and production system for semiconductor device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2013
Method for forming film containing manganese
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2013
Plasma processing device and filter unit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
25.12.2013
Verfahren zum Betrieb eines Filamentgestützten Chemischen Gasphasenabscheidungssystems
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
19.12.2013
Plasma etching method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
19.12.2013
Plasma processing device and probe device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
19.12.2013
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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