Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690

Patente

2000–2019

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
12.10.2006	12.10.2006 Methods and apparatus for glitch recovery in stationary-beam ion implantation process using east ion beam control WO2006107797 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.09.2006	21.09.2006 Profile Adjustment in Plasma Ion Implantation WO2006099438 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.03.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.09.2006	14.09.2006 Methods and apparatus for enabling multiple process steps on a single substrate WO2006096818 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.08.2006	24.08.2006 Ion beam measurement apparatus and method WO2006089021 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.08.2006	10.08.2006 Wafer-scanning ion implanter having fast beam deflection apparatus for beam glitch recovery WO2006084143 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.02.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2006	19.07.2006 Wafer-Handhabungsverfahren und -System EP1680802 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.10.2004 Anhängig Vertretung Boyce, Conor · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2006	29.06.2006 Weakening focusing effect of acceleration-decelaration column of ion implanter WO2006068754 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.11.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2006	29.06.2006 Electron Injection Ion Implanter Magnets WO2006068755 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.11.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.06.2006	22.06.2006 Technique for recuding bakcside particles WO2006065778 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.06.2006	15.06.2006 Plasma ion implantation system with axial electrostatic confinement WO2006063035	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.06.2006	08.06.2006 Electron confinement inside magnet of ion implanter WO2006060231 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.11.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.05.2006	18.05.2006 Apparatus and methods for two-dimensional ion beam profiling WO2006052622	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.11.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.04.2006	20.04.2006 Ion beam implant current, spot width and position tuning WO2006042167 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.10.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2006	09.03.2006 Reduction of source and drain parasitic capacitance in cmos devices WO2006026180 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2006	02.03.2006 In Situ Surface Contaminant Removal For Ion Implanting WO2006023637 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2006	01.03.2006 Verfahren und Gerät zur Plasmadotierung durch Pulsieren der Anode EP1438735 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.10.2002 Erteilt am 01.03.2006 Vertretung Ribeiro, James Michael · London Withers & Rogers Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2006	22.02.2006 Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung der Ionenimplantierung bei Vakuumschwankungen EP1287544 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2001 Erteilt am 22.02.2006 Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.01.2006	05.01.2006 WO2006002138 WO2006002138 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2005	22.12.2005 Plasma ion implantation monitoring systems for fault detection and process control WO2005122211 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.12.2005	08.12.2005 Methods for stable and repeatable plasma ion implantation WO2005115104	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.12.2005	01.12.2005 In-situ process chamber preparation methods for plasma ion implantation systems WO2005114692 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2005	10.11.2005 Apparatus and methods for junction formation using optical illumination WO2005106939 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Faraday dose and uniformity monitor for plasma based ion implantation WO2005104175 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.10.2005	06.10.2005 Rf plasma source with conductive top section WO2005093780 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.09.2005	28.09.2005 Aktives Verfahren und System zur Herstellung eines Elektrischen Kontakts EP1579480 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2003 Anhängig Vertretung Boyce, Conor · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.09.2005	21.09.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Partikelwahrnehmung mittels einer Sensoranordnung mit Beweglichem Teil EP1285455 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2001 Erteilt am 21.09.2005 Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.08.2005	04.08.2005 Ion implanter system, method and program product including particle detection WO2005069945	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.08.2005	03.08.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Ionenstrahlneutralisierung in Magneten EP1559127 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2003 Anhängig Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.07.2005	20.07.2005 Verfahren und System zur Kompensation von Ausheiz-Ungleichf Rmigkeiten EP1554749 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.09.2003 Anhängig Vertretung Boyce, Conor · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2005	29.06.2005 Lastverriegelungs-Vakuumleitfähigkeitsbegrenzungsapertur EP1547120 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.09.2003 Anhängig Vertretung Boyce, Conor · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.06.2005	15.06.2005 Lastverriegelungsoptimierungsverfahren und System EP1540558 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2003 Anhängig Vertretung Boyce, Conor · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.05.2005	25.05.2005 Kontrolle Dereigenschaften von Bandförmigen Ionenstrahlen eines Ionenimplantationsgeräts EP1532650 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2003 Anhängig Vertretung Boyce, Conor · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.04.2005	27.04.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Plasmaimplantierung ohne Abscheidung einer Schicht von Nebenprodukten EP1525333 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.08.2003 Anhängig Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.04.2005	27.04.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung von Plasmaeigenschaften in Plasma Implantierungssysteme EP1525601 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.07.2003 Anhängig Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.04.2005	20.04.2005 Plasmaimplantierungssystem und Verfahren mit Target-Bewegung EP1523756 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2003 Anhängig Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.03.2005	23.03.2005 Justierbare Strömungslimitierende Öffnung für Ionenimplantierungsgeräte EP1352411 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.01.2002 Erteilt am 23.03.2005 Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2005	09.03.2005 Verfahren und Systeme zur Dotierungsstoffprofilierung EP1512169 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.05.2003 Anhängig Vertretung Boyce, Conor · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.02.2005	16.02.2005 Indirekt Geheizte Kathodenionenquelle EP1506559 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.05.2003 Anhängig Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.02.2005	02.02.2005 Verfahren zum Herstellen Flacher Ubergänge mit Niedirigem Widerstand mit Niedriger Beschädigung EP1502294 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2003 Anhängig Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2005	19.01.2005 Kathodenanordnung für eine Indirekt Geheizte Kathode einer Ionenquelle EP1299895 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2001 Erteilt am 19.01.2005 Vertretung Beck, Simon Antony · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen

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